4inch 6inch Lithium niobate filimi e le 'ngoe ea kristale ea LNOI
Mokhoa oa ho lokisa lisebelisoa tsa LNOI o arotsoe haholo ka mehato e mene e latelang
(1) Li-ion li ne li kenngoa ka har'a lisebelisoa tsa X-cut lithium niobate ka matla a itseng, 'me li kenngoa ka har'a lera le nang le sekoli ka botebo bo itseng ka tlas'a lera la holim'a lithium niobate;
(2) Thepa ea ion e kentsoeng ea lithium niobate e kopantsoe le silicon substrate e nang le lera la oxide ho etsa sebopeho sa ho kopanya;
(3) Sebopeho sa maqhama se ile sa ts'oaroa ho etsa hore mefokolo e hlahisitsoeng ke He ion implantation e fetohe 'me e kopane ho theha mapetsong. Qetellong, lithium niobate e ile ea aroloa hammoho le lera le nang le sekoli ho etsa lilae tse setseng tsa lithium niobate le liphaphatha tsa LNOI.
Lisebelisoa le melemo ea sephaphatha sa LNOI
1- Lifilimi tsa Lithium niobate piezoelectric (LNOI) li na le coefficient e phahameng ea piezoelectric le dielectric constant, tse ka fetolelang matla a mochini hore e be matla a motlakase kapa matla a motlakase hore e be matla a mochini. Ka hona, e sebelisoa haholo lefapheng la li-sensor, tse kang li-sensor tsa khatello, li-acceleration sensors, lisebelisoa tsa mocheso joalo-joalo. Ho feta moo, filimi ea lithium niobate piezoelectric e ka boela ea sebelisoa lisebelisoa tsa acoustic le lisebelisoa tsa vibration, tse kang piezoelectric ceramic transducer complex piezoelectric ceramic filter.
2-Ho tsitsa ha filimi ea lithium niobate piezoelectric le eona ke e 'ngoe ea melemo ea eona. Ka lebaka la botsitso ba sebopeho sa kristale le ho se sebetse ha lik'hemik'hale, filimi ea lithium niobate piezoelectric e ka sebetsa ka mocheso o phahameng, mongobo o phahameng, acid e matla, alkali e matla le tikoloho e 'ngoe e thata, e nang le ho hanyetsa kutu le ho tšoarella hantle.
Filimi ea 3-Lithium niobate piezoelectric ke thepa e ncha ea piezoelectric e nang le ts'ebetso e ntle haholo le botsitso, 'me e na le tebello e pharaletseng ea ts'ebeliso. Ka nts'etsopele e tsoelang pele ea mahlale le thekenoloji, filimi ea lithium niobate piezoelectric e tla sebelisoa metseng e mengata, e tlisang boiketlo le boqapi bo eketsehileng bophelong ba batho.