Li-substrate tsa khalase tsa TGV 12inch wafer Ho phunya ka khalase

Di-substrate tsa khalase di sebetsa hantle ha ho tluwa tabeng ya thepa ya mocheso, botsitso ba mmele, mme di hanela mocheso haholoanyane mme ha di na mathata a ho sotha kapa ho fetoha ha sebopeho ka lebaka la dithempereichara tse phahameng;

Ho phaella moo, thepa e ikhethang ea motlakase ea mantlha ea khalase e lumella tahlehelo e tlase ea dielectric, e lumellang phetiso e hlakileng ea lets'oao le matla. Ka lebaka leo, tahlehelo ea matla nakong ea phetiso ea lets'oao e ea fokotseha 'me katleho eohle ea chip e ea eketseha ka tlhaho. Botenya ba substrate ea mantlha ea khalase bo ka fokotseha ka halofo ha bo bapisoa le polasetiki ea ABF, 'me ho tšesaane ho ntlafatsa lebelo la phetiso ea lets'oao le katleho ea matla.

Theknoloji ea ho theha masoba ea TGV:

Mokhoa oa ho hlaba o susumetsoang ke laser o sebelisoa ho susumetsa sebaka se tswelang pele sa ho lahla matla ka laser e pulsed, ebe khalase e phekotsoeng ka laser e kenngoa ka har'a tharollo ea hydrofluoric acid bakeng sa ho hlaba. Sekhahla sa ho hlaba ha khalase ea sebaka sa ho lahla matla ka har'a hydrofluoric acid se potlakile ho feta sa khalase e sa lahlang matla ho theha masoba.

Tlatsetso ea TGV:

Taba ea pele, ho etsoa masoba a mahlo a TGV. Ea bobeli, lera la peo le ile la kenngoa ka har'a lesoba la mahlo a TGV ka ho kenngoa ha mouoane oa 'mele (PVD). Ea boraro, ho kenngoa ha motlakase ho tloha tlase ho ea holimo ho finyella ho tlatsoa ha TGV ka mokhoa o se nang sekoli; Qetellong, ka ho tlamahana ha nakoana, ho sila ka morao, ho pepesehela koporo ka lik'hemik'hale (CMP), ho khaoloa ha boikopanyo, ho etsa poleiti ea phetisetso e tletseng tšepe ea TGV.