Sebōpi sa Kholo sa Crystal sa SiC sa lisenthimithara tse 4 6 8 bakeng sa Ts'ebetso ea CVD

1. Sistimi ea Taolo ea Mocheso e Tsoetseng Pele
Sebōpi se na le sistimi ea ho futhumatsa e nang le libaka tse ngata e khonang ho boloka mocheso o fihlang ho 2300°C ka ho tšoana ha ±1°C ho pholletsa le kamore eohle ea kholo. Tsamaiso ena ea mocheso o nepahetseng e fihlelleha ka:
Libaka tse 12 tsa ho futhumatsa tse laoloang ka boikemelo.
Tlhokomelo e sa feleng ea thermocouple (Mofuta oa C W-Re).
Li-algorithms tsa ho lokisa boemo ba mocheso ka nako ea sebele.
Mabota a kamore a pholisitsoeng ke metsi bakeng sa taolo ea gradient ea mocheso.

2. Theknoloji ea ho Fana ka Khase le ho Kopanya
Sistimi ea rona ea kabo ea khase e ikemetseng e netefatsa ho kopanya ha pele ho nako le ho fana ka phepelo e ts'oanang:
Litaolo tsa phallo ea boima tse nang le ho nepahala ha ±0.05sccm.
Sesebelisoa sa ho kenya khase sa lintlha tse ngata.
Tlhokomelo ea sebopeho sa khase sebakeng seo (FTIR spectroscopy).
Puseletso ea phallo e iketsang nakong ea lipotoloho tsa kholo.

3. Ntlafatso ea Boleng ba Crystal
Sistimi ena e kenyelletsa boqapi bo 'maloa ho ntlafatsa boleng ba kristale:
Setshwari sa substrate se potolohang (se ka hlophisoa ka 0-100rpm).
Theknoloji e tsoetseng pele ea taolo ea lera la moeli.
Sistimi ea ho lekola liphoso tse ka hare ho sebaka (ho hasanya ha laser ea UV).
Puseletso ea khatello ea maikutlo ka boiketsetso nakong ea kholo.

4. Tsamaiso ea Ts'ebetso le Taolo
Ho phethahatsa risepe ka boiketsetso ka botlalo.
AI ea ntlafatso ea liparamente tsa kholo ea nako ea sebele.
Tlhokomelo le tlhahlobo ea hole.
Ho ngolwa ha data ya diparamente tse fetang 1000 (ho bolokilwe dilemo tse 5).

5. Litšobotsi tsa Polokeho le Tšepo
Tšireletso e feteletseng e fetang mocheso e nang le li-heatsink tse tharo.
Sistimi ea ho hloekisa ka tšohanyetso e iketsang.
Moralo oa meaho o lekantsoeng ke litšisinyeho tsa lefatše.
Tiisetso ea nako ea ho sebetsa ea 98.5%.

6. Meralo e ka Atolosoang
Moralo oa modular o lumella ntlafatso ea bokhoni.
E lumellana le boholo ba wafer ba 100mm ho isa ho 200mm.
E tšehetsa litlhophiso tse otlolohileng le tse otlolohileng.
Likarolo tsa phetoho e potlakileng bakeng sa tlhokomelo.

7. Tshebetso e Botle ya Matla
Tšebeliso ea matla e tlase ka 30% ho feta litsamaiso tse tšoanang.
Sistimi ea ho khutlisa mocheso e hapa 60% ea mocheso o litšila.
Mekhoa e ntlafalitsoeng ea tšebeliso ea khase.
Litlhoko tsa setsi tse lumellanang le LEED.

8. Ho Feto-fetoha ha Lintho
E holisa mefuta eohle e meholo ea SiC (4H, 6H, 3C).
E tšehetsa mefuta e fapaneng ea conductive le ea semi-insulation.
E amohela merero e fapaneng ea doping (mofuta oa N, mofuta oa P).
E lumellana le lintho tse ling tse ka pele ho moo (mohlala, TMS, TES).

9. Tshebetso ya Sistimi ya Vacuum
Khatello ea motheo: <1×10⁻⁶ Torr
Sekhahla sa ho dutla ha metsi: <1×10⁻⁹ Torr·L/sec
Lebelo la ho pompa: 5000L/s (bakeng sa SiH₄)

Taolo ea khatello e iketsang nakong ea potoloho ea kholo
Tlhaloso ena e felletseng ea tekheniki e bonts'a bokhoni ba sistimi ea rona ba ho hlahisa likristale tsa SiC tsa sehlopha sa lipatlisiso le boleng ba tlhahiso ka botsitso le tlhahiso e etellang pele indastering. Motsoako oa taolo e nepahetseng, tlhokomelo e tsoetseng pele, le boenjiniere bo matla li etsa hore sistimi ena ea CVD e be khetho e ntle bakeng sa lits'ebetso tsa R&D le tlhahiso ea bophahamo ba modumo ho lisebelisoa tsa elektroniki tsa motlakase, lisebelisoa tsa RF, le lits'ebetso tse ling tse tsoetseng pele tsa semiconductor.