Lintlha tsa Bohlokoa bakeng sa Tokisetso ea Silicon Carbide ea Crystal e le 'Ngoe ea Boleng bo Holimo

Mekhoa e meholo ea ho lokisa kristale e le 'ngoe ea silicon e kenyelletsa: Tsamaiso ea Mouoane oa 'Mele (PVT), Kholo ea Tharollo e Peoang ka Holimo (TSSG), le Ho Hlahisoa ha Mouoane oa Lik'hemik'hale oa Mocheso o Phahameng (HT-CVD). Har'a tsena, mokhoa oa PVT o sebelisoa haholo tlhahisong ea indasteri ka lebaka la lisebelisoa tsa oona tse bonolo, bonolo ba taolo, le litšenyehelo tse tlase tsa lisebelisoa le ts'ebetso.

Lintlha tsa Bohlokoa tsa Tekheniki bakeng sa Kholo ea PVT ea Likristale tsa Silicon Carbide

Ha ho holisoa likristale tsa silicon carbide ho sebelisoa mokhoa oa Physical Vapor Transport (PVT), lintlha tse latelang tsa tekheniki li lokela ho nahanoa:

1. Bohloeki ba Lisebelisoa tsa Graphite ka Phaposing ea Kholo: Bongata ba litšila likarolong tsa graphite bo lokela ho ba ka tlase ho 5×10⁻⁶, ha bongata ba litšila tse ka har'a felt ea insulation bo lokela ho ba ka tlase ho 10×10⁻⁶. Likarolo tse kang B le Al li lokela ho bolokoa ka tlase ho 0.1×10⁻⁶.
2. Khetho e Nepahetseng ea Crystal Polarity ea Peo: Lithuto tsa bonono li bontša hore sefahleho sa C (0001) se loketse ho holisa likristale tsa 4H-SiC, ha sefahleho sa Si (0001) se sebelisetsoa ho holisa likristale tsa 6H-SiC.
3. Tšebeliso ea Likristale tsa Peo tse sa Arohanang le Moeli: Likristale tsa peo tse sa Arohanang le Moeli li ka fetola ho leka-lekana ha kholo ea kristale, tsa fokotsa liphoso kristale.
4. Mokhoa oa Boleng bo Holimo oa ho Kopanya Peō ka Crystal.
5. Ho Boloka Botsitso ba Sebopeho sa Kgolo ya Crystal Nakong ya Potoloho ya Kgolo.

Theknoloji ea Bohlokoa bakeng sa Kholo ea Crystal ea Silicon Carbide

1. Theknoloji ea Doping bakeng sa Phofo ea Silicon Carbide
   Ho sebelisa phofo ea silicon carbide ka tekanyo e loketseng ea Ce ho ka tsitsisa kholo ea likristale tse le 'ngoe tsa 4H-SiC. Liphetho tse sebetsang li bontša hore Ce doping e ka:

• Eketsa sekhahla sa kgolo ya dikristale tsa silicon carbide.
• Laola tsela eo kgolo ya kristale e holang ka yona, e etse hore e tshwane le e tlwaelehileng.
• Thibela ho thehwa ha ditshila, ho fokotsa diphoso le ho nolofatsa tlhahiso ya dikristale tsa kristale e le nngwe le tsa boleng bo hodimo.
• Thibela ho bola ha kristale ka morao 'me u ntlafatse chai ea kristale e le' ngoe.

• Theknoloji ea Taolo ea Gradient ea Mocheso oa Axial le oa Radial
  Ho phahama ha mocheso o potolohang ho ama haholo-holo mofuta oa kholo ea kristale le katleho ea eona. Ho phahama ha mocheso o monyane haholo ho ka lebisa ho thehoeng ha polycrystalline le ho fokotsa sekhahla sa kholo. Ho phahama ha mocheso o potolohang le o potolohang ho loketseng ho thusa kholo e potlakileng ea kristale ea SiC ha ka nako e ts'oanang ho boloka boleng bo tsitsitseng ba kristale.
• Theknoloji ea Taolo ea ho Senyeha ha Sefofane sa Motheo (BPD)
  Liphoso tsa BPD li hlaha haholo-holo ha khatello ea ho shear ka kristale e feta khatello ea bohlokoa ea ho shear ea SiC, e leng se etsang hore litsamaiso tsa ho thella li sebetse. Kaha li-BPD li shebane le tataiso ea kholo ea kristale, li thehoa haholo-holo nakong ea kholo ea kristale le ho pholisa.
• Theknoloji ea Phetoho ea Karolelano ea Mocheso oa Mouoane
  Ho eketsa karolelano ea khabone ho ea ho silicon tikolohong ea kholo ke mokhoa o sebetsang oa ho tsitsisa kholo ea kristale e le 'ngoe. Karolelano e phahameng ea khabone ho ea ho silicon e fokotsa ho bokellana ha mehato e meholo, e boloka tlhahisoleseling ea kholo ea bokaholimo ba kristale ea peo, 'me e thibela ho thehoa ha polytype.
• Theknoloji ea Taolo ea Khatello e Tlase
  Khatello ea maikutlo nakong ea kholo ea kristale e ka baka ho kobeha ha lifofane tsa kristale, e leng se lebisang boleng bo bobe ba kristale kapa esita le ho petsoha. Khatello e phahameng ea maikutlo e boetse e eketsa ho falla ha sefofane sa basal, e leng se ka amang boleng ba lera la epitaxial le ts'ebetso ea sesebelisoa hampe.

Setšoantšo sa ho skena sa SiC wafer sa lisenthimithara tse 6

Mekhoa ea ho Fokotsa Khatello ea Kelello ka Likristale:

• Fetola kabo ea tšimo ea mocheso le liparamente tsa ts'ebetso ho nolofalletsa kholo ea tekano ea likristale tse le 'ngoe tsa SiC.
• Ntlafatsa sebopeho sa sebopi ho dumella kgolo ya kristale e lokolohileng ka dithibelo tse fokolang.
• Fetola mekhoa ea ho tiisa kristale ea peo ho fokotsa ho se lumellane ha katoloso ea mocheso pakeng tsa kristale ea peo le sehokelo sa graphite. Mokhoa o tloaelehileng ke ho siea sekheo sa 2 mm pakeng tsa kristale ea peo le sehokelo sa graphite.
• Ntlafatsa lits'ebetso tsa ho hokela ka ho kenya tšebetsong ho hokela ka har'a sebōpi, ho lokisa mocheso oa ho hokela le nako ea ho lokolla khatello ea ka hare ka botlalo.

Mekhoa ea Nakong e Tlang ea Theknoloji ea Kholo ea Crystal ea Silicon Carbide

Ha re sheba pele, theknoloji ea boleng bo holimo ea ho lokisa kristale e le 'ngoe ea SiC e tla nts'etsapele ka litsela tse latelang:

1. Khōlo e Khōlō
   Bophara ba likristale tse le 'ngoe tsa silicon carbide bo fetohile ho tloha ho limilimithara tse 'maloa ho ea ho boholo ba lisenthimithara tse 6, lisenthimithara tse 8, le tse kholoanyane tsa lisenthimithara tse 12. Likristale tsa SiC tse bophara bo boholo li ntlafatsa katleho ea tlhahiso, li fokotsa litšenyehelo, 'me li fihlela litlhoko tsa lisebelisoa tse matla haholo.
2. Kgolo ea Boleng bo Holimo
   Likristale tse le 'ngoe tsa SiC tsa boleng bo holimo lia hlokahala bakeng sa lisebelisoa tse sebetsang hantle. Leha ho entsoe tsoelo-pele e kholo, liphoso tse kang liphaephe tse nyane, ho falla le litšila li ntse li le teng, tse amang ts'ebetso le ts'epo ea sesebelisoa.
3. Phokotso ea Litšenyehelo
   Litšenyehelo tse phahameng tsa ho lokisa kristale ea SiC li fokotsa ts'ebeliso ea eona masimong a itseng. Ho ntlafatsa lits'ebetso tsa kholo, ho ntlafatsa ts'ebetso ea tlhahiso, le ho fokotsa litšenyehelo tsa thepa e tala ho ka thusa ho fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso.
4. Khōlo e Bohlale
   Ka tsoelo-pele ho AI le big data, theknoloji ea kholo ea kristale ea SiC e tla amohela litharollo tse bohlale haholoanyane. Tlhokomelo le taolo ea nako ea sebele ho sebelisoa li-sensor le litsamaiso tse iketsang e tla ntlafatsa botsitso ba ts'ebetso le taolo. Ho feta moo, tlhahlobo ea big data e ka ntlafatsa liparamente tsa kholo, ea ntlafatsa boleng ba kristale le katleho ea tlhahiso.

Theknoloji ea boleng bo holimo ea ho lokisa kristale e le 'ngoe ea silicon carbide ke ntlha ea bohlokoa lipatlisisong tsa thepa ea semiconductor. Ha theknoloji e ntse e tsoela pele, mekhoa ea kholo ea kristale ea SiC e tla tsoela pele ho fetoha, e fana ka motheo o tiileng oa lits'ebetso masimong a mocheso o phahameng, maqhubu a phahameng le a matla a phahameng.