Alumina Ceramic End Effector e Phethahetseng ka Tshebetso e Phahameng (Fork Arm) bakeng sa Semiconductor le Cleanroom Automation

Alumina Ceramic End Effector e Sebetsang ka Botlalo (Fork Arm) bakeng sa Semiconductor le Cleanroom Automation Setšoantšo se Hlahisitsoeng

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Alumina Ceramic End Effector, eo hape e tsejoang e le letsoho la fereko ea ceramic kapa letsoho la ceramic la robotic, ke karolo ea ho sebetsana ka nepo e phahameng e etselitsoeng litsamaiso tse iketsang libakeng tsa laboratori tsa semiconductor, photovoltaic, ponts'o ea phanele, le tikoloho ea laboratori e hloekileng haholo. E entsoe ho fana ka botsitso bo ikhethang ba mocheso, ho tiea ha mechini, le ho hanyetsa lik'hemik'hale, e fanang ka lipalangoang tse hloekileng, tse tšepahalang le tse sireletsehileng tsa thepa e bonolo joalo ka li-wafer tsa silicon, li-substrate tsa khalase, le likaroloana tse nyane tsa elektroniki.

Romella imeile ho rona

Likaroloana

Setšoantšo se qaqileng

Selelekela sa Sehlahisoa

Jwalo ka mofuta wa roboto end effector, karolo ena ya ceramic ke sehokelo sa ho qetela pakeng tsa sistimi ya othomathike le sesebediswa sa mosebetsi. E bapala karolo ya bohlokwa phetisong e nepahetseng, ho hokahanya, ho kenya/ho jarolla, le mesebetsi ya ho beha diphaposing tse hlwekileng le dibakeng tse se nang letho.

letsoho-la-ceramic-bakeng sa-wafer-drive-of-semiconductors-G13

letsoho-la-ceramic-bakeng sa-wafer-drive-of-semiconductors-G10

letsoho-la-ceramic-bakeng sa-wafer-drive-of-semiconductors-G07

Kakaretso ea Lintho - Alumina Ceramic (Al₂O₃)

Alumina ceramic ke thepa ea tekheniki ea ceramic e tsitsitseng haholo le e sa sebetseng ka lik'hemik'hale e tsejoang ka thepa ea eona e ntle ea mechini le motlakase. Alumina e hloekileng haholo (≥ 99.5%) e sebelisoang ho li-effector tsena e netefatsa:

Ho thatafala ho hoholo (Mohs 9): Ea bobeli ka mora daemane, alumina e fana ka khanyetso e feteletseng ea ho tsofala.
Bokhoni ba mocheso o phahameng: E boloka botsitso ba sebopeho ho feta 1600°C.
Ho se sebetse ha lik'hemik'hale: E hanela li-acid, li-alkali, li-solvents le libaka tse hlabang ka plasma.
Ho thibela motlakase: Ka matla a phahameng a dielectric le tahlehelo e tlase ea dielectric.
Katoloso e tlase ea mocheso: E netefatsa botsitso ba boholo ba sebaka sa ho potoloha ha mocheso.
Tlhahiso e tlase ea likaroloana: E bohlokoa bakeng sa ho tsamaisana ha kamore e hlwekileng (Sehlopha sa 10 ho isa ho sa 1000).

Likarolo tsena li etsa hore alumina ceramic e be e loketseng bakeng sa mesebetsi ea bohlokoa liindastering tse amehang ke tšilafalo.

Likopo tse sebetsang

Sesebelisoa sa ho qetela sa alumina ceramic se sebelisoa haholo lits'ebetsong tsa indasteri tsa theknoloji e phahameng, haholo-holo moo thepa ea setso ea tšepe kapa ea polasetiki e haellang ka lebaka la katoloso ea mocheso, tšilafalo, kapa mathata a mafome. Masimo a bohlokoa a ts'ebeliso a kenyelletsa:

Phetisetso ea wafer ea semiconductor
Mekhoa ea ho kenya le ho jarolla ka photolithography
Ho sebetsana le substrate ea khalase ka har'a mela ea OLED le LCD
Phetisetso ea wafer ea silicon e kristale tlhahisong ea lisele tsa letsatsi
Tlhahlobo ea othomathiki ea mahlo kapa ea microelectronic
Sampole ea lipalangoang lilaboratoring tsa tlhahlobo kapa tsa bongaka
Sistimi ea othomathike ea tikoloho ea vacuum

Bokhoni ba eona ba ho sebetsa ntle le ho hlahisa likaroloana kapa tjhaja e sa fetoheng bo etsa hore e be ea bohlokoa bakeng sa ts'ebetso e nepahetseng ea roboto ho iketsahatseng ha kamore ea ho hloekisa.

Likarolo tsa Moralo le ho Itlhophisa

Sesebelisoa se seng le se seng sa ho qetela sa letsopa se entsoe hore se lumellane le sistimi e itseng ea letsoho la roboto kapa ea ho sebetsana le wafer. Re tšehetsa ho iketsetsa ka botlalo ho latela:

Ho lumellana ha boholo ba wafer: 2", 4", 6", 8", 12" le ho feta
Jeometri ea sebaka le sebaka: E amohela ho tshwara ka mathoko, tshehetso ya lehlakore le ka morao, kapa meralo ya wafer e nang le dipekere tse sa kobehang
Likou tsa ho hula: Masoba a kopantsoeng a vacuum kapa likanale bakeng sa ho sebetsana le ho se amane
Tlhophiso ea ho kenya: Masoba, likhoele, likheo tse etselitsoeng ho lekana le flange ea lisebelisoa tsa roboto ea hau
Kalafo ea holim'a metsi: Qetello e bentšitsoeng, e kobehileng, kapa e sitsitsoeng hantle (Ra < 0.2 µm e fumaneha)
Tšireletso ea moeli: Likhutlo tse chitja kapa tse qhibilihisitsoeng ho qoba tšenyo ea wafer

Ka ho sebelisa litšoantšo tsa CAD kapa mehlala ea 3D e fanoeng ke bareki, baenjiniere ba rona ba ka ntlafatsa letsoho le leng le le leng la fereko bakeng sa boima, matla le bohloeki.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Melemo ea Li-Effector tsa Ceramic End

Tšobotsi	Melemo
Ho Tiea ha Mechini e Phahameng	E boloka ho nepahala ha boholo tlas'a matla a ho kenya liroboto
Tshebetso e ntle ea Thermal	E sebetsa ka botšepehi libakeng tse nang le mocheso o phahameng kapa plasma
Tšilafalo ea Tšepe e se Nang Teng	Ha ho kotsi ea tšilafalo ea ion ts'ebetsong ea bohlokoa ea semiconductor
Sebaka se Tlase sa Khohlano	E fokotsa kotsi ea ho ngoatheha holim'a li-wafer kapa li-substrate tsa khalase
E khahlanong le ho se fetohe le e seng ea makenete	Ha e hohele lerōle kapa hona ho ama likarolo tse utloang makenete
Bophelo bo Bolelele ba Tšebeletso	Ho hanyetsa ho tsofala ho phahameng ka ho fetisisa lipotolohong tse pheta-phetoang tsa othomathike tse potlakileng
Ho lumellana ho Hloekileng Haholo	E loketse likamore tsa ho hlwekisa tsa ISO 14644 (Sehlopha sa 100 le ka tlase)

Ha ho bapisoa le matsoho a polasetiki kapa a aluminium, alumina ceramic e fana ka botsitso bo ntlafetseng haholo ba lik'hemik'hale le 'mele ka litlhoko tse fokolang tsa tlhokomelo.

Thepa	Letsoho la Tšepe	Letsoho la polasetiki	Letsoho la Alumina Ceramic
Bothata	E itekanetseng	Tlase	Holimo Haholo (Mohs 9)
Ho Tsitsisa ha Thermal	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Khanyetso ea Lik'hemik'hale	E itekanetseng	Mafutsana	E babatsehang
Ho Loketseha ha Kamore ea ho Hloekisa	Mahareng	Tlase	Holimo Haholo
Ho hanyetsa ho apara	Mahareng	Tlase	E ikhethang
Matla a Dielectric	Tlase	Mahareng	Holimo
Ho nepahala ha Machining ka Mokhoa o Ikhethileng	E lekanyelitsoe	E itekanetseng	E phahameng (± 0.01mm e ka khoneha)

Litlhaloso tsa Tekheniki

Paramethara	Boleng
Thepa	Alumina e hloekileng haholo (≥ 99.5%)
Mocheso o sebetsang	Ho fihlela ho 1600°C
Bokahare bo Bobebe	Ra ≤ 0.2 µm (ha ho hlokahale)
Boholo ba Wafer bo Lumellanang	2" ho isa ho 12" kapa e etselitsoeng uena
Mamello ea Flatness	± 0.01 mm (e itšetlehileng ka ts'ebeliso)
Tšehetso ea ho Suction ea Vacuum	Dikanale tse ikgethang, tse ka fetolwang
Dikgetho tsa ho Phahamisa	Ho phunyeletsa ka bolt-through, flange, masoba a nang le masoba

Lipotso Tse Botsoang Khafetsa (Lipotso Tse Botsoang Khafetsa)

P1: Na sesebelisoa sa ho qetela se ka kopanngoa le litsamaiso tsa roboto tse seng li ntse li le teng?
A1:E. Re tšehetsa ho iketsetsa ho latela sebopeho sa hau sa roboto. U ka re romella setšoantšo sa CAD kapa litekanyo tsa flange bakeng sa ho ikamahanya le maemo ka nepo.

P2: Na matsoho a letsopa a tla robeha habonolo nakong ea tšebeliso?
A2:Leha letsopa le fokola ka tlhaho, meralo ea rona e sebelisa jiometri e ntlafalitsoeng ho fokotsa khatello ea maikutlo. Tlas'a maemo a nepahetseng a ts'ebeliso, li fana ka bophelo bo bolelele haholo ba ts'ebeletso ho feta tšepe kapa polasetiki.

P3: Na hoa khoneha ho sebelisa sena ka har'a likamore tse nang le vacuum e ngata haholo kapa tse nang le plasma?
A3:E. Alumina ceramic ha e ntše peterole, e tsitsitse mochesong, 'me e hanela mafome—e loketse hantle tikoloho e nang le vacuum e ngata, khase e arabelang, kapa plasma.

P4: Dikarolo tsena di hlwekiswa kapa di hlokomelwa jwang?
A4:Li ka hloekisoa ka ho sebelisa metsi a DI, joala, kapa sesepa se lumellanang le kamore e hloekileng. Ha ho hlokahale tlhokomelo e khethehileng ka lebaka la botsitso ba tsona ba lik'hemik'hale le bokaholimo bo sa pheleng.

Mabapi le rona

XKH e ikhethile ka nts'etsopele ea theknoloji e phahameng, tlhahiso le thekiso ea khalase e khethehileng ea mahlo le thepa e ncha ea kristale. Lihlahisoa tsa rona li sebeletsa lisebelisoa tsa elektroniki tsa mahlo, lisebelisoa tsa elektroniki tsa bareki le sesole. Re fana ka likarolo tsa mahlo tsa Sapphire, likoahelo tsa lense ea mohala oa thekeng, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, le li-wafer tsa kristale tsa semiconductor. Ka boiphihlelo bo nang le boiphihlelo le lisebelisoa tsa sejoale-joale, re ipabola ts'ebetsong ea lihlahisoa tse seng tsa maemo a holimo, re ikemiselitse ho ba khoebo e etellang pele ea theknoloji e phahameng ea lisebelisoa tsa optoelectronic.