Wafer ea Silicon e koahetsoeng ka tšepe ea Ti/Cu (Titanium/Copper)

Setšoantšo se Hlahisitsoeng sa Ti/Cu sa Silicon Wafer e Koahetsoeng ka Tšepe (Titanium/Copper)

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Ea ronaLi-wafer tsa silicon tse koahetsoeng ka tšepe tsa Ti/Cue na le substrate ea boleng bo holimo ea silicon (kapa khalase/quartz e khethiloeng) e koahetsoeng kalera la ho khomarela la thaethaniamolelera la koporo le tsamaisang motlakaseho sebelisaho phunya ha magnetron ho tloaelehileng. Lera la Ti le ntlafatsa ho khomarela le botsitso ba ts'ebetso haholo, ha lera la Cu le ka holimo le fana ka bokaholimo bo sa hanyetseng haholo, bo lekanang hantle bakeng sa ho hokahanya motlakase le ho etsa thepa e nyane e theohelang tlase.

Romella imeile ho rona

Likaroloana

Setšoantšo se qaqileng

Wafer ea Silicon e koahetsoeng ka tšepe ea Ti/Cu (Titanium/Copper)6

Kakaretso

E etselitsoe lits'ebetso tsa lipatlisiso le tsa teko, li-wafer tsena li fumaneha ka boholo bo fapaneng le mefuta e fapaneng ea ho hanyetsa, ka mokhoa o feto-fetohang oa ho iketsetsa botenya, mofuta oa substrate le tlhophiso ea ho koahela.

Likarolo tsa Bohlokoa

Ho khomarela le ho tšepahala ho matla: Lera la ho kopanya la Ti le ntlafatsa ho khomarela filimi ho Si/SiO₂ le ho ntlafatsa ho tiea ha ho sebetsana le eona
Bokaholimo bo phahameng ba conductivity: Sekoahelo sa Cu se fana ka ts'ebetso e ntle ea motlakase bakeng sa likhokahano le meaho ea liteko
Mefuta e mengata ea ho iketsetsa lintho: boholo ba wafer, resistivity, stendi, botenya ba substrate, le botenya ba filimi lia fumaneha ha li kopuoa
Li-substrate tse itokiselitseng ts'ebetso: e tsamaisana le mesebetsi e tloaelehileng ea laboratori le ea fab (lithography, electroplating build-up, metrology, jj.)
Letoto la thepa lea fumaneha: ntle le Ti/Cu, re boetse re fana ka li-wafer tse koahetsoeng ka tšepe tsa Au, Pt, Al, Ni, Ag

Sebopeho le Sebaka se Tloaelehileng

Seteishene: Substrate + Ti khomaretso lera + Cu lera la ho roala
Tshebetso e tloaelehileng: Ho ntsha metsi ka mahlaahlela a Magnetron
Mekhoa ea boikhethelo: Mouoane oa mocheso / Electroplating (bakeng sa litlhoko tsa Cu tse teteaneng)

Matlotlo a Mekaniki a Khalase ea Quartz

Ntho	Dikgetho
Boholo ba wafer	2", 4", 6", 8"; 10×10 mm; boholo ba ho seha bo ikgethileng
Mofuta oa ho khanna	Mofuta oa P / Mofuta oa N / Ho hanyetsa ka hare ho matla (Un)
Boikutlo	<100>, <111>, jj.
Ho hanyetsa	<0.0015 Ω·cm; 1–10 Ω·cm; >1000–10000 Ω·cm
Botenya (µm)	2": 200/280/400/500; 4": 450/500/525; 6": 625/650/675; 8": 650/700/725/775; e ikgethileng
Lisebelisoa tsa substrate	Silicon; quartz e ikgethileng, khalase ea BF33, jj.
Botenya ba filimi	10 nm / 50 nm / 100 nm / 150 nm / 300 nm / 500 nm / 1 µm (e ka fetoloang)
Likhetho tsa filimi ea tšepe	Ti/Cu; hape Au, Pt, Al, Ni, Ag e fumaneha

Wafer ea Silicon e koahetsoeng ka tšepe ea Ti/Cu (Titanium/Copper)4

Likopo

Li-substrate tsa ho ikopanya le tsa ohmic le tse tsamaisang motlakasebakeng sa R&D ea sesebelisoa le liteko tsa motlakase
Mealo ea peo bakeng sa ho betla ka motlakase(RDL, meaho ea MEMS, ho hahuoa ha Cu e teteaneng)
Sol-gel le substrates tsa kgolo ya dintho tse phelangbakeng sa lipatlisiso tsa nano le filimi e tšesaane
Microscopy le metrology ea bokaholimo(Tokiso le tekanyo ea sampole ea SEM/AFM/SPM)
Libaka tsa bio/lik'hemik'haletse kang liforomo tsa temo ea sele, li-microarray tsa protheine/DNA, le li-substrate tsa reflectometry

FAQ (Ti/Cu Metal-Coated Silicon Wafers)

P1: Ke hobane'ng ha lera la Ti le sebelisoa tlas'a sekoahelo sa Cu?
A: Titanium e sebetsa e le sesebelisoa sa holera la ho khomarela (tlama), ho ntlafatsa ho hokela ha koporo ho substrate le ho ntlafatsa botsitso ba sebopeho, e leng se thusang ho fokotsa ho peellwa kapa ho qhaqhoa ha lera nakong ea ho sebetsana le ho sebetsa.

P2: Sebopeho se tloaelehileng sa botenya ba Ti/Cu ke sefe?
A: Metswako e tloaelehileng e kenyelletsaTi: mashome a nm (mohlala, 10–50 nm)leKh'amera: 50–300 nmbakeng sa lifilimi tse nang le matheba. Mealo e teteaneng ea Cu (boemo ba µm) hangata e finyelloa kaho penta ka motlakase holim'a lera la peo ea Cu e nang le matheba, ho latela kopo ea hau.

P3: Na o ka penta mahlakore ka bobedi a wafer?
K: E.Seaparo sa lehlakore le le leng kapa sa lehlakore le le lenge fumaneha ha o e kopa. Ka kopo hlalosa tlhoko ea hau ha o odara.

Mabapi le rona

XKH e ikhethile ka nts'etsopele ea theknoloji e phahameng, tlhahiso le thekiso ea khalase e khethehileng ea mahlo le thepa e ncha ea kristale. Lihlahisoa tsa rona li sebeletsa lisebelisoa tsa elektroniki tsa mahlo, lisebelisoa tsa elektroniki tsa bareki le sesole. Re fana ka likarolo tsa mahlo tsa Sapphire, likoahelo tsa lense ea mohala oa thekeng, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, le li-wafer tsa kristale tsa semiconductor. Ka boiphihlelo bo nang le boiphihlelo le lisebelisoa tsa sejoale-joale, re ipabola ts'ebetsong ea lihlahisoa tse seng tsa maemo a holimo, re ikemiselitse ho ba khoebo e etellang pele ea theknoloji e phahameng ea lisebelisoa tsa optoelectronic.