Substrate ea Sapphire e nang le lipaterone PSS 2inch 4inch 6inch ICP dry etching e ka sebelisoa bakeng sa li-chip tsa LED
Tšobotsi ea mantlha
1. Litšobotsi tsa thepa: Thepa ea substrate ke safire e le 'ngoe ea kristale (Al₂O₃), e nang le bothata bo phahameng, khanyetso e phahameng ea mocheso le botsitso ba lik'hemik'hale.
2. Sebopeho sa bokaholimo: Bokaholimo bo boptjoa ke photolithography le ho qoela ka har'a meaho ea micro-nano e sa tloaelehang, joalo ka likhoune, lipiramide kapa lihlopha tse nang le mahlakore a tšeletseng.
3. Tshebetso ya Optical: Ka moralo wa ho etsa dipaterone tsa bokahodimo, pontsho yohle ya lesedi sebopehong e a fokotseha, mme bokgoni ba ho ntsha lesedi bo a ntlafala.
4. Tshebetso ya mocheso: Karolo ya safire e na le phallo e ntle ya mocheso, e loketseng ditshebediso tsa LED tse matla haholo.
5. Litlhaloso tsa boholo: Boholo bo tloaelehileng ke lisenthimithara tse 2 (50.8mm), lisenthimithara tse 4 (100mm) le lisenthimithara tse 6 (150mm).
Libaka tse ka sehloohong tsa kopo
1. Tlhahiso ea LED:
Bokgoni bo ntlafetseng ba ho ntsha lesedi: PSS e fokotsa tahlehelo ya lesedi ka moralo wa dipaterone, e ntlafatsa kganya ya LED haholo le bokgoni ba ho bonesa.
Boleng bo ntlafetseng ba kgolo ya epitaxial: Sebopeho se nang le dipaterone se fana ka motheo o betere wa kgolo bakeng sa dikarolo tsa epitaxial tsa GaN mme se ntlafatsa tshebetso ya LED.
2. Diode ea Laser (LD):
Li-laser tse nang le matla a phahameng: Ho khanna mocheso le botsitso ba PSS ho loketse li-diode tsa laser tse nang le matla a phahameng, ho ntlafatsa ts'ebetso ea ho qhala mocheso le ts'epo.
Motlakase o tlase: Ntlafatsa kgolo ya epitaxial, fokotsa motlakase o tlase wa laser diode, mme o ntlafatse bokgoni.
3. Sesebelisoa sa ho lemoha foto:
Ho ba le kutlo e phahameng: Phetiso e phahameng ea leseli le ho ba le sekoli se tlase sa PSS ho ntlafatsa kutlo le lebelo la karabelo la photodetector.
Karabelo e pharaletseng ea spectral: e loketse ho lemoha photoelectric ho tloha mahlaseling a ultraviolet ho ea ho a bonahalang.
4. Lisebelisoa tsa motlakase:
Khanyetso e phahameng ea motlakase: Ho thibela mocheso le botsitso ba mocheso ba Sapphire li loketse lisebelisoa tsa motlakase tse phahameng.
Ho qhala mocheso ka katleho: Ho tsamaisa mocheso ka bongata ho ntlafatsa ts'ebetso ea ho qhala mocheso oa lisebelisoa tsa motlakase 'me ho lelefatsa bophelo ba ts'ebeletso.
5. Lisebelisoa tsa Rf:
Tshebetso e phahameng ya maqhubu: Tahlehelo e tlase ya dielectric le botsitso bo phahameng ba mocheso ba PSS di loketse disebediswa tsa maqhubu a phahameng a RF.
Lerata le tlase: Ho batalla haholo le ho ba le sekoli se tlase ho fokotsa lerata la sesebelisoa le ho ntlafatsa boleng ba lets'oao.
6. Li-biosensor:
Ho lemoha ho ba le kutlo e phahameng: Phetiso e phahameng ea leseli le botsitso ba lik'hemik'hale ba PSS li loketse li-biosensor tse nang le kutlo e phahameng.
Ho lumellana ha lintho tse phelang: Ho lumellana ha safire ho etsa hore e lokele lits'ebetso tsa bongaka le tsa ho lemoha lintho tse phelang.
Substrate ea safire e nang le paterone (PSS) e nang le thepa ea GaN epitaxial:
Substrate e nang le dipaterone tsa safire (PSS) ke substrate e loketseng kgolo ya epitaxial ya GaN (gallium nitride). Lera la sapphire le haufi le GaN, e leng se ka fokotsang ho se tshwane ha lattice le diphoso kgolong ya epitaxial. Sebopeho sa micro-nano sa bokahodimo ba PSS ha se ntlafatse feela bokgoni ba ho ntsha lesedi, empa hape se ntlafatsa boleng ba kristale ba lera la epitaxial la GaN, ka hona se ntlafatsa tshebetso le botshepehi ba LED.
Litekanyetso tsa tekheniki
| Ntho | Substrate ea Sapphire e nang le Patterned (2 ~ 6inch) | ||
| Bophara | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
| Botenya | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Boikutlo ba Bokaholimo | Sefofane sa C (0001) se sa shebaneng le M-axis (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| Sefofane sa C (0001) se sa shebaneng le A-axis (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| Boikutlo ba Motheo bo bataletseng | Sefofane sa A (11-20) ± 1.0° | ||
| Bolelele ba Sephara ba Motheo | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
| Sefofane sa R | Hora ea borobong | ||
| Qetello ea Bokaholimo bo ka Pele | E entsoe ka dipaterone | ||
| Qetello ea Bokamorao | SSP: E ntle haholo, Ra=0.8-1.2um; DSP: E bentšitsoeng ka Epi, Ra<0.3nm | ||
| Letšoao la Laser | Lehlakore le ka morao | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| SEKHUKHU | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Ho se kenyeletsoe ha Moeli | ≤2 mm | ||
| Tlhaloso ea Paterone | Sebopeho sa Sebopeho | Dome, Khoune, Piramide | |
| Bophahamo ba Paterone | 1.6~1.8μm | ||
| Bophara ba Paterone | 2.75~2.85μm | ||
| Sebaka sa Lipaterone | 0.1 ~ 0.3μm | ||
XKH e ikgethile ka ho fana ka di-substrate tsa safire tse nang le dipaterone tse ikgethileng (PSS) tsa boleng bo hodimo, ka tshehetso ya botekgeniki le tshebeletso ya kamora thekiso ho thusa bareki ho fihlella boqapi bo sebetsang hantle lefapheng la LED, pontsho le optoelectronics.
1. Phepelo ea boleng bo holimo ea PSS: Lisebelisoa tsa safire tse nang le lipaterone ka boholo bo fapaneng (2 ", 4", 6 ") ho fihlela litlhoko tsa lisebelisoa tsa LED, ponts'o le tsa optoelectronic.
2. Moralo o ikhethileng: Iketsetse sebopeho sa micro-nano sa bokaholimo (joalo ka khoune, piramite kapa hexagonal array) ho latela litlhoko tsa bareki ho ntlafatsa bokgoni ba ho ntsha lesedi.
3. Tšehetso ea tekheniki: Fana ka moralo oa ts'ebeliso ea PSS, ntlafatso ea ts'ebetso le boeletsi ba tekheniki ho thusa bareki ho ntlafatsa ts'ebetso ea sehlahisoa.
4. Tšehetso ea kholo ea Epitaxial: PSS e tsamaellanang le thepa ea GaN epitaxial e fanoa ho netefatsa kholo ea lera la epitaxial ea boleng bo holimo.
5. Teko le setifikeiti: Fana ka tlaleho ea tlhahlobo ea boleng ba PSS ho netefatsa hore lihlahisoa li fihlela maemo a indasteri.
Setšoantšo se qaqileng
