Ka nts'etsopele e tsoelang pele ea thekenoloji ea semiconductor, indastering ea semiconductor esita le indasteri ea photovoltaic, litlhoko tsa boleng ba bokaholimo ba letlapa kapa lakane ea epitaxial le tsona li thata haholo.Joale, litlhoko tsa boleng ba li-wafers ke life?Ho nka mohlala oa liphaphatha tsa safire, ke matšoao afe a ka sebelisoang ho lekola boleng ba bokaholimo ba liphaphatha?
Matšoao a tlhahlobo ea li-wafers ke afe?
Lipontšo tse tharo
Bakeng sa liphaphatha tsa safire, matšoao a eona a tlhahlobo ke ho kheloha ha botenya bo felletseng (TTV), bend (Bow) le Warp (Warp).Liparamente tsena tse tharo hammoho li bonts'a ho bata le botenya ba sephaphatha sa silicon, 'me li ka lekanya tekanyo ea ho ripha ha sephaphatha.The corrugation e ka kopanngoa le ho batalla ho lekola boleng ba bokaholimo ba liphaphatha.
TTV, BOW, Warp ke eng?
TTV (Total Thickness Variation)
TTV ke phapang pakeng tsa boholo le botenya ba bonyane ba sephaphatha.Paramethara ena ke index ea bohlokoa e sebelisetsoang ho lekanya botenya ba wafer.Ts'ebetsong ea semiconductor, botenya ba sephaphatha bo tlameha ho tšoana hantle holim'a bokaholimo bohle.Hangata litekanyo li etsoa libakeng tse hlano holim'a sephaphatha 'me phapang e baloa.Qetellong, boleng bona ke motheo oa bohlokoa oa ho ahlola boleng ba sephaphatha.
Inamela
Bow in semiconductor production e bolela ho kobeha ha sephaphatha, ho lokolla sebaka se pakeng tsa bohareng ba semiconductor e sa koaloang le sefofane sa litšupiso.Lentsoe lena mohlomong le tsoa tlhalosong ea sebōpeho sa ntho ha e kobehile, joaloka sebōpeho se kobehileng sa seqha.Boleng ba Bow bo hlalosoa ka ho lekanya ho kheloha lipakeng tsa bohareng le moeli oa sephaphatha sa silicon.Boleng bona hangata bo hlahisoa ka li-micrometer (µm).
Warp
Warp ke thepa ea lefats'e ea liphaephe tse lekanyang phapang pakeng tsa sebaka se phahameng le se fokolang pakeng tsa bohareng ba sephaphatha se sa koaeloang ka bolokolohi le sefofane sa litšupiso.E emela sebaka sa ho tloha holim'a sephaphatha sa silicon ho ea sefofaneng.
Phapano ke efe lipakeng tsa TTV, Bow, Warp?
TTV e shebana le liphetoho tsa botenya mme ha e amehe ka ho kobeha kapa ho sothoa ha sephaphatha.
Bow e shebane le ho kobeha ka kakaretso, haholo-holo ho nahanoa ka ho kobeha ha ntlha e bohareng le moeli.
Warp e pharaletseng haholoanyane, ho kenyelletsa ho kobeha le ho sotha ha bokaholimo bohle ba liphaephe.
Le hoja li-parameter tsena tse tharo li amana le sebōpeho le thepa ea geometri ea sephaphatha sa silicon, li lekanngoa le ho hlalosoa ka tsela e fapaneng, 'me phello ea tsona ts'ebetsong ea semiconductor le ts'ebetso ea liphaphatha le tsona li fapane.
Ha li-parameter tse tharo li le nyane, li betere, 'me paramethara e kholoanyane, e na le tšusumetso e mpe ho ts'ebetso ea semiconductor.Ka hona, joalo ka setsebi sa semiconductor, re tlameha ho hlokomela bohlokoa ba liparamente tsa profil ea wafer bakeng sa ts'ebetso eohle ea ts'ebetso, ts'ebetso ea semiconductor, e tlameha ho ela hloko lintlha.
(censoring)
Nako ea poso: Jun-24-2024