Mochini oa ho Seha oa Taemane oa Liteishene tse Tharo oa Terata e le 'Ngoe bakeng sa ho Seha Lintho tsa Khalase tsa Si Wafer/Optical

Mochini oa ho Seha Lithapo tse Tharo oa Taemane ke sesebelisoa sa ho sebetsana ka nepo se entsoeng bakeng sa ho seha ka katleho lintho tse robehang tse kang safire, jade le letsopa. O sebelisa terata ea tšepe e koahetsoeng ka daemane e tsoelang pele e le mokhoa oa ho seha, ka libaka tse tharo tsa mosebetsi tse arohaneng ka boikemelo tse nolofalletsang ho seha ho lumellanang, ho fepa/ho thekesela ka terata, le taolo ea khatello. Li-motor tsa servo li khanna motsamao oa ho pheta-pheta oa terata, ha sistimi ea karabelo e koetsoeng e fetola khatello ka matla (± 0.5N ho nepahala), e fokotsa tšebeliso ea terata (<0.1%) le ho netefatsa botsitso ba ts'ebetso. Sebaka sa ho seha se arotsoe ka 'mele sebakeng sa ts'ebetso, se nang le sebopeho sa tlhokomelo se bulehileng bakeng sa ho nkela terata sebaka ka potlako (bolelele bo boholo ≤150m) le tšebeletso ea likarolo (mohlala, mabili a tataiso, li-pulley tsa khatello). Litlhaloso tsa bohlokoa li kenyelletsa boholo ba mosebetsi oa 600×600mm, lebelo la ho seha la 400-1200mm/h, botenya ba 0-800mm, le matla a felletseng a ≤23kW, e leng se etsang hore e be e loketseng ho seha ka nepo e phahameng ha li-substrate tsa semiconductor, likristale tsa optical, le thepa e ncha ea matla.