Mochini oa ho bentša oa Ion Beam bakeng sa safire SiC Si

Mochini oa ho benya oa Ion Beam bakeng sa safire SiC Si Setšoantšo se Hlahisitsoeng

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Mochini oa ho Bala le ho Sebetsa ka Mahlaseli a Ion o thehiloe molao-motheong oa ho qhalana ha li-ion. Ka hare ho kamore e nang le vacuum e ngata, mohloli oa li-ion o hlahisa plasma, e potlakisang ho ba mahlaseli a li-ion a nang le matla a mangata. Mahlaseli ana a hlasela bokaholimo ba karolo ea optical, a tlosa thepa sekaleng sa athomo ho fihlela tokiso le ho qeta bokaholimo bo nepahetseng haholo.

Romella imeile ho rona

Likaroloana

Setšoantšo se qaqileng

Kakaretso ea Sehlahisoa sa Mochini oa ho benya oa Ion Beam

Jwalo ka tshebetso e sa amaneng, ho bentsha mahlasedi a ion ho fedisa kgatello ya mechine mme ho qoba tshenyo e ka tlase ho lefatshe, e leng se etsang hore e be ntle bakeng sa ho etsa di-optics tse nepahetseng haholo tse sebediswang bolepi ba dinaledi, difofaneng, di-semiconductor le dikopong tse tswetseng pele tsa dipatlisiso.

Molao-motheo oa ho Sebetsa oa Mochini oa ho bentša oa Ion Beam

Moloko oa Ion
Khase e sa sebetseng (mohlala, argon) e kenngoa ka kamoreng ea vacuum 'me e kenngoa ka ioni ka ho ntša motlakase ho etsa plasma.

Ho Potlakisa le ho Hlahisa Mahlasedi
Li-ion li potlakisoa ho fihlela ho li-volt tsa lielektrone tse makholo kapa likete (eV) 'me li bōptjoa sebakeng se tsitsitseng, se tsepamisitsoeng.

Ho Tlosa Lintho
Molumo oa ion o ntša liathomo ka 'mele ho tsoa holim'a metsi ntle le ho qala liketso tsa lik'hemik'hale.

Ho Fumana Liphoso le ho Rala Tsela
Ho kheloha ha sebopeho sa bokaholimo ho lekanngoa ka interferometry. Mesebetsi ea ho tlosa e sebelisoa ho fumana linako tsa ho lula le ho hlahisa litsela tse ntlafalitsoeng tsa lisebelisoa.

Tokiso ea Loop e Koetsoeng
Mekhahlelo e pheta-phetoang ea ts'ebetso le tekanyo e tsoela pele ho fihlela lipheo tsa ho nepahala ha RMS/PV li fihlelleha.

Likarolo tsa Bohlokoa tsa Mochini oa ho Sebetsa oa Ion Beam

Ho lumellana ha Bokaholimo ba Bokahohle– E sebetsana le libaka tse bataletseng, tse chitja, tse kang aspherical le tse lokolohileng

Sekhahla sa ho Tloswa se Tsitsitseng Haholo– E nolofalletsa tokiso ea setšoantšo sa sub-nanometer

Ts'ebetso e se nang Tšenyo– Ha ho na diphoso tse ka tlase ho bokaholimo kapa diphetoho tsa sebopeho

Tshebetso e Tsitsitseng– E sebetsa hantle ka ho lekana holim'a thepa e thata e fapaneng

Tokiso ea Maqhubu a Tlase/a Mahareng- E felisa liphoso ntle le ho hlahisa lintho tse entsoeng ka maqhubu a mahareng/a phahameng

Tlhokahalo e Tlase ea Tlhokomelo- Ts'ebetso e telele e tsoelang pele ka nako e fokolang ea ho phomola

Litlhaloso tse ka Sehloohong tsa Theknoloji tsa Mochini oa ho benya oa Ion Beam

Ntho	Tlhaloso
Mokhoa oa ho Sebetsa	Li-ion li phalla tikolohong e nang le lesoba le leholo
Mofuta oa Ts'ebetso	Ho lekanya le ho bentša bokaholimo bo sa amaneng
Boholo ba Mosebetsi	Φ4000 mm
Li-axe tsa Motion	Mokhahlelo oa 3/mokhahlelo oa 5
Ho Tloswa ha Tsitsiso	≥95%
Ho nepahala ha Bokaholimo	PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (RMS e tloaelehileng < 1 nm; PV < 15 nm)
Bokhoni ba ho Lokisa Maqhubu	E tlosa liphoso tsa maqhubu a tlase-a mahareng ntle le ho hlahisa liphoso tsa maqhubu a mahareng/a phahameng
Ts'ebetso e Tsoelang Pele	Libeke tse 3-5 ntle le tlhokomelo ea vacuum
Litšenyehelo tsa Tlhokomelo	Tlase

Ho sebetsana le Bokhoni ba Mochini oa ho bentša oa Ion Beam

Mefuta ea Bokaholimo bo Tšehelitsoeng

E bonolo: E bataletse, e chitja, prism

E rarahaneng: Asphere e lekanang/e sa lekanang, asphere e sa lekanang, e silindara

E ikhethang: Optics e tšesaane haholo, optics ea slat, optics ea hemispherical, optics ea conformal, lipoleiti tsa phase, libaka tse sa fetoheng

Lisebelisoa tse tšehetsoeng

Khalase ea mahlo: Quartz, microcrystalline, K9, jj.

Thepa ea infrared: Silicon, germanium, jj.

Tšepe: Aluminium, tšepe e sa ruseng, motsoako oa titanium, jj.

Likristale: YAG, silicon carbide e le 'ngoe ea kristale, jj.

Thepa e thata/e pshatlehang habonolo: Silicon carbide, jj.

Boleng ba Bokaholimo / Ho nepahala

PV < 10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

Ho sebetsana le Lithuto tsa Nyeoe tsa Mochini oa ho Sebetsa oa Ion Beam

Nyeoe ea 1 - Seipone se Tloaelehileng se Sephara

Mosebetsi: Sephara sa quartz sa D630 mm

Sephetho: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

Nyeoe ea 2 - Seipone se Bonahatsang sa X-ray

Mosebetsi: 150 × 30 mm silicon e bataletseng

Sephetho: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; Moepa 0.13 µrad

Nyeoe ea 3 - Seipone se sa Lekaneng le Moeli

Mosebetsi: Seipone sa fatše sa D326 mm se sa sebetseng hantle

Sephetho: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

Lipotso Tse Botsoang Khafetsa ka Likhalase tsa Quartz

Lipotso Tse Botsoang Khafetsa - Mochini oa ho Sebetsa oa Ion Beam

P1: Ho bentša mahlasedi a ion ke eng?
A1:Ho benya mahlasedi a ione ke mokhoa o sa amaneng le o sebelisang mahlasedi a tsepamisitsoeng a li-ion (joalo ka li-ion tsa argon) ho tlosa thepa holim'a sebaka sa mosebetsi. Li-ion lia potlakisoa 'me li lebisoa holim'a sebaka, li baka ho tlosoa ha thepa ea athomo, e leng se fellang ka ho phethoa ho boreleli haholo. Ts'ebetso ena e felisa khatello ea mechine le tšenyo ea ka tlas'a sebaka, e leng se etsang hore e be e loketseng likarolo tse nepahetseng tsa optical.

P2: Ke mefuta efe ea libaka tseo Mochini oa ho Sebetsa oa Ion Beam o ka li sebetsanang?
A2:TheMochini oa ho bentša oa Ion Beame ka sebetsana le mefuta e fapaneng ea libaka, ho kenyeletsoa likarolo tse bonolo tsa mahlo joalo kalithaele, lisekoere le li-prism, hammoho le li-geometri tse rarahaneng tse kangli-asphere, li-asphere tse sa amaneng le axislelibaka tse lokolohileng. E sebetsa hantle haholo linthong tse kang khalase ea optical, infrared optics, litšepe le thepa e thata/e pshatlehang habonolo.

P3: Mochini oa ho Sebetsa oa Ion Beam o ka sebetsa ka thepa efe?
A3:TheMochini oa ho bentša oa Ion Beame ka bentša mefuta e mengata ea thepa, ho kenyeletsoa:

Khalase ea mahlo: Quartz, microcrystalline, K9, jj.
Thepa ea infrared: Silicon, germanium, jj.
Litšepe: Aluminium, tšepe e sa ruseng, motsoako oa titanium, jj.
Thepa ea kristale: YAG, carbide ea silicon e le 'ngoe ea kristale, jj.
Lisebelisoa tse ling tse thata/tse pshatlehang habonolo: Silicon carbide, jj.

Mabapi le rona

XKH e ikhethile ka nts'etsopele ea theknoloji e phahameng, tlhahiso le thekiso ea khalase e khethehileng ea mahlo le thepa e ncha ea kristale. Lihlahisoa tsa rona li sebeletsa lisebelisoa tsa elektroniki tsa mahlo, lisebelisoa tsa elektroniki tsa bareki le sesole. Re fana ka likarolo tsa mahlo tsa Sapphire, likoahelo tsa lense ea mohala oa thekeng, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, le li-wafer tsa kristale tsa semiconductor. Ka boiphihlelo bo nang le boiphihlelo le lisebelisoa tsa sejoale-joale, re ipabola ts'ebetsong ea lihlahisoa tse seng tsa maemo a holimo, re ikemiselitse ho ba khoebo e etellang pele ea theknoloji e phahameng ea lisebelisoa tsa optoelectronic.