LNOI Wafer (Lithium Niobate ho Insulator) Telecommunications Sensing High Electro-Optic
Setšoantšo se qaqileng
Kakaretso
Ka hare ho lebokose la wafer ho na le di-groove tse lekanang, tseo boholo ba tsona bo lekanang hantle ho tshehetsa mahlakore a mabedi a wafer. Lebokose la kristale ka kakaretso le entswe ka thepa ya PP ya polasetiki e bonaletsang e hanelang mocheso, ho tsofala le motlakase o sa fetoheng. Mebala e fapaneng ya di-additi e sebediswa ho kgetholla dikarolo tsa tshepe tlhahisong ya semiconductor. Ka lebaka la boholo bo bonyenyane ba di-semiconductor, dipaterone tse teteaneng, le ditlhoko tse thata haholo tsa boholo ba dikarolwana tlhahisong, lebokose la wafer le tlameha ho netefatswa tikoloho e hlwekileng ho hokela le lesoba la karabelo ya lebokose la tikoloho ya dimetjhini tse fapaneng tsa tlhahiso.
Mokhoa oa Tlhahiso
Ho etsoa ha li-wafer tsa LNOI ho na le mehato e 'maloa e nepahetseng:
Mohato oa 1: Ho Kenngoa ha Ion ea HeliumLi-ion tsa helium li kenngoa ka har'a kristale ea LN e ngata ho sebelisoa sesebelisoa sa ho kenya li-ion. Li-ion tsena li lula botebong bo itseng, li etsa sefofane se fokolang se tla qetella se nolofalitse ho arohana ha filimi.
Mohato oa 2: Sebopeho sa Motheo oa SubstrateSejana se arohaneng sa silicon kapa LN se apesoa ka oxidized kapa se apesoa ka SiO2 ho sebelisoa PECVD kapa thermal oxidation. Karolo e ka holimo ea sona e hlophisitsoe ka mokhoa o hlophisitsoeng bakeng sa ho kopana hantle.
Mohato oa 3: Ho hokahana ha LN le SubstrateKristale ea LN e kentsoeng ka ion e phetloa le ho hokeloa ho wafer ea motheo ho sebelisoa ho kopanya ka ho toba ka wafer. Libakeng tsa lipatlisiso, benzocyclobutene (BCB) e ka sebelisoa e le sekhomaretsi ho nolofatsa ho kopanya tlas'a maemo a thata haholo.
Mohato oa 4: Kalafo ea Mocheso le Karohano ea LifilimiHo annealing ho kenya tshebetsong ho thehwa ha dipululana botebong bo kentsweng, ho nolofalletsa karohano ya filimi e tshesane (lera le ka hodimo la LN) ho tloha ho bongata. Matla a mechine a sebediswa ho phethela ho etswa ha letlowa.
Mohato oa 5: Ho polisha bokaholimoHo Polishing ea Mechanical ea Lik'hemik'hale (CMP) ho sebelisoa ho boreletsa bokaholimo ba LN bo ka holimo, ho ntlafatsa boleng ba optical le tlhahiso ea sesebelisoa.
Li-parameter tsa Tekheniki
| Thepa | Optical Sehlopha LiNbO3 mahobe (a Tšoeu or Botsho) | |
| Curie Mocheso | 1142±0.7℃ | |
| Ho seha Sekhutlo | X/Y/Z jj. | |
| Bophara/boholo | 2”/3”/4” ±0.03mm | |
| Tol(±) | <0.20 mm ±0.005mm | |
| Botenya | 0.18 ～0.5mm kapa ho feta | |
| Ntho ea pele Sephara | 16mm/22mm/32mm | |
| TTV | <3μm | |
| Seqha | -30 | |
| Koahela | <40μm | |
| Boikutlo Sephara | Tsohle lia fumaneha | |
| Bokaholimo Mofuta | Lehlakore le le Leng le bentšitsoeng (SSP)/Mahlakore a Mabeli a bentšitsoeng (DSP) | |
| E bentšitsoeng lehlakore Ra | <0.5nm | |
| S/D | 20/10 | |
| Moeli Mekhoa ea ho lekanya | R=0.2mm Mofuta oa C or Nko ea poho | |
| Boleng | Mahala of petsoha (lipululana le tse kenyellelitsoeng) | |
| Optical e entsoeng ka doped | Mg/Fe/Zn/MgO jj. bakeng sa leseli sehlopha LN li-wafer ka e kopuoa | |
| Wafer Bokaholimo Mekhoa ea ho lekanya | Index ea refractive | Tjhe=2.2878/Ne=2.2033 @632nm mokhoa wa ho kopanya bolelele ba wavelength/prism. |
| Tšilafalo, | Ha ho letho | |
| Likaroloana c>0.3μ m | <=30 | |
| Ho ngoapa, ho qhaqha | Ha ho letho | |
| Sekoli | Ha ho mapetso a mathōko, ho ngoatheha, matshwao a sakha, matheba | |
| Sephutheloana | Bongata/Lebokose la Wafer | 25pcs ka lebokose |
Linyeoe tsa Tšebeliso
Ka lebaka la ho tenyetseha ha eona le ts'ebetso ea eona, LNOI e sebelisoa liindastering tse ngata:
Lifotoniki:Li-modulator tse nyane, li-multiplexers, le lipotoloho tsa photonic.
RF/Melumo:Li-modulator tsa acousto-optic, li-filter tsa RF.
Khomphutha ea Quantum:Metswako ya maqhubu a sa tsamaellaneng le dijenereithara tsa photon-para.
Tšireletso le Lifofane:Li-gyro tsa optical tse lahleheloang ke boleng bo tlase, lisebelisoa tsa ho fetola maqhubu.
Lisebelisoa tsa Bongaka:Li-biosensor tsa optical le li-probe tsa matšoao a maqhubu a phahameng.
LBH
P: Ke hobane'ng ha LNOI e khethoa ho feta SOI litsamaisong tsa optical?
A:LNOI e na le li-coefficient tse phahameng tsa electro-optic le mefuta e mengata ea ponaletso, e leng se nolofalletsang ts'ebetso e phahameng lipotolohong tsa photonic.
P: Na CMP e tlamehile ka mora ho arohana?
A:E. Bokaholimo ba LN bo pepesehileng bo thata ka mora ho seha ha ion mme bo lokela ho bentshwa ho fihlela dipehelo tsa boleng ba optical.
P: Boholo ba wafer bo fumanehang ke bofe?
A:Li-wafer tsa khoebo tsa LNOI haholo-holo li bolelele ba lisenthimithara tse 3 le lisenthimithara tse 4, leha bafepedi ba bang ba ntse ba hlahisa mefuta ea lisenthimithara tse 6.
P: Na lera la LN le ka sebediswa hape kamora ho arolwa?
A:Kristale ea motheo e ka bentšisoa hape le ho sebelisoa hape ka makhetlo a 'maloa, leha boleng bo ka' na ba theoha ka mor'a lipotoloho tse ngata.
P: Na di-wafer tsa LNOI di tsamaellana le ts'ebetso ya CMOS?
A:E, li etselitsoe ho tsamaisana le mekhoa ea tlhahiso ea semiconductor e tloaelehileng, haholo-holo ha ho sebelisoa li-substrate tsa silicon.
