Khalase ea Optical ea Silica e kopantsoeng ea JGS1, JGS2, le JGS3

Setšoantšo se Hlahisitsoeng sa Khalase ea Optical ea JGS1, JGS2, le JGS3 e Fused Silica Optical

Tlhaloso e Khutšoanyane:

“Fused Silica” kapa “Fused Quartz” e leng karolo e sa fetoheng ea quartz (SiO2). Ha e bapisoa le khalase ea borosilicate, silica e kopantsoeng ha e na lintho tse ekelitsoeng; ka hona e teng ka sebopeho sa eona se hloekileng, SiO2. Silica e kopantsoeng e na le phetiso e phahameng ho spectrum ea infrared le ultraviolet ha e bapisoa le khalase e tloaelehileng. Silica e kopantsoeng e hlahisoa ka ho qhibilihisa le ho tiisa hape SiO2 e hloekileng haholo. Ka lehlakoreng le leng, silica e kopantsoeng ea maiketsetso e entsoe ka lik'hemik'hale tse ruileng ka silicon tse kang SiCl4 tse nang le khase ebe li oxidized sepakapakeng sa H2 + O2. Lerōle la SiO2 le entsoeng tabeng ena le kopanngoa le silica holim'a substrate. Li-block tsa silica tse kopantsoeng li khaoloa ka li-wafer ebe li-wafer lia bentšoa qetellong.

Romella imeile ho rona

Likaroloana

Setšoantšo se qaqileng

Kakaretso ea JGS1, JGS2, le JGS3 Fused Silica

JGS1, JGS2, le JGS3 ke mefuta e meraro ea silica e kopantsoeng ka nepo, e 'ngoe le e 'ngoe e etselitsoe libaka tse itseng tsa spectrum ea optical. E hlahisitsoe ka silica e hloekileng haholo ka mekhoa e tsoetseng pele ea ho qhibiliha, thepa ena e bontša ho hlaka ho ikhethang ha optical, katoloso e tlase ea mocheso, le botsitso bo ikhethang ba lik'hemik'hale.

JGS1– Silica e kopantsoeng ea sehlopha sa UV e ntlafalitsoe bakeng sa phetiso e tebileng ea ultraviolet.
JGS2– Silica e kopantsoeng ea boemo ba optical bakeng sa lits'ebetso tse bonahalang ho tse haufi le infrared.
JGS3– Silica e kopantsoeng ea sehlopha sa IR e nang le ts'ebetso e ntlafalitsoeng ea infrared.

Ka ho khetha sehlopha se nepahetseng, baenjiniere ba ka finyella phetiso e ntle ka ho fetisisa, ho tšoarella le botsitso bakeng sa litsamaiso tse hlokang tlhokomelo ea mahlo.

Sehlopha sa JGS1, JGS2, le JGS3

JGS1 Fused Silica – Sehlopha sa UV

Sebaka sa Phetisetso:185–2500 nm
Matla a ka Sehloohong:Ponaletso e phahameng haholo maqhubung a tebileng a UV.

Silica e kopantsoeng ea JGS1 e hlahisoa ka silica ea maiketsetso e hloekileng haholo e nang le maemo a litšila a laoloang ka hloko. E fana ka ts'ebetso e ikhethang lits'ebetsong tsa UV, e fana ka phetisetso e phahameng ka tlase ho 250 nm, autofluorescence e tlase haholo, le khanyetso e matla khahlanong le letsatsi.

Lintlha-khōlō tsa Tshebetso tsa JGS1:

Phetiso >90% ho tloha ho 200 nm ho ea sebakeng se bonahalang.
Dikahare tse tlase tsa hydroxyl (OH) ho fokotsa ho monngoa ha UV.
Moeli o phahameng oa tšenyo ea laser o loketse li-laser tsa excimer.
Phatsimo e fokolang bakeng sa tekanyo e nepahetseng ea UV.

Likopo tse Tloaelehileng:

Li-optics tsa projection tsa photolithography.
Lifensetere le lilense tsa laser tsa Excimer (193 nm, 248 nm).
Li-spectrometer tsa UV le lisebelisoa tsa saense.
Metrology e nepahetseng haholo bakeng sa tlhahlobo ea UV.

JGS2 Fused Silica – Kereiti ea Optical

Sebaka sa Phetisetso:220–3500 nm
Matla a ka Sehloohong:Tshebetso e leka-lekaneng ya optical ho tloha ho bonahalang ho isa ho haufi le infrared.

JGS2 e etselitsoe litsamaiso tsa optical tse sebelisoang ka kakaretso moo leseli le bonahalang le ts'ebetso ea NIR e leng tsa bohlokoa. Leha e fana ka phetiso e itekanetseng ea UV, boleng ba eona ba mantlha bo ho lekana ha eona ha optical, ho sotha ha maqhubu a tlase, le ho hanyetsa mocheso hantle.

Lintlha-khōlō tsa Tshebetso ea JGS2:

Phetiso e phahameng ho pholletsa le sekgahla sa VIS-NIR.
Bokhoni ba UV bo theohetse ho ~220 nm bakeng sa lits'ebetso tse tenyetsehang.
Ho hanyetsa hantle haholo ho thothomela ha mocheso le khatello ea mechine.
Letšoao le tšoanang la ho refractive le nang le birefringence e fokolang.

Likopo tse Tloaelehileng:

Optics ea ho nka litšoantšo ka nepo.
Lifensetere tsa laser bakeng sa maqhubu a bonahalang le a NIR.
Li-splitter tsa mahlakore, li-filter le li-prism.
Likarolo tsa mahlo bakeng sa microscopy le litsamaiso tsa projektha.

JGS3 Fused Silica – IR

Sehlopha

Sebaka sa Phetisetso:260–3500 nm
Matla a ka Sehloohong:Phetiso e ntlafalitsoeng ea infrared e nang le ho monya ha OH ho tlase.

Silica e kopantsoeng ea JGS3 e entsoe ho fana ka ponaletso e phahameng ka ho fetisisa ea infrared ka ho fokotsa litaba tsa hydroxyl nakong ea tlhahiso. Sena se fokotsa litlhōrō tsa ho monya ho ~2.73 μm le ~4.27 μm, e leng se ka senyang ts'ebetso lits'ebetsong tsa IR.

Lintlha-khōlō tsa Tshebetso ea JGS3:

Phetiso ea IR e phahameng haholo ha e bapisoa le JGS1 le JGS2.
Tahlehelo e fokolang ea ho monya e amanang le OH.
Khanyetso e ntle ea ho potoloha ha mocheso.
Ho tsitsa ha nako e telele libakeng tse nang le mocheso o phahameng.

Likopo tse Tloaelehileng:

Li-cuvettes tsa IR spectroscopy le lifensetere.
Litšoantšo tsa mocheso le optics ea sensor.
Likoahelo tse sireletsang tsa IR libakeng tse thata.
Likou tsa ho shebella tsa indasteri bakeng sa lits'ebetso tsa mocheso o phahameng.

Lintlha tsa Bohlokoa tsa Papiso ea JGS1, JGS2, le JGS3

Ntho	JGS1	JGS2	JGS3
Boholo bo Holimo	<Φ200mm	<Φ300mm	<Φ200mm
Sebaka sa Phetiso (Karolelano ea phetiso e mahareng)	0.17~2.10um (Tavg>90%)	0.26~2.10um (Tavg>85%)	0.185~3.50um (Tavg>85%)
OH- Dikahare	1200 ppm	150 ppm	5 ppm
Khanya ea khanya (ex 254nm)	E batla e le Mahala	Vb e matla	VB e matla
Dikahare tsa ho se hlweke	5 ppm	20-40 ppm	40-50 ppm
Birefringence Kamehla	2-4 nm/cm	4-6 nm/cm	4-10 nm/cm
Mokhoa oa ho Qhibilihisa	CVD ea maiketsetso	Ho qhibiliha ha oksijene le haedrojene	Ho qhibiliha ha motlakase
Likopo	Substrate ea laser: Fensetere, lense, prism, seipone...	Semiconductor le fensetere ea mocheso o phahameng	Leseli la IR le UV substrate

Lipotso Tse Botsoang Khafetsa – JGS1, JGS2, le JGS3 Fused Silica

P1: Phapang e ka sehloohong pakeng tsa JGS1, JGS2, le JGS3 ke efe?
A:

JGS1– Silica e kopantsoeng ea sehlopha sa UV e nang le phetiso e ikhethang ho tloha ho 185 nm, e loketse li-optics tse tebileng tsa UV le li-laser tsa excimer.
JGS2– Silica e kopantsoeng ea sehlopha sa optical bakeng sa lits'ebetso tse bonahalang ho isa ho tse haufi le infrared (220–3500 nm), e loketse li-optics tsa merero e akaretsang.
JGS3– Silica e kopantsoeng ea sehlopha sa IR e ntlafalitsoe bakeng sa infrared (260–3500 nm) ka litlhōrō tse fokotsehileng tsa ho monya OH.

P2: Ke sehlopha sefe seo ke lokelang ho se kgetha bakeng sa kopo ya ka?
A:

KhethaJGS1bakeng sa lithography ea UV, spectroscopy ea UV, kapa litsamaiso tsa laser tsa 193 nm/248 nm.
KhethaJGS2bakeng sa ditshwantsho tse bonahalang/tsa NIR, optics ya laser, le disebediswa tsa ho lekanya.
KhethaJGS3bakeng sa spectroscopy ea IR, setšoantšo sa mocheso, kapa lifensetere tse shebang mocheso o phahameng.

P3: Na dikereiti tsohle tsa JGS di na le matla a tshwanang a mmele?
A:E. JGS1, JGS2, le JGS3 li na le thepa e tšoanang ea mechine—botenya, ho thatafala le katoloso ea mocheso—hobane kaofela li entsoe ka silica e kopantsoeng e hloekileng haholo. Liphapang tse kholo ke tsa optical.

P4: Na JGS1, JGS2, le JGS3 li hanela tšenyo ea laser?
A:E. Mekhahlelo yohle e na le tekanyo e phahameng ya tshenyo ya laser (>20 J/cm² ho 1064 nm, di-pulse tsa 10 ns). Bakeng sa di-laser tsa UV,JGS1e fana ka khanyetso e phahameng ka ho fetisisa khahlanong le khanya ea letsatsi le ho senyeha ha bokaholimo.

Mabapi le rona

XKH e ikhethile ka nts'etsopele ea theknoloji e phahameng, tlhahiso le thekiso ea khalase e khethehileng ea mahlo le thepa e ncha ea kristale. Lihlahisoa tsa rona li sebeletsa lisebelisoa tsa elektroniki tsa mahlo, lisebelisoa tsa elektroniki tsa bareki le sesole. Re fana ka likarolo tsa mahlo tsa Sapphire, likoahelo tsa lense ea mohala oa thekeng, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, le li-wafer tsa kristale tsa semiconductor. Ka boiphihlelo bo nang le boiphihlelo le lisebelisoa tsa sejoale-joale, re ipabola ts'ebetsong ea lihlahisoa tse seng tsa maemo a holimo, re ikemiselitse ho ba khoebo e etellang pele ea theknoloji e phahameng ea lisebelisoa tsa optoelectronic.