Kutloisiso e Tebileng ea Sisteme ea SPC ho Tlhahiso ea Wafer

1. Kakaretso ea Tsamaiso ea SPC

SPC ke mokhoa o sebelisang mekhoa ea lipalo-palo ho beha leihlo le ho laola lits'ebetso tsa tlhahiso. Mosebetsi oa eona oa mantlha ke ho bona liphapang tšebetsong ea tlhahiso ka ho bokella le ho sekaseka data ea nako ea nnete, ho thusa baenjiniere ho etsa liphetoho le liqeto ka nako. Sepheo sa SPC ke ho fokotsa ho fapana ha mokhoa oa tlhahiso, ho netefatsa hore boleng ba sehlahisoa bo lula bo tsitsitse 'me bo kopana le litlhaloso.

SPC e sebelisoa ts'ebetsong ea etching ho:

Lekola liparamente tsa lisebelisoa tsa bohlokoa (mohlala, sekhahla sa etch, matla a RF, khatello ea kamore, mocheso, jj.)

Sekaseka matšoao a bohlokoa a boleng ba sehlahisoa (mohlala, linewidth, botebo ba etch, bohale ba moeli, joalo-joalo)

Ka ho beha leihlo litekanyo tsena, baenjiniere ba ka bona mekhoa e bonts'ang ho senyeha ha ts'ebetso ea lisebelisoa kapa ho kheloha ts'ebetsong ea tlhahiso, ka hona ho fokotsa litefiso tsa sekhechana.

2. Likarolo tsa Motheo tsa Tsamaiso ea SPC

Sistimi ea SPC e entsoe ka li-module tse 'maloa tsa bohlokoa:

Mojule oa Pokello ea Lintlha: E bokella data ea nako ea nnete ho tsoa ho lisebelisoa le phallo ea ts'ebetso (mohlala, ka litsamaiso tsa FDC, EES) mme e tlaleha litekanyo tsa bohlokoa le liphetho tsa tlhahiso.

Control Chart Module: E sebelisa lichate tsa taolo ea lipalo (mohlala, X-Bar chart, R chart, Cp/Cpk chart) ho bona ka mahlo a kelello botsitso ba ts'ebetso le ho thusa ho tseba hore na ts'ebetso e laoloa.

Sistimi ea Alamo: E etsa hore ho be le li-alamo ha li-parameter tse bohlokoa li feta meeli ea taolo kapa li bonts'a liphetoho tse etsahalang, e leng se susumetsang lienjiniere ho nka khato.

Mojule oa Analysis le Tlaleho: E sekaseka sesosa sa mathata a thehiloeng ho lichate tsa SPC le ho hlahisa litlaleho tsa ts'ebetso ea ts'ebetso le lisebelisoa khafetsa.

3. Tlhaloso e qaqileng ea Lichate tsa Taolo ho SPC

Li-chate tsa ho laola ke e 'ngoe ea lisebelisoa tse sebelisoang ka ho fetisisa ho SPC, tse thusang ho khetholla pakeng tsa "phapang e tloaelehileng" (e bakoang ke mefuta e fapaneng ea mekhoa ea tlhaho) le "phapang e sa tloaelehang" (e bakoang ke ho hlōleha ha thepa kapa ho kheloha ha mokhoa). Lichate tse tloaelehileng tsa taolo li kenyelletsa:

Lits'oants'o tsa X-Bar le R: E sebelisoa ho lekola moelelo le mefuta e fapaneng ka har'a lihlopha tsa tlhahiso ho bona hore na ts'ebetso e tsitsitse.

Li-Indices tsa Cp le Cpk: E sebelisoa ho lekanya bokhoni ba ts'ebetso, ke hore, hore na tlhahiso ea ts'ebetso e ka kopana le litlhoko tse boletsoeng. Cp e lekanya bokhoni bo ka bang teng, ha Cpk e nahana ka ho kheloha ha setsi sa ts'ebetso ho tloha meeling e hlalositsoeng.

Mohlala, ts'ebetsong ea etching, o kanna oa beha leihlo li-parameter joalo ka sekhahla sa etch le bohloeki ba bokaholimo. Haeba tekanyo ea sekhahla sa thepa e itseng e feta moeli oa taolo, u ka sebelisa lichate tsa taolo ho fumana hore na sena ke phapang ea tlhaho kapa pontšo ea ho se sebetse ha thepa.

4. Tšebeliso ea SPC ho Etching Equipment

Ts'ebetsong ea etching, ho laola lisebelisoa tsa lisebelisoa ho bohlokoa, 'me SPC e thusa ho ntlafatsa botsitso ba ts'ebetso ka litsela tse latelang:

Tlhokomelo ea Maemo a Thepa: Lits'ebetso tse kang FDC li bokella lintlha tsa nako ea 'nete mabapi le likarolo tsa bohlokoa tsa lisebelisoa tsa etching (mohlala, matla a RF, phallo ea khase) le ho kopanya lintlha tsena le lichate tsa taolo ea SPC ho bona mathata a ka bang teng a thepa. Mohlala, haeba u bona hore matla a RF a chate ea taolo a ntse a kheloha butle-butle ho boleng bo behiloeng, u ka nka bohato ba pele ba ho lokisa kapa ho bo lokisa ho qoba ho ama boleng ba sehlahisoa.

Tlhokomelo ea Boleng ba Sehlahisoa: U ka boela ua kenya likarolo tsa bohlokoa tsa boleng ba sehlahisoa (mohlala, botebo ba etch, linewidth) ho sistimi ea SPC ho lekola botsitso ba tsona. Haeba matšoao a mang a bohlokoa a sehlahisoa a kheloha butle-butle ho boleng ba sepheo, tsamaiso ea SPC e tla ntša alamo, e bontšang hore ho hlokahala liphetoho tsa ts'ebetso.

Tlhokomelo ea Thibelo (PM): SPC e ka thusa ho ntlafatsa potoloho ea tlhokomelo ea thibelo bakeng sa lisebelisoa. Ka ho sekaseka lintlha tsa nako e telele mabapi le ts'ebetso ea lisebelisoa le liphetho tsa ts'ebetso, o ka tseba nako e nepahetseng ea ho lokisa lisebelisoa. Mohlala, ka ho lekola matla a RF le nako ea bophelo ea ESC, u ka tseba hore na ho hloekisoa kapa ho hlokahala ho nchafatsoa ka karolo efe, ho fokotsa sekhahla sa ho hloleha ha thepa le nako ea tlhahiso.

5. Malebela a Tšebeliso ea Letsatsi le Letsatsi bakeng sa Sisteme ea SPC

Ha o sebelisa sistimi ea SPC ts'ebetsong ea letsatsi le letsatsi, mehato e latelang e ka lateloa:

Hlalosa Li-Parameters tsa Tlhokomelo ea Bohlokoa (KPI): Hlalosa li-parameter tsa bohlokoa ka ho fetisisa ts'ebetsong ea tlhahiso 'me u li kenye ho hlahloba SPC. Mekhahlelo ena e lokela ho amana haufi-ufi le boleng ba sehlahisoa le ts'ebetso ea lisebelisoa.

Beha Meeli ea Taolo le Meeli ea Alamo: Ho latela lintlha tsa nalane le litlhoko tsa ts'ebetso, beha meeli e utloahalang ea taolo le meeli ea alamo bakeng sa paramethara ka 'ngoe. Meeli ea taolo e atisa ho behoa ho ± 3σ (liphapang tse tloaelehileng), ha meeli ea alamo e itšetlehile ka maemo a itseng a ts'ebetso le lisebelisoa.

Tlhokomelo e Tsoelang Pele le Tlhahlobo: Kamehla hlahloba lichate tsa taolo ea SPC ho sekaseka mekhoa ea data le mefuta e fapaneng. Haeba likarolo tse ling li feta meeli ea taolo, ho hlokahala hore ho nke khato hang-hang, joalo ka ho lokisa lisebelisoa kapa ho lokisa thepa.

Ts'ebetso e sa Tloaelehileng le Tlhahlobo ea Lebaka la Motso: Ha ho etsahala ntho e sa tloaelehang, tsamaiso ea SPC e tlaleha lintlha tse qaqileng mabapi le ketsahalo eo. U hloka ho rarolla mathata le ho sekaseka sesosa sa ho se tloaelehe ho ipapisitse le tlhaiso-leseling ena. Hangata hoa khoneha ho kopanya lintlha tse tsoang ho litsamaiso tsa FDC, litsamaiso tsa EES, joalo-joalo, ho hlahloba hore na taba e bakoa ke ho hlōleha ha thepa, ho kheloha ha mokhoa, kapa mabaka a ka ntle a tikoloho.

Ntlafatso e Tsoelang Pele: U sebelisa lintlha tsa nalane tse tlalehiloeng ke sistimi ea SPC, tseba lintlha tse fokolang ts'ebetsong mme u etse tlhahiso ea merero ea ntlafatso. Mohlala, ts'ebetsong ea etching, sekaseka sephetho sa nako ea bophelo ea ESC le mekhoa ea ho hloekisa ho lipotoloho tsa tokiso ea lisebelisoa le ho tsoela pele ho ntlafatsa liparamente tsa ts'ebetso ea lisebelisoa.

6. Nyeoe ea Kopo e Sebetsang

E le mohlala o sebetsang, ha re re ke uena ea ikarabellang bakeng sa lisebelisoa tsa etching E-MAX, 'me cathode ea kamore e na le ho apara pele ho nako, e leng se lebisang ho eketseha ha boleng ba D0 (BARC defect). Ka ho beha leihlo matla a RF le sekhahla sa etch ka sistimi ea SPC, u hlokomela mokhoa oo li-parameter tsena li khelohang butle-butle ho boleng ba tsona. Ka mor'a hore alamo ea SPC e hlahisoe, u kopanya lintlha tse tsoang tsamaisong ea FDC 'me u fumane hore taba ena e bakoa ke taolo e sa tsitsang ea mocheso ka har'a kamore. Ebe o kenya ts'ebetsong mekhoa e mecha ea ho hloekisa le mekhoa ea tlhokomelo, qetellong o fokotsa boleng ba D0 ho tloha ho 4.3 ho ea ho 2.4, kahoo o ntlafatsa boleng ba sehlahisoa.

7.Ka XINKEHUI u ka fumana.

Ho XINKEHUI, o ka fihlela sephaphatha se phethahetseng, ebang ke sephaphatha sa silicon kapa sephaphatha sa SiC. Re sebetsa ka thata ho fana ka li-wafers tsa boleng bo holimo bakeng sa liindasteri tse fapaneng, re shebane le ho nepahala le ts'ebetso.