TGV Glass e kopanya 12inch wafer Ho otla ha Glass
Li-substrates tsa khalase li sebetsa hantle ho latela thepa ea mocheso, botsitso ba 'mele,' me ha li khone ho mamella mocheso le ho se khone ho ba le mathata a ho loana kapa a ho senyeha ka lebaka la mocheso o phahameng;
Ho phaella moo, lisebelisoa tse ikhethang tsa motlakase tsa mokokotlo oa khalase li lumella tahlehelo e tlaase ea dielectric, e lumellang pontšo e hlakileng le phetisetso ea matla. Ka lebaka leo, tahlehelo ea matla nakong ea phetisetso ea lets'oao e fokotsehile mme katleho ea kakaretso ea chip e matlafatsoa ka tlhaho. Botenya ba khalase ea mantlha ea substrate bo ka fokotsoa ka halofo ha e bapisoa le polasetiki ea ABF, 'me ho tšesaane ho ntlafatsa lebelo la phetisetso ea mats'oao le ts'ebetso ea matla.
Theknoloji ea ho etsa mekoti ea TGV:
Mokhoa oa etching oa laser o sebelisoa ho kenyelletsa sebaka se tsoelang pele sa denaturation ka laser pulsed, ebe khalase e hloekisitsoeng ea laser e kenngoa ka har'a tharollo ea hydrofluoric acid bakeng sa etching. Sekhahla sa khalase ea denaturation ka har'a hydrofluoric acid se potlakile ho feta sa khalase e sa tsoakoang ho hlaha ka masoba.
Tlatsa TGV:
Ntlha ea pele, likoti tse foufetseng tsa TGV li etsoa. Ea bobeli, lera la peo le ile la kenngoa ka har'a lesoba le foufetseng la TGV ka ho kenngoa ha mouoane oa 'mele (PVD). Ntlha ea boraro, electroplating e ka tlaase-holimo e finyella ho tlatsoa ha TGV ka mokhoa o se nang moeli; Qetellong, ka ho tlamahanngoa ha nakoana, ho sila ka morao, ho pepeseha ha koporo ka lik'hemik'hale (CMP), ho se kopane, ho etsa poleiti ea phetisetso e tletseng tšepe ea TGV.