Tlhahisong ea li-semiconductor, leha photolithography le etching e le lits'ebetso tse boletsoeng khafetsa, mekhoa ea ho beha filimi e tšesaane kapa epitaxial le eona ea bohlokoa ka ho lekana. Sengoloa sena se hlahisa mekhoa e 'maloa e tloaelehileng ea ho beha filimi e tšesaane e sebelisoang tlhahisong ea li-chip, ho kenyeletsoaMOCVD, ho phunya ha magnetronlePECVD.
Ke Hobane'ng ha Mekhoa e Mesesaane ea Filimi e le ea Bohlokoa Tlhahisong ea Li-Chip?
Ho etsa mohlala, nahana ka bohobe bo bataletseng bo besitsoeng. Bo le bong, bo ka latsoeha bo le bobebe. Leha ho le jwalo, ka ho tlotsa bokaholimo ka disoso tse fapaneng—jwalo ka peista e monate ya dinawa kapa sirapo e monate ya malt—o ka fetola tatso ya bona ka botlalo. Dikobo tsena tse ntlafatsang tatso di tshwana lelifilimi tse tšesaanelits'ebetsong tsa semiconductor, ha bohobe bo bataletseng ka bobona bo emelasubstrate.
Tlhahisong ea li-chip, lifilimi tse tšesaane li phetha mesebetsi e mengata ea ts'ebetso—ho kenya mocheso, ho tsamaisa motlakase, ho se etse letho, ho monya leseli, jj.—'me ts'ebetso ka' ngoe e hloka mokhoa o itseng oa ho beha.
1. Ho Ntša Mouoane oa Lik'hemik'hale tsa Tšepe le tsa Organic (MOCVD)
MOCVD ke mokhoa o tsoetseng pele haholo le o nepahetseng o sebelisetsoang ho beha lifilimi tse tšesaane tsa semiconductor tsa boleng bo holimo le meaho e menyenyane. E bapala karolo ea bohlokoa tlhahisong ea lisebelisoa tse kang li-LED, li-laser le lisebelisoa tsa elektroniki tse sebetsang ka matla.
Likarolo tsa Bohlokoa tsa Sistimi ea MOCVD:
- Sistimi ea Phano ea Khase
E ikarabella bakeng sa ho kenngoa ha li-reactant ka phapusing ea karabelo ka nepo. Sena se kenyelletsa taolo ea phallo ea:
-
Likhase tse tsamaisang thepa
-
Li-precursor tsa tšepe-tsa tlhaho
-
Likhase tsa hydride
Sistimi ena e na le di-valve tse nang le ditsela tse ngata bakeng sa ho fetola pakeng tsa mekgwa ya kgolo le ya ho hlwekisa.
-
Kamore ea Karabelo
Pelo ea sistimi moo kholo ea 'nete ea thepa e etsahalang teng. Likarolo li kenyelletsa:-
Sesepa sa graphite (setšoantšo sa substrate)
-
Li-sensor tsa hitara le mocheso
-
Likou tsa Optical bakeng sa ho beha leihlo sebakeng seo
-
Matsoho a roboto bakeng sa ho kenya/ho laolla wafer ka boiketsetso
-
- Sistimi ea Taolo ea Kholo
E na le balaoli ba logic ba ka hlophisoang le khomphutha e amohelang. Tsena li netefatsa tlhokomelo e nepahetseng le ho phetoa nakong eohle ea ts'ebetso ea ho beha. -
Tlhokomelo ea ka hare ho sebaka
Lisebelisoa tse kang li-pyrometer le li-reflectometer li lekanya:-
Botenya ba filimi
-
Mocheso o ka holimo
-
Kobeho ea substrate
Tsena di nolofalletsa ho fana ka maikutlo le tokiso ka nako ya sebele.
-
- Sistimi ea Kalafo ea Mosi
E phekola lihlahisoa tse chefo ka ho sebelisa ho bola ha mocheso kapa ho sebelisa lik'hemik'hale ho netefatsa polokeho le ho latela melao ea tikoloho.
Tlhophiso ea Showerhead e Koetsoeng (CCS):
Ho li-reactor tsa MOCVD tse otlolohileng, moralo oa CCS o lumella likhase ho kenngoa ka mokhoa o ts'oanang ka li-nozzle tse fapanyetsanang ka har'a sebopeho sa hlooho ea shaoara. Sena se fokotsa liketso tsa pele ho nako 'me se ntlafatsa ho kopanya ho ts'oanang.
-
Thesesebelisoa sa graphite se potolohangho thusa ho etsa hore lera la moedi wa dikgase le be le tshwanang, ho ntlafatsa ho tshwana ha filimi ho pholletsa le wafer.
2. Ho phunya ha Magnetron
Ho sputtering ha Magnetron ke mokhoa oa ho boloka mouoane oa 'mele (PVD) o sebelisoang haholo bakeng sa ho beha lifilimi tse tšesaane le lipente, haholo-holo lisebelisoa tsa elektroniki, optics le ceramics.
Molao-motheo oa ho Sebetsa:
-
Thepa e reriloeng
Mohlodi wa thepa o tla bewa—tshepe, oxide, nitride, jj.—o tsitsitse hodima cathode. -
Kamore ea ho Hloekisa
Ts'ebetso ena e etsoa tlas'a vacuum e phahameng ho qoba tšilafalo. -
Tlhahiso ea Plasma
Khase e sa sebetseng, eo hangata e leng argon, e ionized ho etsa plasma. -
Kopo ea Matla a Khoheli
Matla a makenete a thibela dielektrone haufi le sepheo ho ntlafatsa bokgoni ba ionization. -
Mokhoa oa ho Hlakola
Li-ion li hlasela sepheo, li ntša liathomo tse tsamaeang ka har'a kamore ebe li theohela holim'a substrate.
Melemo ea ho Hlakola ka Magnetron:
-
Ho Hlahisa Filimi ka Tsela e Tšoananglibakeng tse kholo.
-
Bokhoni ba ho Boloka Metswako e Rarahaneng, ho kenyeletsoa le metsoako e kopantsoeng le letsopa.
-
Liparamente tsa Ts'ebetso tse ka Fetoloangbakeng sa taolo e nepahetseng ea botenya, sebopeho le sebopeho sa micro.
-
Boleng bo Holimo ba Filimika ho khomarela ho matla le matla a mechini.
-
Ho lumellana ha thepa e pharaletseng, ho tloha litšepeng ho ea ho li-oxide le li-nitride.
-
Ts'ebetso ea Mocheso o Tlase, e loketse li-substrate tse nang le mocheso o phahameng.
3. Ho Ntlafatsoa ha Mouoane oa Lik'hemik'hale o Ntlafalitsoeng ke Plasma (PECVD)
PECVD e sebediswa haholo bakeng sa ho boloka difilimi tse tshesane jwalo ka silicon nitride (SiNx), silicon dioxide (SiO₂), le silicon e sa fetoheng.
Molao-motheo:
Sistimi ea PECVD, likhase tse etellang pele li kenngoa ka kamoreng ea vacuum mooplasma e ntšang khanyae hlahisoa ka ho sebelisa:
-
Ho hlohlelletsa ha RF
-
Motlakase o phahameng oa DC
-
Mehloli ea microwave kapa ea pulsed
Plasma e kenya tšebetsong liketso tsa khase-phase, e leng se hlahisang mefuta e arabelang e lulang holim'a substrate ho etsa filimi e tšesaane.
Mehato ea ho Beha Tefo:
-
Tlhahiso ea Lero la Mali
Li thabisoa ke masimo a motlakase, likhase tse etellang pele lia ionisa ho etsa li-radical le li-ion tse arabelang. -
Karabelo le Lipalangoang
Mefuta ena e ba le dikarabelo tsa bobedi ha e ntse e leba substrate. -
Karabelo ea Bokaholimo
Ha li fihla karolong e ka tlase ea mobu, lia monya, lia arabela, 'me li etsa filimi e tiileng. Lihlahisoa tse ling tse setseng li lokolloa e le likhase.
Melemo ea PECVD:
-
Ho Tšoana ho Hlollangka sebopeho le botenya ba filimi.
-
Ho khomarela ho matlaesita le mochesong o tlase haholo oa ho boloka.
-
Litefiso tse Phahameng tsa ho Lefella, e leng se etsang hore e lokele tlhahiso ea indasteri.
4. Mekhoa ea ho Hlalosa Litšobotsi tsa Filimi e Nyenyane
Ho utloisisa litšobotsi tsa lifilimi tse tšesaane ho bohlokoa bakeng sa taolo ea boleng. Mekhoa e tloaelehileng e kenyelletsa:
(1) Phapang ea X-ray (XRD)
-
Morero: Hlahloba dibopeho tsa kristale, di-constant tsa lattice, le di-orientation.
-
Molao-motheo: Ho latela Molao oa Bragg, ho lekanya kamoo mahlaseli a X a phatlollang ka har'a thepa ea kristale.
-
Likopo: Crystallography, tlhahlobo ea mohato, tekanyo ea khatello, le tlhahlobo ea filimi e tšesaane.
(2) Ho Skena Microscopy ea Elektrone (SEM)
-
Morero: Sheba sebopeho sa bokaholimo le sebopeho sa micro.
-
Molao-motheo: E sebedisa lehlasedi la dielektrone ho skena bokahodimo ba sampole. Matshwao a lemohuweng (mohlala, dielektrone tsa bobedi le tse qhalaneng) a senola dintlha tsa bokahodimo.
-
Likopo: Tlhahlobo ea saense ea thepa, nanotech, baeloji le ho hloleha.
(3) Microscopy ea Matla a Athomo (AFM)
-
Morero: Bokaholimo ba setšoantšo bo le ka qeto ea athomo kapa nanometer.
-
Molao-motheo: Sesebediswa se bohale se hlahloba bokaholimo ha se ntse se boloka matla a tshebedisano a sa kgaotseng; ho falla ho otlolohileng ho hlahisa topography ya 3D.
-
Likopo: Patlisiso ea sebopeho sa nano, tekanyo ea ho rarahana ha bokaholimo, lithuto tsa biomolecular.
Nako ea poso: Phuptjane-25-2025