Kutloisiso e Tebileng ea Sistimi ea SPC Tlhahisong ea Wafer

1. Kakaretso ea Sistimi ea SPC

SPC ke mokhoa o sebelisang mekhoa ea lipalo-palo ho beha leihlo le ho laola lits'ebetso tsa tlhahiso. Mosebetsi oa eona oa mantlha ke ho lemoha lintho tse sa tloaelehang ts'ebetsong ea tlhahiso ka ho bokella le ho sekaseka lintlha tsa nako ea sebele, ho thusa baenjiniere ho etsa liphetoho le liqeto tse nakong. Sepheo sa SPC ke ho fokotsa phapang ts'ebetsong ea tlhahiso, ho netefatsa hore boleng ba sehlahisoa bo lula bo tsitsitse ebile bo fihlela litlhoko.

SPC e sebelisoa ts'ebetsong ea ho hlaba ho:

Lekola diparamitha tsa bohlokwa tsa disebediswa (mohlala, sekgahla sa ho tjhesa, matla a RF, kgatello ya kamore, mocheso, jj.)

Sekaseka matšoao a bohlokoa a boleng ba sehlahisoa (mohlala, bophara ba mola, botebo ba ho qolla, ho se tsitse ha lehlakore, jj.)

Ka ho beha leihlo diparamente tsena, baenjiniere ba ka lemoha mekgwa e bontshang ho senyeha ha tshebetso ya disebediswa kapa ho kgeloha tshebetsong ya tlhahiso, ka hona ba fokotsa sekgahla sa ditshila.

2. Likarolo tsa Motheo tsa Sistimi ea SPC

Sistimi ea SPC e entsoe ka li-module tse 'maloa tsa bohlokoa:

Mojule oa Pokello ea Lintlha: E bokella lintlha tsa nako ea sebele ho tsoa ho lisebelisoa le phallo ea lits'ebetso (mohlala, ka litsamaiso tsa FDC, EES) le ho tlaleha liparamente tsa bohlokoa le liphetho tsa tlhahiso.

Mojule oa Chate ea Taolo: E sebelisa lichate tsa taolo ea lipalo-palo (mohlala, chate ea X-Bar, chate ea R, chate ea Cp/Cpk) ho bona botsitso ba ts'ebetso le ho thusa ho fumana hore na ts'ebetso e laola.

Sistimi ea Alamo: E qala lialamo ha liparamente tsa bohlokoa li feta meeli ea taolo kapa li bontša liphetoho tsa mekhoa, e leng se susumetsang baenjiniere ho nka khato.

Mojule oa Tlhahlobo le Tlaleho: E sekaseka sesosa sa mantlha sa ho se lekane ho latela lichate tsa SPC mme e hlahisa litlaleho tsa ts'ebetso khafetsa bakeng sa ts'ebetso le lisebelisoa.

3. Tlhaloso e qaqileng ea Lichate tsa Taolo ho SPC

Lichate tsa taolo ke e 'ngoe ea lisebelisoa tse sebelisoang haholo ho SPC, tse thusang ho khetholla pakeng tsa "phetoho e tloaelehileng" (e bakoang ke liphetoho tsa tlhaho tsa ts'ebetso) le "phetoho e sa tloaelehang" (e bakoang ke ho hloleha ha lisebelisoa kapa ho kheloha ha ts'ebetso). Lichate tse tloaelehileng tsa taolo li kenyelletsa:

Lichate tsa X-Bar le R: Li sebelisoa ho lekola karolelano le sebaka ka har'a lihlopha tsa tlhahiso ho bona hore na ts'ebetso e tsitsitse.

Li-Indices tsa Cp le Cpk: E sebelisoa ho lekanya bokhoni ba ts'ebetso, ke hore, hore na tlhahiso ea ts'ebetso e ka fihlela litlhoko tsa litlhaloso ka mokhoa o ts'oanang. Cp e lekanya bokhoni ba bokhoni, ha Cpk e nahana ka ho kheloha ha setsi sa ts'ebetso ho tloha meeling ea litlhaloso.

Mohlala, ts'ebetsong ea ho hlaba, u ka 'na ua beha leihlo liparamente tse kang sekhahla sa ho hlaba le ho hlaka ha bokaholimo. Haeba sekhahla sa ho hlaba sa sesebelisoa se itseng se feta moeli oa taolo, u ka sebelisa lichate tsa taolo ho fumana hore na ena ke phetoho ea tlhaho kapa sesupo sa ho se sebetse hantle ha sesebelisoa.

4. Tšebeliso ea SPC ho Lisebelisoa tsa ho Cheka

Ts'ebetsong ea ho fata, ho laola liparamente tsa lisebelisoa ho bohlokoa, 'me SPC e thusa ho ntlafatsa botsitso ba ts'ebetso ka litsela tse latelang:

Tlhokomelo ea Boemo ba Lisebelisoa: Mekhoa e kang FDC e bokella lintlha tsa nako ea sebele mabapi le liparamente tsa bohlokoa tsa lisebelisoa tsa ho fata (mohlala, matla a RF, phallo ea khase) ebe e kopanya lintlha tsena le lichate tsa taolo ea SPC ho lemoha mathata a ka bang teng a lisebelisoa. Mohlala, haeba u bona hore matla a RF chateng ea taolo a ntse a kheloha butle-butle ho tloha boleng bo behiloeng, u ka nka khato ea pele bakeng sa tokiso kapa tlhokomelo ho qoba ho ama boleng ba sehlahisoa.

Tlhokomelo ea Boleng ba Sehlahisoa: U ka boela ua kenya liparamente tsa bohlokoa tsa boleng ba sehlahisoa (mohlala, botebo ba ho qoela, bophara ba mola) tsamaisong ea SPC ho lekola botsitso ba tsona. Haeba matšoao a mang a bohlokoa a sehlahisoa a kheloha butle-butle ho tloha boleng ba sepheo, sistimi ea SPC e tla ntša alamo, e bontšang hore ho hlokahala liphetoho tsa ts'ebetso.

Tlhokomelo e Thibelang (PM): SPC e ka thusa ho ntlafatsa potoloho ea tlhokomelo e thibelang bakeng sa lisebelisoa. Ka ho sekaseka lintlha tsa nako e telele mabapi le ts'ebetso ea lisebelisoa le liphetho tsa ts'ebetso, u ka fumana nako e nepahetseng ea tlhokomelo ea lisebelisoa. Mohlala, ka ho beha leihlo matla a RF le nako ea bophelo ea ESC, u ka fumana hore na ho hlokahala neng ho hloekisa kapa ho nkela likarolo sebaka, ho fokotsa sekhahla sa ho hloleha ha lisebelisoa le nako ea ho se sebetse ha tlhahiso.

5. Malebela a Tšebeliso ea Letsatsi le Letsatsi bakeng sa Sistimi ea SPC

Ha o sebedisa sistimi ya SPC mesebetsing ya letsatsi le letsatsi, mehato e latelang e ka latelwa:

Hlalosa Diparamithara tsa Taolo ya Bohlokwa (KPI): Hlalosa diparamithara tsa bohlokwa ka ho fetisisa tshebetsong ya tlhahiso mme o di kenyelletse tlhokomelong ya SPC. Diparamithara tsena di lokela ho amana haufi-ufi le boleng ba sehlahiswa le tshebetso ya disebediswa.

Beha Meeli ea Taolo le Meeli ea Alamo: Ho latela lintlha tsa nalane le litlhoko tsa ts'ebetso, beha meeli e utloahalang ea taolo le meeli ea alamo bakeng sa paramethara ka 'ngoe. Meeli ea taolo hangata e beoa ho ±3σ (liphapang tse tloaelehileng), ha meeli ea alamo e ipapisitse le maemo a itseng a ts'ebetso le lisebelisoa.

Tlhokomelo le Tlhahlobo e Tsoelang Pele: Hlahloba lichate tsa taolo ea SPC khafetsa ho sekaseka mekhoa le liphetoho tsa data. Haeba liparamente tse ling li feta meeli ea taolo, ho hlokahala khato e potlakileng, joalo ka ho fetola liparamente tsa lisebelisoa kapa ho etsa tlhokomelo ea lisebelisoa.

Ho Sebetsana le Boemo bo sa Tloaelehang le Tlhahlobo ea Sesosa sa Motheo: Ha ho etsahala boemo bo sa tloaelehang, sistimi ea SPC e tlaleha tlhahisoleseling e qaqileng mabapi le ketsahalo eo. U hloka ho rarolla bothata le ho sekaseka sesosa sa motheo sa boemo bo sa tloaelehang ho latela tlhahisoleseling ena. Hangata hoa khoneha ho kopanya data ho tsoa lits'ebetsong tsa FDC, lits'ebetsong tsa EES, jj., ho sekaseka hore na bothata bo bakoa ke ho hloleha ha lisebelisoa, ho kheloha ha ts'ebetso, kapa mabaka a kantle a tikoloho.

Ntlafatso e Tswelang Pele: Ka ho sebedisa data ya nalane e tlalehilweng ke sistimi ya SPC, hlwaya dintlha tse fokolang tshebetsong mme o sisinye merero ya ntlafatso. Mohlala, tshebetsong ya ho tjhesa, sekaseka tshusumetso ya bophelo ba ESC le mekgwa ya ho hlwekisa hodima dipotoloho tsa tlhokomelo ya disebediswa mme o tswele pele ho ntlafatsa diparamitha tsa tshebetso ya disebediswa.

6. Nyeoe ea Ts'ebeliso e Sebetsang

Mohlala o sebetsang, a re re u ikarabella bakeng sa lisebelisoa tsa ho hlaba E-MAX, 'me cathode ea kamore e ntse e senyeha pele ho nako, e leng se lebisang keketsehong ea boleng ba D0 (BARC defect). Ka ho beha leihlo sekhahla sa matla a RF le sekhahla sa ho hlaba ka har'a sistimi ea SPC, u hlokomela mokhoa oo liparamente tsena li fetohang butle-butle ho tloha boleng ba tsona bo behiloeng. Kamora hore alamo ea SPC e qale, u kopanya data ho tsoa tsamaisong ea FDC 'me u fumana hore bothata bo bakoa ke taolo e sa tsitsang ea mocheso ka har'a kamore. Ebe u kenya tšebetsong mekhoa e mecha ea ho hloekisa le maano a tlhokomelo, qetellong u fokotsa boleng ba D0 ho tloha ho 4.3 ho isa ho 2.4, ka hona u ntlafatsa boleng ba sehlahisoa.

7. Ho XINKEHUI o ka fumana.

Ho XINKEHUI, o ka fumana wafer e phethahetseng, ebang ke wafer ea silicon kapa wafer ea SiC. Re ikhethile ka ho fana ka li-wafer tsa boleng bo holimo bakeng sa liindasteri tse fapaneng, re shebane le ho nepahala le ts'ebetso.