SiC Ceramic Fork Arm / End Effector - Tsamaiso e Tsoetseng Pele ea ho Sebetsa ka ho Nepahala bakeng sa Tlhahiso ea Semiconductor

Tlhaloso e Khutšoanyane:

SiC Ceramic Fork Arm, eo hangata e bitsoang Ceramic End Effector, ke karolo ea ts'ebetso e phahameng ea ho sebetsana le ho nepahala e entsoeng ka ho khetheha bakeng sa ho tsamaisa li-wafer, ho hokahanya le ho beha liindastering tsa theknoloji e phahameng, haholo-holo ka har'a tlhahiso ea semiconductor le photovoltaic. E entsoe ka li-ceramics tsa silicon carbide tse hloekileng haholo, karolo ena e kopanya matla a ikhethang a mechini, katoloso ea mocheso o tlase haholo, le ho hanyetsa ho phahameng ho ts'oha ha mocheso le mafome.

Romella imeile ho rona

Likaroloana

Setšoantšo se qaqileng

Kakaretso ea Sehlahisoa

Ho fapana le di-effector tsa setso tse entsweng ka aluminium, tshepe e sa ruseng, kapa esita le quartz, di-effector tsa SiC ceramic end di fana ka tshebetso e sa bapisweng ka dikamoreng tsa vacuum, dikamoreng tsa ho hlwekisa le dibakeng tse thata tsa ho sebetsana le tsona, e leng se etsang hore e be karolo ya bohlokwa ya diroboto tsa moloko o latelang tse sebetsanang le di-wafer. Ka tlhoko e ntseng e eketseha ya tlhahiso e se nang tshilafalo le mamello e tiileng ho etsweng ha di-chip, tshebediso ya di-effector tsa ceramic end e fetoha tekanyetso ya indasteri ka potlako.

Molao-motheo oa Tlhahiso

Tlhahiso eaLitlamorao tsa Bofelo ba Ceramic tsa SiCe kenyelletsa letoto la lits'ebetso tse nepahetseng haholo, tse hloekileng haholo tse netefatsang ts'ebetso le ho tšoarella. Hangata ho sebelisoa lits'ebetso tse peli tse kholo:

Silicon Carbide e Kopantsoeng le Karabelo (RB-SiC)

Mokgweng ona, preform e entsweng ka phofo ya silicon carbide le binder e kenngwa ka silicon e qhibilihisitsweng mochesong o phahameng (~1500°C), e arabelang le carbon e setseng ho etsa motsoako o teteaneng, o tiileng wa SiC-Si. Mokgwa ona o fana ka taolo e ntle ya boholo mme o theko e tlase bakeng sa tlhahiso e kgolo.

Khabone ea Silicon e Sintered e se nang Khatello (SSiC)

SSiC e etsoa ka ho sila phofo ea SiC e ntle haholo, e hloekileng haholo mochesong o phahameng haholo (>2000°C) ntle le ho sebelisa lintho tse ling kapa mohato oa ho tlama. Sena se fella ka sehlahisoa se nang le bongata ba hoo e ka bang 100% le thepa e phahameng ka ho fetisisa ea mechini le mocheso e fumanehang har'a lisebelisoa tsa SiC. E loketse lits'ebetso tsa ho sebetsana le wafer tse bohlokoa haholo.

Kamora ho Sebetsa

Mechini ea CNC e nepahetseng: E fihlella ho ba bataletseng le ho bapana ha mantsoe.
Ho Qetella hodimo: Ho bentsha taemane ho fokotsa ho teteana ha bokaholimo ho <0.02 µm.
Tlhahlobo: Ho sebelisa interferometry ea mahlo, CMM, le liteko tse sa senyeheng ho netefatsa karolo ka 'ngoe.

Mehato ena e netefatsa horeSesebelisoa sa ho qetela sa SiCe fana ka ho nepahala ho tsitsitseng ha ho beoa ha wafer, ho ba le botsitso bo botle, le tlhahiso e fokolang ea likaroloana.

Likarolo tsa Bohlokoa le Melemo

Tšobotsi	Tlhaloso
Ho tiea ho hoholo	Bothata ba Vickers > 2500 HV, bo hana ho tsofala le ho qhekelloa.
Katoloso e Tlase ea Thermal	CTE ~4.5×10⁻⁶/K, e nolofalletsang botsitso ba tekanyo potolohong ea mocheso.
Ho se sebetse ha lik'hemik'hale	E hanela HF, HCl, likhase tsa plasma, le lintho tse ling tse senyang.
Khanyetso e Hlollang ea Thermal Shock	E loketse ho futhumatsa/ho pholisa ka potlako lits'ebetsong tsa vacuum le tsa ontong.
Ho Tiea le Matla a Phahameng	E tšehetsa matsoho a malelele a fereko a nang le meno a sa kheloheng.
Ho Fokotsa Khase	E loketse tikoloho ea vacuum e phahameng haholo (UHV).
Setokisetso sa Kamore ea ho Hloekisa ea Sehlopha sa 1 sa ISO	Ts'ebetso e se nang likaroloana e netefatsa botšepehi ba wafer.

Likopo

SiC Ceramic Fork Arm / End Effector e sebelisoa haholo liindastering tse hlokang ho nepahala ho feteletseng, bohloeki le ho hanyetsa lik'hemik'hale. Maemo a bohlokoa a ts'ebeliso a kenyelletsa:

Tlhahiso ea Semiconductor

Ho kenya/ho ntsha wafer ka hara depositi (CVD, PVD), ho ntsha (RIE, DRIE), le ditsamaiso tsa ho hlwekisa.
Ho tsamaisa wafer ea roboto pakeng tsa FOUPs, lik'hasete le lisebelisoa tsa ts'ebetso.
Ho sebetsana le mocheso o phahameng nakong ea ts'ebetso ea mocheso kapa ho kenya mocheso.

Tlhahiso ea Lisele tsa Photovoltaic

Ho tsamaisoa ka mokhoa o bonolo ha li-wafer tsa silicon tse senyehang habonolo kapa li-substrate tsa letsatsi ka mela e iketsang.

Indasteri ea Pontšo ea Phanele e Tšoarellang (FPD)

Ho tsamaisa diphanele tse kgolo tsa khalase kapa di-substrate dibakeng tsa tlhahiso ya OLED/LCD.

Semiconductor e kopaneng / MEMS

E sebelisoa meleng ea tlhahiso ea GaN, SiC, le MEMS moo taolo ea tšilafalo le ho nepahala ha sebaka ho leng bohlokoa.

Karolo ea eona ea phello ea ho qetela e bohlokoa haholo ho netefatseng hore ha e na sekoli ebile e tsitsitse nakong ea ts'ebetso e bonolo.

Bokgoni ba ho iketsetsa

Re fana ka mokhoa o pharaletseng oa ho iketsetsa ho fihlela litlhoko tse fapaneng tsa lisebelisoa le ts'ebetso:

Moralo oa fereko: Meralo ea menoana e 'meli, ea menoana e mengata, kapa ea maemo a arohaneng.
Ho lumellana ha Boholo ba Wafer: Ho tloha ho di-wafer tsa 2” ho isa ho 12”.
Li-interface tsa ho Kenya: E lumellana le matsoho a roboto a OEM.
Botenya le Mamello ea Bokaholimo: Ho batalla ha boemo ba micron le ho potoloha ha moedi hoa fumaneha.
Likarolo tse Khahlanong le ho Thella: Meetso ea bokaholimo kapa masela a koaheloang bakeng sa ho tšoara ka thata ka wafer.

E 'ngoe le e 'ngoesesebelisoa sa ho qetela sa ceramice entsoe hammoho le bareki ho netefatsa hore e lumellana hantle ka liphetoho tse fokolang tsa lisebelisoa.

Lipotso Tse Botsoang Khafetsa (Lipotso Tse Botsoang Khafetsa)

P1: SiC e betere ho feta quartz jwang bakeng sa tshebediso ya end effector?
A1:Leha quartz e sebediswa hangata bakeng sa bohloeki ba yona, ha e na matla a ho tiya mme e kotsing ya ho robeha tlasa mojaro kapa ho tshoha ha mocheso. SiC e fana ka matla a hodimo, ho hanyetsa ho tsofala, le botsitso ba mocheso, e leng se fokotsang kotsi ya ho se sebetse le tshenyo ya wafer haholo.

P2: Na letsoho lena la fereko la letsopa le lumellana le li-wafer tsohle tsa roboto?
A2:E, di-effector tsa rona tsa ceramic di tsamaisana le boholo ba ditsamaiso tse kgolo tsa ho tshwara di-wafer mme di ka fetolwa ho latela mehlala ya hao e ikgethang ya roboto ka ditshwantsho tse nepahetseng tsa boenjiniere.

P3: Na e ka sebetsana le di-wafer tsa 300 mm ntle le ho sotha?
A3:Ehlile. Ho tiea ho hoholo ha SiC ho dumella esita le matsoho a masesaane, a malelele a fereko ho tshwara di-wafer tsa 300 mm ka mokhoa o sireletsehileng ntle le ho thella kapa ho kgeloha nakong ya motsamao.

P4: Bophelo ba tšebeletso bo tloaelehileng ba sesebelisoa sa ho qetela sa ceramic sa SiC ke bofe?
A4:Ka tšebeliso e nepahetseng, sesebelisoa sa ho qetela sa SiC se ka nka nako e telele ka makhetlo a 5 ho isa ho a 10 ho feta mehlala ea setso ea quartz kapa aluminium, ka lebaka la ho hanyetsa ha sona hantle khatello ea mocheso le ea mechine.

P5: Na le fana ka lits'ebeletso tsa ho nkela sebaka kapa tsa ho etsa prototyping ka potlako?
A5:E, re tšehetsa tlhahiso ea sampole e potlakileng 'me re fana ka lits'ebeletso tsa ho nkela sebaka ho latela litšoantšo tsa CAD kapa likarolo tse entsoeng ka morao ho tsoa lisebelisoa tse seng li ntse li le teng.

Mabapi le rona

XKH e ikhethile ka nts'etsopele ea theknoloji e phahameng, tlhahiso le thekiso ea khalase e khethehileng ea mahlo le thepa e ncha ea kristale. Lihlahisoa tsa rona li sebeletsa lisebelisoa tsa elektroniki tsa mahlo, lisebelisoa tsa elektroniki tsa bareki le sesole. Re fana ka likarolo tsa mahlo tsa Sapphire, likoahelo tsa lense ea mohala oa thekeng, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, le li-wafer tsa kristale tsa semiconductor. Ka boiphihlelo bo nang le boiphihlelo le lisebelisoa tsa sejoale-joale, re ipabola ts'ebetsong ea lihlahisoa tse seng tsa maemo a holimo, re ikemiselitse ho ba khoebo e etellang pele ea theknoloji e phahameng ea lisebelisoa tsa optoelectronic.