Sekoti se se nang letho sa Sapphire Square – Optical, Semiconductor, le Test Wafer

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Karolo e se nang letho ea safire e bontšitsoeng setšoantšong ke thepa e hloekileng haholo, e nang le kristale e le 'ngoe ea aluminium oxide (Al₂O₃), e entsoeng ho fihlela litlhoko tse boima tsa litsamaiso tse tsoetseng pele tsa mahlo, ts'ebetso ea semiconductor, le liteko tsa lisebelisoa tse nepahetseng. E hlahisitsoe ka mekhoa e tsoetseng pele ea kholo ea kristale joalo ka ts'ebetso ea Kyropoulos (KY) kapa Czochralski (CZ), safire ena e se nang letho e bonts'a ponaletso e ikhethang ea mahlo, ho ba thata ho ikhethang, le botsitso bo ikhethang ba lik'hemik'hale, e leng se etsang hore e be khetho e ntle bakeng sa lits'ebetso tsa indasteri tse sebetsang hantle.

Romella imeile ho rona

Likaroloana

Setšoantšo se qaqileng

Kakaretso ea Sebaka se se nang letho sa Sapphire Square

Karolo e se nang letho ea safire, joalo ka ha e bontšitsoe setšoantšong, ke karolo ea aluminium oxide (Al₂O₃) e hloekileng haholo e etselitsoeng ho sebelisoa boenjiniere bo tsoetseng pele ba mahlo, tlhahiso ea lisebelisoa tsa semiconductor, le liteko tsa lisebelisoa tse nepahetseng. Kaha e tumme ka thepa ea eona e ikhethang ea 'mele le ea lik'hemik'hale, safire e fetohile e 'ngoe ea thepa ea bohlokoa ka ho fetisisa liindastering tse hlokang ho tšoarella ho feteletseng, botsitso le ts'ebetso ea mahlo. E hlahisitsoe ka mekhoa e rarahaneng ea kholo ea kristale, joalo ka mekhoa ea Kyropoulos (KY), Heat Exchange Method (HEM), kapa Czochralski (CZ), libaka tsena tse se nang letho li etsoa ka hloko ho fihlela maemo a boleng bo holimo ka ho fetisisa.

Likarolo tsa Bohlokoa tsa Sapphire Square Blank Substrate

Sapphire ke kristale e le 'ngoe feela, e nang le sebopeho sa hexagonal lattice, e fanang ka motsoako o sa bapisoeng oa matla a mechini, botsitso ba mocheso le khanyetso ea lik'hemik'hale. Ka tekanyo ea Mohs ea 9, safire e latela daemane feela mabapi le khanyetso ea ho ngoapa, e netefatsang nako e telele e ikhethang esita le tlas'a maemo a maholo a indasteri. Sebaka sa eona sa ho qhibiliha se feta 2000°C, se lumellang ts'ebetso e tšepahalang libakeng tse nang le mocheso o phahameng, ha tahlehelo ea eona e tlase ea dielectric e e etsa hore e be thepa e ratoang ea substrate bakeng sa lits'ebetso tsa RF le tsa elektroniki tse nang le maqhubu a phahameng.

Sebakeng sa optical, safire e bonts'a mefuta e mengata ea phetiso ho tloha ho ultraviolet e tebileng (~200nm) ho isa ho e bonahalang ho isa ho mid-infrared (~5000nm), ka ho tšoana ho hoholo ha optical le birefringence e tlase ha e shebane hantle. Matlotlo ana a etsa hore likheo tse sekwere tsa safire li be tsa bohlokoa masimong a nang le optics e ngata joalo ka litsamaiso tsa laser, photonics, spectroscopy, le litšoantšo.

Tlhahiso le Tsamaiso

Karolo e 'ngoe le e 'ngoe e se nang letho ea safire e feta ts'ebetsong e thata ea tlhahiso, ho qala ka phofo ea alumina e tala e hloekileng haholo e kenngoang kholong e laoloang ea kristale ka liontong tse nang le mocheso o phahameng. Kamora hore kristale e kholo e holisoe, e shebane hantle (hangata C-plane (0001), A-plane (11-20), kapa R-plane (1-102)) ho latela litlhoko tse ikhethileng tsa ts'ebeliso. Kristale e sehoa ka likheo tse sekoere ka lisakha tse koahetsoeng ka daemane, e lateloe ke ho lapa ka nepo ho fihlela ho lekana ha botenya. Bakeng sa lits'ebetso tsa optical le semiconductor, libaka li ka bentsuoa ho fihlela boreledi ba boemo ba athomo, ho fihlela ho batalla ho thata, ho tšoana, le litlhaloso tsa ho ba thata ha bokaholimo.

Melemo ea Bohlokoa

Ponaletso e Ikhethang ea Optical– Phetiso ea wideband ho tloha ho UV ho ea ho IR e etsa hore e be ntle bakeng sa lifensetere tsa optical, likoti tsa laser, le likoahelo tsa sensor.
Matla a Phahameng a Mechini– Matla a ho hatella a phahameng, ho tiea ha ho robeha, le ho hanyetsa ho ngoapa ho netefatsa bophelo bo bolelele libakeng tse nang le khatello e phahameng.
Ho Tsitsisa ha Thermal le Lik'hemik'hale– E hanela ho thothomela ha mocheso, mocheso o phahameng, le lik'hemik'hale tse matla, e boloka botsitso nakong ea ts'ebetso ea semiconductor le ho pepesehela tikoloho ka matla.
Taolo e Nepahetseng ea Litekanyo– Mamello e ka fihlellehang ea botenya ka hare ho ±5µm le ho ba sephara ha bokaholimo ho fihlela ho λ/10 (ho 632.8nm), ea bohlokoa bakeng sa lits'ebetso tsa photolithography le wafer bonding.
Ho feto-fetoha ha maemo– E loketse mefuta e fapaneng ya ditshebediso ho kenyeletswa dikarolo tsa optical, di-substrate tsa kgolo ya epitaxial, le di-wafer tsa teko ya mochini.

Likopo

Lisebelisoa tsa Optical: E sebelisoa e le lifensetere, li-filter, li-laser gain medium holders, li-cover tse sireletsang bakeng sa li-sensor, le li-substrate tsa photonics ka lebaka la ho hlaka ha eona ha optical le ho tšoarella ha eona.
Li-substrate tsa semiconductor: E sebetsa e le motheo oa motheo bakeng sa li-LED tse thehiloeng ho GaN, lisebelisoa tsa motlakase (meaho ea SiC-on-sapphire), lisebelisoa tsa RF, le lipotoloho tsa microelectronic, moo ho tsamaisoa ha mocheso le khanyetso ea lik'hemik'hale li leng tsa bohlokoa ka ho fetisisa.
Teko ea Lisebelisoa le Li-wafer tsa Dummy: E sebelisoa khafetsa e le li-substrate tsa liteko meleng ea tlhahiso ea semiconductor, e sebelisetsoang ho lekanya mochini, ho etsisa ts'ebetso, le ho leka ho mamella lisebelisoa tsa ho betla, ho beha, kapa tsa tlhahlobo.
Patlisiso ea Saense: E bohlokwa ditlhophisong tsa liteko tse hlokang dipolatefomo tse sa sebetseng, tse bonaletsang, le tse tsitsitseng tsa mechini bakeng sa dithuto tsa mahlasedi, tsa motlakase le tsa thepa.

LBH

P1: Molemo oa ho sebelisa safire e sekoere e se nang letho holim'a wafer e chitja ke ofe?
K: Likheo tse sekoere li fana ka sebaka se seholo se ka sebelisoang bakeng sa ho seha ka mokhoa o ikhethileng, ho etsa lisebelisoa, kapa ho hlahloba mochini, ho fokotsa litšila tsa thepa le litšenyehelo.

P2: Na di-substrate tsa safire di ka mamella ditikoloho tsa ts'ebetso ya semiconductor?
K: E, di-substrate tsa safire di boloka botsitso tlasa dithempereichara tse phahameng, ho tjhesa ka plasma, le kalafo ya dikhemikhale e tlwaelehileng tlhahisong ya di-semiconductor.

P3: Na ho shebana le bokaholimo ho bohlokoa bakeng sa ts'ebeliso ea ka?
K: Ehlile. Sapphire ea C-plane e sebelisoa haholo bakeng sa epitaxy ea GaN tlhahisong ea LED, ha tataiso ea A-plane le R-plane li khethoa bakeng sa lits'ebetso tse ikhethileng tsa optical kapa piezoelectric.

P4: Na dikgeo tsena di fumaneha ka dikobo tse ikgethileng?
K: E, dikoahelo tse thibelang ho bonahatsa, tsa dielectric, kapa tse tsamaisang motlakase di ka sebediswa ho fihlela ditlhoko tse itseng tsa optical kapa tsa elektroniki.

Mabapi le rona

XKH e ikhethile ka nts'etsopele ea theknoloji e phahameng, tlhahiso le thekiso ea khalase e khethehileng ea mahlo le thepa e ncha ea kristale. Lihlahisoa tsa rona li sebeletsa lisebelisoa tsa elektroniki tsa mahlo, lisebelisoa tsa elektroniki tsa bareki le sesole. Re fana ka likarolo tsa mahlo tsa Sapphire, likoahelo tsa lense ea mohala oa thekeng, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, le li-wafer tsa kristale tsa semiconductor. Ka boiphihlelo bo nang le boiphihlelo le lisebelisoa tsa sejoale-joale, re ipabola ts'ebetsong ea lihlahisoa tse seng tsa maemo a holimo, re ikemiselitse ho ba khoebo e etellang pele ea theknoloji e phahameng ea lisebelisoa tsa optoelectronic.