6 ka hare ho Silicon Carbide 4H-SiC Semi-Insulating Ingot, Sehlopha sa Dummy

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Silicon Carbide (SiC) e fetola indasteri ea semiconductor, haholo-holo lits'ebetsong tse matla haholo, maqhubu a phahameng, le tse hanelang mahlaseli. Ingot ea 4H-SiC ea lisenthimithara tse 6, e fanoang ka sehlopha sa dummy, ke thepa ea bohlokoa bakeng sa ho etsa li-prototyping, lipatlisiso le lits'ebetso tsa ho lekanya. Ka bandgap e pharaletseng, conductivity e ntle ea mocheso, le ho tiea ha mechini, ingot ena e sebetsa e le khetho e theko e tlaase bakeng sa ho leka le ho ntlafatsa ts'ebetso ntle le ho beha boleng ba motheo bo hlokahalang bakeng sa nts'etsopele e tsoetseng pele. Sehlahisoa sena se sebetsana le lits'ebetso tse fapaneng, ho kenyeletsoa lisebelisoa tsa motlakase tsa motlakase, lisebelisoa tsa maqhubu a seea-le-moea (RF), le li-optoelectronics, e leng se etsang hore e be sesebelisoa sa bohlokoa bakeng sa litsi tsa indasteri le lipatlisiso.

Romella imeile ho rona

Likaroloana

Matlo

1. Thepa ea 'Mele le ea Sebopeho
●Mofuta oa Thepa: Silicon Carbide (SiC)
●Polytype: 4H-SiC, sebopeho sa kristale sa mahlakore a tšeletseng
●Bophara: lisenthimithara tse 150 (150 mm)
●Botenya: E ka lokisoa (5-15 mm e tloaelehileng bakeng sa sehlopha sa dummy)
●Tshekamelo ea kristale:
oPrimary: [0001] (C-plane)
Dikgetho tsa bobedi: Off-axis 4° bakeng sa kgolo e ntlafetseng ya epitaxial
●Tlhokomelo ea Motheo e bataletseng: (10-10) ± 5°
●Tsela ea Bobeli ea ho Tsamaea ka Tsela e Foletseng: 90° ho tloha foleteng ea mantlha ± 5°

2. Matlo a Motlakase
●Ho hanyetsa:
oSemi-insulating (>106^66 Ω·cm), e loketse ho fokotsa bokgoni ba dikokonyana.
●Mofuta oa ho sebelisa lithethefatsi tse tahang:
o E kentswe ka ntle ho morero, e leng se fellang ka ho hanyetsa motlakase le botsitso bo phahameng tlasa maemo a fapaneng a tshebetso.

3. Thepa ea Thermal
●Ho tsamaisa mocheso ka mocheso: 3.5-4.9 W/cm·K, ho nolofalletsang ho qhala mocheso ka katleho lits'ebetsong tse nang le matla a mangata.
●Koefficient ea Katoloso ea Thermal: 4.2×10−64.2 \times 10^{-6}4.2×10−6/K, ho netefatsa botsitso ba litekanyo nakong ea ts'ebetso ea mocheso o phahameng.

4. Matlotlo a Optical
●Lekhalo la leqhubu: Lekhalo le leholo la leqhubu la 3.26 eV, le lumellang ts'ebetso tlas'a li-voltage tse phahameng le mocheso.
●Ponaletso: Ponaletso e phahameng ho UV le maqhubu a bonahalang, e thusa bakeng sa liteko tsa optoelectronic.

5. Thepa ea Mekaniki
●Bothata: Sekala sa Mohs ke 9, se latela taemane feela, se netefatsang ho tšoarella ha ho sebetsoa.
●Botebo bo Phethahetseng ba Sekoli:
o E laoloa bakeng sa liphoso tse nyane tsa macro, e netefatsa boleng bo lekaneng bakeng sa lits'ebetso tsa maemo a sa tloaelehang.
●Ho ba bataletse: Ho tšoana le ho kheloha

Paramethara	Lintlha tse qaqileng	Yuniti
Sehlopha	Sehlopha sa Mashano
Bophara	150.0 ± 0.5	mm
Boikutlo ba Wafer	Mokhahlelo o sebetsang: <0001> ± 0.5°	tekanyo
Ho hanyetsa motlakase	> 1E5	Ω·cm
Boikutlo ba Motheo bo bataletseng	{10-10} ± 5.0°	tekanyo
Bolelele ba Sephara ba Motheo	Notch
Mapetso (Tlhahlobo ea Leseli le Matla a Phahameng)	< 3 mm ka har'a radial	mm
Lipoleiti tsa Hex (Tlhahlobo ea Leseli le Matla a Phahameng)	Sebaka se bokellaneng ≤ 5%	%
Libaka tsa Mefuta e Mengata (Tlhahlobo ea Leseli le Matla a Phahameng)	Sebaka se bokellaneng ≤ 10%	%
Botebo ba Micropipe	< 50	cm−2^-2−2
Ho qhaqha Edge	3 e lumelletsoe, e 'ngoe le e 'ngoe e ≤ 3 mm	mm
Hlokomela	Botenya ba wafer e sehiloeng < 1 mm, > 70% (ntle le lipheletso tse peli) bo fihlela litlhoko tse boletsoeng ka holimo

Likopo

1. Lipapiso le Lipatlisiso
Ingot ea 4H-SiC ea sehlopha sa 6-inch e sa reng letho ke thepa e loketseng bakeng sa ho etsa li-prototyping le lipatlisiso, e lumellang bahlahisi le lilaboratori ho:
●Lekola diparamitha tsa tshebetso ho Khemikhale ya ho Tloswa ha Mouwane (CVD) kapa ho Tloswa ha Mouwane wa Sebele (PVD).
●Hlahisa le ho ntlafatsa mekhoa ea ho betla, ho bentša le ho seha li-wafer.
●Hlahloba meralo e mecha ea lisebelisoa pele u fetohela ho thepa ea boemo ba tlhahiso.

2. Tekanyo le Teko ea Sesebelisoa
Thepa ea ho thibela mocheso e etsa hore ingot ena e be ea bohlokoa bakeng sa:
●Ho lekola le ho lekanya thepa ea motlakase ea lisebelisoa tse matla le tse nang le maqhubu a phahameng.
●Ho etsisa maemo a tshebetso bakeng sa di-MOSFET, di-IGBT, kapa diode dibakeng tsa teko.
●E sebetsa e le sebaka se theko e tlaase bakeng sa li-substrate tse hloekileng haholo nakong ea nts'etsopele ea pele.

3. Matla a Elektroniki
Ho tsamaisa mocheso ka matla le litšobotsi tse pharaletseng tsa 4H-SiC li nolofalletsa ts'ebetso e sebetsang hantle lisebelisoa tsa elektroniki tsa motlakase, ho kenyeletsoa:
●Mehloli ea motlakase o nang le motlakase o phahameng.
●Li-inverter tsa likoloi tsa motlakase (EV).
●Mekhoa ea matla a nchafatsoang, joalo ka li-inverter tsa letsatsi le li-turbine tsa moea.

4. Ditshebediso tsa Maqhubu a Radio (RF)
Tahlehelo e tlase ea dielectric ea 4H-SiC le ho tsamaea ha lielektrone tse ngata ho etsa hore e tšoanelehe bakeng sa:
●Li-amplifiers tsa RF le li-transistors tsa meralo ea motheo ea puisano.
●Mekhoa ea radar e phahameng bakeng sa lits'ebetso tsa lifofane le tsa ts'ireletso.
●Likarolo tsa marang-rang a se nang mohala bakeng sa mahlale a macha a 5G.

5. Lisebelisoa tse Hanelang Mahlaseli
Ka lebaka la ho hanyetsa ha eona ka tlhaho liphoso tse bakoang ke mahlaseli a kotsi, 4H-SiC e thibelang mocheso ka semi-insulation e loketse:
●Lisebelisoa tsa ho hlahloba sebaka, ho kenyeletsoa lisebelisoa tsa elektroniki tsa sathelaete le litsamaiso tsa motlakase.
●Lisebelisoa tsa elektroniki tse thatafalitsoeng ke mahlaseli bakeng sa ho beha leihlo le ho laola nyutlelie.
●Lisebelisoa tsa tšireletso tse hlokang matla libakeng tse feteletseng.

6. Lisebelisoa tsa Optoelectronics
Ponaletso ea optical le lekhalo le leholo la 4H-SiC li nolofalletsa tšebeliso ea eona ho:
●Li-photodetector tsa UV le li-LED tse matla haholo.
●Ho leka masela a mahlo le kalafo ea bokaholimo.
●Likarolo tsa optical tse etsang mohlala bakeng sa li-sensor tse tsoetseng pele.

Melemo ea Thepa ea Sehlopha sa Dummy

Ho Bokgoni ba Litšenyehelo:
Sehlopha sa maiketsetso ke mokhoa o theko e tlase ho feta dipatlisiso kapa thepa ya sehlopha sa tlhahiso, e leng se etsang hore e be ntle bakeng sa diteko tsa kamehla le ntlafatso ya tshebetso.

Ho iketsetsa lintho ka mokhoa o ikhethileng:
Litekanyo tse ka hlophisoang le tataiso ea kristale li netefatsa hore lia lumellana le mefuta e mengata ea lits'ebetso.

Ho khoneha ho hola:
Bophara ba lisenthimithara tse 6 bo tsamaisana le maemo a indasteri, e leng se lumellang ho hola ho se nang sekoli lits'ebetsong tsa boemo ba tlhahiso.

Ho tiea:
Matla a phahameng a mechini le botsitso ba mocheso li etsa hore ingot e tšoarelle le ho tšepahala tlas'a maemo a fapaneng a liteko.

Ho feto-fetoha ha maemo:
E loketse liindasteri tse ngata, ho tloha litsamaisong tsa eneji ho ea ho puisano le lisebelisoa tsa optoelectronic.

Qetello

Ingot ea Silicon Carbide (4H-SiC) ea lisenthimithara tse 6, e nang le boleng bo tlaase, e fana ka sethala se tšepahalang le se feto-fetohang bakeng sa lipatlisiso, ho etsa li-prototyping le liteko makaleng a theknoloji ea sejoale-joale. Thepa ea eona e ikhethang ea mocheso, motlakase le mechini, hammoho le theko e tlase le ho fetoloa, e etsa hore e be thepa ea bohlokoa bakeng sa thuto le indasteri. Ho tloha ho lisebelisoa tsa motlakase tsa motlakase ho ea ho litsamaiso tsa RF le lisebelisoa tse thatafalitsoeng ke mahlaseli, ingot ena e tšehetsa boqapi mohatong o mong le o mong oa nts'etsopele.
Bakeng sa litlhaloso tse qaqileng haholoanyane kapa ho kopa khotheishene, ka kopo ikopanye le rona ka kotloloho. Sehlopha sa rona sa tekheniki se ikemiselitse ho thusa ka litharollo tse etselitsoeng uena ho fihlela litlhoko tsa hau.