Li-array tsa InGaAs epitaxial wafer substrate PD Array photodetector li ka sebelisoa bakeng sa LiDAR.

Li-array tsa InGaAs epitaxial wafer substrate PD Array photodetector li ka sebelisoa bakeng sa Setšoantšo se Hlahisitsoeng sa LiDAR

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Filimi ea epitaxial ea InGaAs e bua ka thepa ea filimi e tšesaane ea kristale ea indium gallium arsenic (InGaAs) e entsoeng ka theknoloji ea kholo ea epitaxial holim'a substrate e itseng. Li-substrate tse tloaelehileng tsa InGaAs epitaxial ke indium phosphide (InP) le gallium arsenide (GaAs). Lisebelisoa tsena tsa substrate li na le boleng bo botle ba kristale le botsitso ba mocheso, e leng se ka fanang ka substrate e ntle bakeng sa kholo ea likarolo tsa epitaxial tsa InGaAs.
PD Array (Photodetector Array) ke sehlopha sa di-photodetector tse ngata tse kgonang ho lemoha matshwao a mangata a optical ka nako e le nngwe. Leqephe la epitaxial le hodisitsweng ho tswa ho MOCVD le sebediswa haholoholo diodeng tsa photodetection, lera la ho monya le bopilwe ka U-InGaAs, doping ya morao ke <5E14, mme Zn e hasantsweng e ka tlatswa ke moreki kapa Epihouse. Matlapa a epitaxial a ile a sekasekwa ka ditekanyo tsa PL, XRD le ECV.

Romella imeile ho rona

Likaroloana

Likarolo tsa bohlokoa tsa leqephe la laser la epitaxial la InGaAs li kenyelletsa

1. Ho bapisa lera la lera: Ho bapisa lera la lera hantle ho ka finyelloa pakeng tsa lera la epitaxial la InGaAs le substrate ea InP kapa GaAs, ka hona ho fokotsa bongata ba sekoli ba lera la epitaxial le ho ntlafatsa ts'ebetso ea sesebelisoa.
2. Lekhalo la lebanta le ka fetoloang: Lekhalo la lebanta la thepa ea InGaAs le ka finyelloa ka ho fetola karolo ea likarolo tsa In le Ga, e leng se etsang hore leqephe la epitaxial la InGaAs le be le menyetla e mengata ea ts'ebeliso lisebelisoa tsa optoelectronic.
3. Ho ba le kutloelo-bohloko e phahameng ea khanya: Filimi ea epitaxial ea InGaAs e na le kutloelo-bohloko e phahameng ea khanya, e leng se etsang hore e be tšimong ea ho lemoha khanya ea motlakase, puisano ea optical le melemo e meng e ikhethang.
4. Ho tsitsa ha mocheso o phahameng: Sebopeho sa epitaxial sa InGaAs/InP se na le botsitso bo botle ba mocheso o phahameng, 'me se ka boloka ts'ebetso e tsitsitseng ea sesebelisoa maemong a mocheso o phahameng.

Litšebeliso tse ka sehloohong tsa matlapa a epitaxial a laser a InGaAs li kenyelletsa

1. Disebediswa tsa Optoelectronic: Matlapa a InGaAs epitaxial a ka sebediswa ho etsa di-photodiode, di-photodetector le disebediswa tse ding tsa optoelectronic, tse nang le mefuta e mengata ya ditshebediso puisanong ya optical, ponong ya bosiu le mafapheng a mang.

2. Li-Laser: Maqephe a epitaxial a InGaAs a ka boela a sebelisoa ho etsa li-laser, haholo-holo li-laser tsa bolelele ba maqhubu a malelele, tse bapalang karolo ea bohlokoa puisanong ea faeba ea optical, ts'ebetsong ea indasteri le masimo a mang.

3. Lisele tsa letsatsi: Thepa ea InGaAs e na le sebaka se seholo sa ho lokisa lekhalo la sehlopha, se ka fihlelang litlhoko tsa lekhalo la sehlopha tse hlokoang ke lisele tsa photovoltaic tse futhumatsang, kahoo leqephe la epitaxial la InGaAs le lona le na le bokhoni bo itseng ba ts'ebeliso tšimong ea lisele tsa letsatsi.

4. Litšoantšo tsa bongaka: Lisebelisoang tsa litšoantšo tsa bongaka (tse kang CT, MRI, jj.), bakeng sa ho lemoha le ho etsa litšoantšo.

5. Marangrang a disensor: tlhokomelong ya tikoloho le ho lemoha kgase, diparamitha tse ngata di ka shejwa ka nako e le nngwe.

6. Boiketsetso ba indasteri: bo sebediswa ditsamaisong tsa pono ya mochini ho lekola boemo le boleng ba dintho tse moleng wa tlhahiso.

Nakong e tlang, thepa ea thepa ea substrate ea epitaxial ea InGaAs e tla tsoela pele ho ntlafala, ho kenyeletsoa ntlafatso ea bokhoni ba phetoho ea photoelectric le phokotso ea maemo a lerata. Sena se tla etsa hore substrate ea epitaxial ea InGaAs e sebelisoe haholo lisebelisoa tsa optoelectronic, 'me ts'ebetso e be ntle haholo. Ka nako e ts'oanang, ts'ebetso ea ho lokisa e tla boela e ntlafatsoe khafetsa ho fokotsa litšenyehelo le ho ntlafatsa bokhoni, e le ho fihlela litlhoko tsa 'maraka o moholo.

Ka kakaretso, substrate ea InGaAs epitaxial e na le boemo ba bohlokoa tšimong ea thepa ea semiconductor ka litšobotsi tsa eona tse ikhethang le menyetla e pharaletseng ea ts'ebeliso.

XKH e fana ka mekhoa ea ho iketsetsa maqephe a epitaxial a InGaAs a nang le meaho le botenya bo fapaneng, a akaretsang mefuta e mengata ea lits'ebetso bakeng sa lisebelisoa tsa optoelectronic, lasers le lisele tsa letsatsi. Lihlahisoa tsa XKH li entsoe ka lisebelisoa tse tsoetseng pele tsa MOCVD ho netefatsa ts'ebetso e phahameng le ts'epo. Mabapi le thepa, XKH e na le mefuta e mengata ea likanale tsa mohloli oa machaba, tse ka sebetsanang ka mokhoa o feto-fetohang le palo ea liodara, le ho fana ka lits'ebeletso tse nang le boleng bo eketsehileng joalo ka ntlafatso le karohano. Mekhoa e sebetsang ea ho tlisa e netefatsa ho tlisa ka nako le ho fihlela litlhoko tsa bareki bakeng sa boleng le linako tsa ho tlisa.