TTV, BOW, WARP, le TIR li Bolela'ng ho Wafers?

Ha re hlahloba li-wafers tsa silicon tsa semiconductor kapa li-substrates tse entsoeng ka lisebelisoa tse ling, hangata re kopana le matšoao a theknoloji a kang: TTV, BOW, WARP, mohlomong TIR, STIR, LTV, har'a tse ling. Lintho tsee li emela lintlha life?

TTV - Phapang e Felletseng ea Botenya
BORA - Seqha
WARP - Warp
TIR — Kakaretso e Bontšitsoeng ea ho Bala
STIR - Kakaretso ea Sebaka se Bontšitsoeng ho Bala
LTV - Phapang ea Botenya ba Sebaka

1. Phapang ea Botenya bohle - TTV

Phapang pakeng tsa boholo le botenya ba bonyane ba sephaphatha se amanang le sefofane sa litšupiso ha sephaphatha se koaletsoe ebile se le haufi. Ka kakaretso e hlahisoa ka li-micrometer (μm), hangata e emeloa e le: ≤15 μm.

2. Seqha - SEKOBA

Phapang pakeng tsa bonyane le sebaka se seholo ho tloha sebakeng se bohareng sa bokaholimo ho sefofane sa litšupiso ha sephaphatha se le boemong bo sa lefelloeng (bo sa tsitsang). Sena se kenyelletsa linyeoe tsa concave (negative bow) le "convex" (positive bow). Hangata e hlahisoa ka li-micrometers (μm), hangata e emeloa e le: ≤40 μm.

3. Warp - WARP

Phapang pakeng tsa bonyane le sebaka se seholo ho tloha holim'a sephaphatha ho ea sefofaneng sa litšupiso (hangata bokaholimo bo ka morao ba sephaphatha) ha sephaphatha se le boemong ba mahala (bo sa tsitsang). Sena se kenyeletsa maemo a mabeli a concave (negative warp) le a convex (positive warp). Ka kakaretso e hlahisoa ka li-micrometers (μm), hangata e emeloa e le: ≤30 μm.

4. Kakaretso e Bontšitsoeng ea ho Bala — TIR

Ha sephaphatha se koaletsoe 'me se amana haufi-ufi, se sebelisa sefofane sa litšupiso se fokotsang kakaretso ea lintlha tsohle tse ka har'a sebaka sa boleng kapa sebaka se itseng sa sebaka se holim'a sephaphatha, TIR ke ho kheloha pakeng tsa sebaka se phahameng le se fokolang ho tloha holim'a metsi ho ea sefofaneng sena sa litšupiso.

E Thehiloe holim'a tsebo e tebileng ea litlhaloso tsa lisebelisoa tsa semiconductor tse kang TTV, BOW, WARP, le TIR, XKH e fana ka litšebeletso tse nepahetseng tsa ho sebetsana le li-wafer tse lumellanang le maemo a thata a indasteri. Re fana le ho ts'ehetsa lisebelisoa tse ngata tse sebetsang hantle tse kenyelletsang safire, silicon carbide (SiC), liphaephe tsa silicon, SOI, le quartz, ho netefatsa ho batalla ho ikhethang, ho tsitsisa botenya, le boleng ba bokaholimo bakeng sa lits'ebetso tse tsoetseng pele ho optoelectronics, lisebelisoa tsa motlakase le MEMS. Re tšepe ho fana ka litharollo tsa lisebelisoa tse tšepahalang le mochini o nepahetseng o fihlelang litlhoko tsa hau tsa moralo tse boima haholo.