Sebōpi sa kholo ea kristale sa SiC SiC Ingot se holang 4inch 6inch 8inch PTV Mokhoa oa kholo oa Lely TSSG LPE

Sebōpi sa kholo ea kristale sa SiC SiC Ingot se holang 4inch 6inch 8inch PTV Lely TSSG Mokhoa oa kholo ea LPE Setšoantšo se Hlahisitsoeng

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Kgolo ya kristale ya silicon carbide (SiC) ke kgato ya bohlokwa ho lokiseng thepa ya semiconductor e sebetsang hantle. Ka lebaka la ntlha e phahameng ya ho qhibiliha ha SiC (hoo e ka bang 2700°C) le sebopeho se rarahaneng sa polytypic (mohlala, 4H-SiC, 6H-SiC), theknoloji ya kgolo ya kristale e na le bothata bo boholo. Hona jwale, mekgwa e meholo ya kgolo e kenyeletsa mokgwa wa phetisetso ya mouoane wa mmele (PTV), mokgwa wa Lely, mokgwa wa kgolo ya tharollo ya peo e ka hodimo (TSSG) le mokgwa wa epitaxy wa mokgahlelo wa metsi (LPE). Mokgwa o mong le o mong o na le melemo le mathata a wona mme o loketse ditlhoko tse fapaneng tsa tshebediso.

Romella imeile ho rona

Likaroloana

Mekhoa e meholo ea kholo ea kristale le litšobotsi tsa eona

(1) Mokhoa oa ho Fetisetsa Mouoane oa 'Mele (PTV)
Molao-motheo: Maemong a phahameng a mocheso, thepa e tala ea SiC e fetoha karolo ea khase, eo hamorao e bōpelloang hape holim'a kristale ea peo.
Likarolo tse ka sehloohong:
Mocheso o phahameng oa kholo (2000-2500°C).
Likristale tsa boleng bo holimo, tse kholo tsa 4H-SiC le 6H-SiC li ka lengoa.
Sekgahla sa kgolo se lieha, empa boleng ba kristale bo hodimo.
Tšebeliso: E sebelisoa haholo-holo ho semiconductor ea matla, lisebelisoa tsa RF le masimo a mang a maemo a holimo.

(2) Mokhoa oa Lely
Molao-motheo: Likristale li lengoa ka ho etsa sublimation e sa reroang le ho sebelisoa hape ha phofo ea SiC mochesong o phahameng.
Likarolo tse ka sehloohong:
Mokhoa oa ho hola ha o hloke peo, 'me boholo ba kristale bo bonyenyane.
Boleng ba kristale bo hodimo, empa bokgoni ba kgolo bo tlase.
E loketse lipatlisiso tsa laboratori le tlhahiso e nyane ea lihlahisoa.
Tšebeliso: E sebelisoa haholo-holo lipatlisisong tsa saense le ho lokisoeng ha likristale tse nyane tsa SiC.

(3) Mokhoa oa ho holisa tharollo ea Peo e ka Holimo (TSSG)
Molao-motheo: Tharollong ea mocheso o phahameng, thepa e tala ea SiC ea qhibiliha 'me ea kristale holim'a kristale ea peo.
Likarolo tse ka sehloohong:
Mocheso oa kholo o tlase (1500-1800°C).
Likristale tsa SiC tsa boleng bo holimo, tse nang le sekoli se tlase li ka lengoa.
Sekgahla sa kgolo se lieha, empa ho tshwana ha kristale ho hotle.
Tšebeliso: E loketse ho lokisoa ha likristale tsa SiC tsa boleng bo holimo, joalo ka lisebelisoa tsa optoelectronic.

(4) Epitaxy ea Mokhahlelo oa Metsi (LPE)
Molao-motheo: Tharollong ea tšepe e metsi, kholo ea epitaxial ea thepa e tala ea SiC holim'a substrate.
Likarolo tse ka sehloohong:
Mocheso oa kholo o tlase (1000-1500°C).
Sekhahla sa kgolo e potlakileng, se loketse kgolo ya filimi.
Boleng ba kristale bo hodimo, empa botenya bo lekanyeditswe.
Tšebeliso: E sebelisoa haholo-holo bakeng sa kholo ea epitaxial ea lifilimi tsa SiC, joalo ka li-sensor le lisebelisoa tsa optoelectronic.

Mekhoa e ka sehloohong ea ts'ebeliso ea sebōpi sa kristale sa silicon carbide

Sebōpi sa kristale sa SiC ke sesebelisoa sa mantlha sa ho lokisa likristale tsa sic, 'me litsela tsa eona tsa mantlha tsa ts'ebeliso li kenyelletsa:
Tlhahiso ea lisebelisoa tsa semiconductor ea motlakase: E sebelisetsoa ho holisa likristale tsa boleng bo holimo tsa 4H-SiC le 6H-SiC e le thepa ea substrate bakeng sa lisebelisoa tsa motlakase (tse kang li-MOSFET, li-diode).
Lisebelisoa: likoloi tsa motlakase, li-inverter tsa photovoltaic, lisebelisoa tsa motlakase tsa indasteri, jj.

Tlhahiso ea lisebelisoa tsa Rf: E sebelisetsoa ho holisa likristale tsa SiC tse nang le sekoli se tlase e le li-substrate bakeng sa lisebelisoa tsa RF ho fihlela litlhoko tsa maqhubu a phahameng a puisano ea 5G, radar le puisano ea sathelaete.

Tlhahiso ea lisebelisoa tsa optoelectronic: E sebelisetsoa ho holisa likristale tsa SiC tsa boleng bo holimo e le thepa ea substrate bakeng sa li-LED, li-ultraviolet detector le lasers.

Lipatlisiso tsa saense le tlhahiso ea lihlopha tse nyane: bakeng sa lipatlisiso tsa laboratori le nts'etsopele ea thepa e ncha ho tšehetsa boqapi le ntlafatso ea theknoloji ea kholo ea kristale ea SiC.

Tlhahiso ea lisebelisoa tsa mocheso o phahameng: E sebelisetsoa ho holisa likristale tsa SiC tse hanyetsanang le mocheso o phahameng e le thepa ea motheo bakeng sa li-sensor tsa lifofane le mocheso o phahameng.

Lisebelisoa tsa setofo sa SiC le lits'ebeletso tse fanoang ke k'hamphani

XKH e shebane le nts'etsopele le tlhahiso ea lisebelisoa tsa sebōpi sa kristale sa SIC, e fana ka lits'ebeletso tse latelang:

Lisebelisoa tse ikhethileng: XKH e fana ka lifono tsa kholo tse ikhethileng ka mekhoa e fapaneng ea kholo joalo ka PTV le TSSG ho latela litlhoko tsa bareki.

Tšehetso ea tekheniki: XKH e fa bareki tšehetso ea tekheniki bakeng sa ts'ebetso eohle ho tloha ntlafatsong ea ts'ebetso ea kholo ea kristale ho isa tlhokomelong ea lisebelisoa.

Litšebeletso tsa Koetliso: XKH e fana ka koetliso ea ts'ebetso le tataiso ea tekheniki ho bareki ho netefatsa ts'ebetso e sebetsang hantle ea lisebelisoa.

Tšebeletso ea kamora thekiso: XKH e fana ka tšebeletso ea karabelo e potlakileng kamora thekiso le ntlafatso ea lisebelisoa ho netefatsa tsoelo-pele ea tlhahiso ea bareki.

Theknoloji ea kholo ea kristale ea silicon carbide (e kang PTV, Lely, TSSG, LPE) e na le lits'ebetso tsa bohlokoa lefapheng la lisebelisoa tsa elektroniki tsa motlakase, lisebelisoa tsa RF le lisebelisoa tsa optoelectronics. XKH e fana ka lisebelisoa tse tsoetseng pele tsa sebōpi sa SiC le mefuta e fapaneng ea lits'ebeletso ho tšehetsa bareki tlhahisong e kholo ea likristale tsa SiC tsa boleng bo holimo le ho thusa nts'etsopele ea indasteri ea semiconductor.