Sefuba sa Sebōpi sa Silicon Carbide (SiC) se Otlolohileng

Setšoantšo se Hlahisitsoeng sa Tube ea Sebōpi sa Silicon Carbide (SiC) e Holimo

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Tube ea Sefuru e Horizontal ea Silicon Carbide (SiC) e sebetsa e le kamore e ka sehloohong ea ts'ebetso le moeli oa khatello bakeng sa likarabelo tsa mocheso o phahameng oa khase le kalafo ea mocheso e sebelisoang tlhahisong ea semiconductor, tlhahiso ea photovoltaic, le ts'ebetso e tsoetseng pele ea thepa.

Romella imeile ho rona

Likaroloana

Setšoantšo se qaqileng

Boemo ba Sehlahisoa le Tlhahiso ea Boleng

E entsoe ka sebopeho sa SiC se entsoeng ka karolo e le 'ngoe, se kopantsoeng le lera le teteaneng la tšireletso la CVD-SiC, tube ena e fana ka phallo e ikhethang ea mocheso, tšilafalo e fokolang, botšepehi bo matla ba mechini, le khanyetso e ikhethang ea lik'hemik'hale.
Moralo oa eona o netefatsa ho tšoana ha mocheso ho phahameng, linako tse telele tsa ts'ebeletso, le ts'ebetso e tsitsitseng ea nako e telele.

Melemo ea Bohlokoa

E eketsa botsitso ba mocheso oa sistimi, bohloeki, le katleho ea lisebelisoa ka kakaretso (OEE).
E fokotsa nako ea ho se sebetse bakeng sa ho hloekisa 'me e lelefatsa linako tsa ho nkela sebaka, e fokotsa litšenyehelo tsohle tsa beng ba thepa (TCO).
E fana ka kamore e phelang nako e telele e khonang ho sebetsana le lik'hemik'hale tse nang le oxidative le chlorine e ngata mochesong o phahameng ka kotsi e fokolang.

Fensetere ea Lipakapaka le Ts'ebetso e Sebetsang

Likhase tse arabelang: oksijene (O₂) le metsoako e meng e eketsang okside
Likhase tse tsamaisang thepa/tse sireletsang: naetrojene (N₂) le likhase tse se nang metsi tse hloekileng haholo
Mefuta e lumellanang: likhase tse nang le chlorine tse salang morao (recipe ea ho khomarela le ho lula nako e laoloa)

Mekhoa e Tloaelehileng: oxidation e omileng/e metsi, ho annealing, ho hasana, ho beoa ha LPCVD/CVD, ho kenngwa tshebetsong ha bokaholimo, ho passivation ya photovoltaic, kgolo ya filimi e tshesane e sebetsang, carbonization, nitridation, le tse ding.

Maemo a Ts'ebetso

Mocheso: mocheso oa kamore ho fihlela ho 1250 °C (lumella moeli oa polokeho oa 10–15% ho latela moralo oa hitara le ΔT)
Khatello: ho tloha maemong a vacuum a khatello e tlase/LPCVD ho isa khatellong e ntle e haufi le sepakapaka (tlhaloso ea ho qetela ka odara ea theko)

Lisebelisoa le Logic ea Sebopeho

'Mele oa Monolithic SiC (O Entsoe ka Tlatsetso)

β-SiC e nang le sekgahla se phahameng kapa SiC e nang le mekhahlelo e mengata, e hahiloeng e le karolo e le 'ngoe—ha ho na manonyeletso a nang le tšepe kapa li-seam tse ka lutlang kapa tsa baka lintlha tsa khatello.
Ho tsamaisa mocheso ka potlako ho nolofalletsa karabelo e potlakileng ea mocheso le ho tšoana hantle ha mocheso oa axial/radial.
Coefficient e tlase, e tsitsitseng ea katoloso ea mocheso (CTE) e netefatsa botsitso ba litekanyo le litiiso tse tšepahalang mochesong o phahameng.

Seaparo se Sebetsang sa CVD SiC

Litšila tse kentsweng sebakeng seo, tse hloekileng haholo (litšila tsa bokaholimo/ho roala < 5 ppm) ho thibela tlhahiso ea likaroloana le ho lokolloa ha li-ion tsa tšepe.
Ho se sebetse hantle ha lik'hemik'hale khahlanong le likhase tse nang le oxidizing le chlorine, ho thibela tlhaselo ea lebota kapa ho khutlisetsoa ha tsona sebakeng se le seng.
Dikgetho tsa botenya bo ikgethileng ba sebaka ho leka-lekanya ho hanyetsa mafome le karabelo ya mocheso.

Melemo e Kopantsoeng: 'Mele o matla oa SiC o fana ka matla a sebopeho le ho tsamaisa mocheso, ha lera la CVD le tiisa bohloeki le ho hanyetsa mafome bakeng sa ts'epo e phahameng le tlhahiso e phahameng.

Lipakane tsa Bohlokoa tsa Tshebetso

Mocheso oa tšebeliso o tsoelang pele:≤ 1250 °C
Litšila tsa substrate tse ngata:< 300 ppm
Litšila tsa bokaholimo ba CVD-SiC:< 5 ppm
Mamello ea litekanyo: OD ± 0.3–0.5 mm; coaxiality ≤ 0.3 mm/m (e fumaneha ka thata)
Ho teteana ha lebota le ka hare: Ra ≤ 0.8–1.6 µm (qetello e bentšitsoeng kapa e haufi le seipone ke khetho)
Sekhahla sa ho dutla ha helium: ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s
Ho mamella ho thothomela ha mocheso: e pholoha ho potoloha ho chesang/ho batang khafetsa ntle le ho petsoha kapa ho phatloha
Kopano ea kamore ea ho hlwekisa: Sehlopha sa ISO sa 5–6 se nang le maemo a netefalitsoeng a masala a likaroloana/tšepe-ion

Litlhophiso le Likhetho

Jeometri: OD 50–400 mm (e kholoanyane ho latela tlhahlobo) ka kaho e telele ea karolo e le 'ngoe; botenya ba lebota bo ntlafalitsoe bakeng sa matla a mechini, boima le phallo ea mocheso.
Meralo ea ho qetela: di-flange, molomo wa bell-mouth, bayonet, masale a ho fumana, di-groove tsa O-ring, le di-port tsa ho ntsha pompo kapa kgatello tse ikgethileng.
Likou tse sebetsang: li-feedthrough tsa thermocouple, litulo tsa khalase tse bonahalang, li-inlet tsa khase tse fetang ka tsela e itseng—tsohle li entsoe bakeng sa ts'ebetso e matla ea mocheso o phahameng, e sa lutleng.
Merero ea ho koahela: lebota le ka hare (ka ho feletseng), lebota le ka ntle, kapa sekoahelo se felletseng; tšireletso e reretsoeng kapa botenya bo hlophisitsoeng bakeng sa libaka tse nang le tšusumetso e kholo.
Kalafo le bohloeki ba bokaholimo: dikereiti tse ngata tsa ho se be bonolo, ho hlwekisa ka ultrasonic/DI, le diprothokholo tsa ho baka/ho omisa tse ikgethileng.
Lisebelisoa: di-flange tsa graphite/ceramic/tšepe, ditiiso, disebediswa tsa ho fumana sebaka, matsoho a ho tshwara, le di-cradle tsa polokelo.

Papiso ea Tshebetso

Metric	Tube ea SiC	Phaephe ea Quartz	Tube ea Alumina	Tube ea Graphite
Ho khanna ha mocheso	E phahameng, e tšoana	Tlase	Tlase	Holimo
Matla/ho thekesela ha mocheso o phahameng	E babatsehang	Toka	Ho lokile	E ntle (e arabela ho oxidation)
Tšabo ea mocheso	E babatsehang	Bofokoli	E itekanetseng	E babatsehang
Bohloeki / li-ion tsa tšepe	E ntle haholo (e tlase)	E itekanetseng	E itekanetseng	Mafutsana
Ho ntša oksijene le k'hemistri ea Cl	E babatsehang	Toka	Ho lokile	E fokola (e oxidizes)
Bophelo ba litšenyehelo khahlanong le tšebeletso	Bophelo bo mahareng / bo bolelele	Tlase / e kgutshwane	Mahareng / mahareng	Tikoloho e lekanyelitsoeng e mahareng / e mahareng

Lipotso Tse Botsoang Khafetsa (Lipotso Tse Botsoang Khafetsa)

P1. Ke hobane'ng ha u khetha 'mele oa SiC o hatisitsoeng ka 3D?
A. E felisa li-seam le li-braze tse ka lutlang kapa tsa tsepamisa khatello ea maikutlo, 'me e tšehetsa li-geometri tse rarahaneng ka ho nepahala ho tsitsitseng ha litekanyo.

P2. Na SiC e hanela likhase tse nang le chlorine?
K. E. CVD-SiC ha e na matla haholo ka har'a meeli e boletsoeng ea mocheso le khatello. Bakeng sa libaka tse nang le tšusumetso e kholo, ho khothaletsoa ho roala ka thata le litsamaiso tse matla tsa ho hloekisa/ho ntša mosi.

P3. E sebetsa hantle ho feta lipeipi tsa quartz joang?
A. SiC e fana ka bophelo bo bolelele ba ts'ebeletso, ho tšoana ha mocheso ho betere, tšilafalo e tlase ea likaroloana/tšepe-ion, le TCO e ntlafetseng—haholo-holo kaholimo ho ~900 °C kapa sepakapakeng se nang le oxidizing/chlorine.

P4. Na tube e ka sebetsana le ho potlaka ha mocheso?
K. E, ha feela ho latelwa melao e phahameng ka ho fetisisa ya ΔT le sekgahla sa ramp. Ho kopanya mmele wa SiC e phahameng ka κ le lera le lesesaane la CVD ho tshehetsa diphetoho tse potlakileng tsa mocheso.

P5. Ho hlokahala neng ho nkela sebaka?
A. Kenya phaephe sebakeng sa yona haeba o lemoha mapetso a flange kapa a moeding, dikoti tse kwahelang kapa ho phatloha ha metsi, sekgahla se ntseng se eketseha sa ho dutla ha metsi, ho phahama ha mocheso o moholo, kapa tlhahiso e sa tlwaelehang ya dikarolwana.

Mabapi le rona

XKH e ikhethile ka nts'etsopele ea theknoloji e phahameng, tlhahiso le thekiso ea khalase e khethehileng ea mahlo le thepa e ncha ea kristale. Lihlahisoa tsa rona li sebeletsa lisebelisoa tsa elektroniki tsa mahlo, lisebelisoa tsa elektroniki tsa bareki le sesole. Re fana ka likarolo tsa mahlo tsa Sapphire, likoahelo tsa lense ea mohala oa thekeng, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, le li-wafer tsa kristale tsa semiconductor. Ka boiphihlelo bo nang le boiphihlelo le lisebelisoa tsa sejoale-joale, re ipabola ts'ebetsong ea lihlahisoa tse seng tsa maemo a holimo, re ikemiselitse ho ba khoebo e etellang pele ea theknoloji e phahameng ea lisebelisoa tsa optoelectronic.