Ho qhaqha ha Wafer ke Eng 'me ho ka rarolloa joang?

Ho daea ka wafer ke ts'ebetso ea bohlokoa tlhahisong ea li-semiconductor 'me ho na le tšusumetso e tobileng boleng ba ho qetela ba chip le ts'ebetso. Tlhahisong ea 'nete,ho qhaqha ka wafer—haholo-holoho tjhesa ka lehlakoreng le ka peleleho tjhesa ka lehlakoreng le ka morao—ke bofokodi bo etsahalang khafetsa le bo tebileng bo fokotsang katleho ea tlhahiso le chai haholo. Ho qhaqha ha ho ame feela ponahalo ea li-chip empa ho ka boela ha baka tšenyo e ke keng ea lokisoa ts'ebetsong ea tsona ea motlakase le ts'epo ea mechini.

Tlhaloso le Mefuta ea ho Chipling ea Wafer

Ho qhaqha ka wafer ho bolelamapetso kapa ho robeha ha thepa mathōkong a li-chip nakong ea ts'ebetso ea ho sehaKa kakaretso e arotsoe ka lihlopha tseho tjhesa ka lehlakoreng le ka peleleho tjhesa ka lehlakoreng le ka morao:

• Ho tjhesa ka lehlakoreng le ka pelee etsahala holim'a karolo e sebetsang ea chip e nang le mekhoa ea potoloho. Haeba ho thiba ho atoloha sebakeng sa potoloho, ho ka senya ts'ebetso ea motlakase haholo le ts'epo ea nako e telele.

• Ho qhaqha ka lehlakoreng le ka moraohangata ho etsahala kamora ho fokotsoa ha wafer, moo ho robehang ho hlahang mobung kapa lera le senyehileng ka morao.

Ho ya ka pono ya sebopeho,ho qhaqha ha lehlakore le ka pele hangata ho bakoa ke ho robeha ha lera la epitaxial kapa la bokaholimo., haHo qhaqha ka lehlakoreng le ka morao ho simoloha ho tsoa mealong e senyehileng e entsoeng nakong ea ho tšeloa ha wafer le ho tlosoa ha thepa ea substrate.

Ho qhaqha ka lehlakoreng le ka pele ho ka aroloa ka mefuta e meraro:

1. Ho qala ho qhaqha– hangata ho etsahala nakong ea mohato oa pele ho sehoa ha ho kenngoa lehare le lecha, le khetholloang ke tšenyo e sa tloaelehang ea moeli.

2. Ho qhaqha ha nako le nako (ka potoloho)– e hlaha kgafetsa le kgafetsa nakong ya mesebetsi e tswelang pele ya ho seha.

3. Ho qhaqha ho sa tloaelehang– e bakoang ke ho fela ha lehare, sekhahla se sa lokelang sa ho fepa, botebo bo feteletseng ba ho seha, ho falla ha wafer, kapa ho fetoha ha sebopeho.

Lisosa tsa Motheo tsa ho Chipcha ha Wafer

1. Mabaka a ho qhaqha ha pele

• Ho nepahala ha ho kenngoa ha lehare ho sa lekaneng

• Lehare ha lea kopanngoa hantle hore le be sebopeho se chitja se phethahetseng

• Ho pepesehela lijo-thollo tsa taemane ka botlalo

Haeba lehare le kentsoe ka ho sekamela hanyane, ho hlaha matla a sa lekanang a ho seha. Lehare le lecha le sa apesoang hantle le tla bontša ho se tsitse hantle, e leng se lebisang ho kheloheng ha tsela ea ho seha. Haeba lithollo tsa daemane li sa pepesehe ka botlalo nakong ea mohato oa pele ho ho seha, libaka tse sebetsang tsa chip lia hloleha ho thehoa, e leng se eketsang monyetla oa ho seha.

2. Mabaka a ho Chipling Nako le Nako

• Tšenyo ea tšusumetso ea bokaholimo ho lehare

• Likaroloana tse khōlō tsa taemane tse hlahellang

• Ho khomarela likaroloana tsa kantle ho naha (resin, lithōle tsa tšepe, jj.)

Nakong ea ho seha, li-notch tse nyane li ka hlaha ka lebaka la ho thula ha chip. Lithollo tse kholo tsa taemane tse hlahellang li tsepamisa khatello ea lehae, ha masala kapa litšila tse tsoang kantle ho lehare li ka sitisa botsitso ba ho seha.

3. Mabaka a ho Chip e sa Tloaelehang

• Ho fela ha lehare ho tsoa ho botsitso bo fokolang ba matla ka lebelo le phahameng

• Sekhahla sa phepo se sa nepahalang kapa botebo bo feteletseng ba ho seha

• Ho falla ha wafer kapa ho fetoha ha sebopeho nakong ea ho seha

Mabaka ana a lebisa matleng a sa tsitsang a ho seha le ho kheloha tseleng e seng e setilwe ya ho seha, e leng se bakang ho robeha ha moedi ka kotloloho.

4. Mabaka a ho Fokotsa Mokokotlo ka Morao

Ho qhaqha ka morao haholo-holo ho tsoa hoho bokellana ha khatello ea maikutlo nakong ea ho fokotsa li-wafer le ho ba le li-wafer warpage.

Nakong ea ho tšesaane, lera le senyehileng le hlaha ka morao, le sitisa sebopeho sa kristale le ho hlahisa khatello ea ka hare. Nakong ea ho arola, ho lokolloa ha khatello ho lebisa ho qalong ea mapetso a manyane, e leng se jalang butle-butle ho ba mapetso a maholo a ka morao. Ha botenya ba wafer bo fokotseha, khanyetso ea eona ea khatello ea fokotseha, 'me warpage ea eketseha - e leng se etsang hore ho be le monyetla o moholo oa ho khaola ka morao.

Tšusumetso ea Chipping ho Li-Chips le Mehato ea ho Lokisa

Tšusumetso ho Tshebetso ea Chip

Ho tjhesa ho fokotsa haholomatla a mechiniEsita le mapetso a manyane a mathoko a ka ’na a tsoela pele ho ata nakong ea ho paka kapa tšebeliso ea ’nete, e leng se qetellang se lebisa ho robeheng ha chip le ho hloleha ha motlakase. Haeba chip e ka pele e hlasela libaka tsa potoloho, e beha ts’ebetso ea motlakase kotsing ka ho toba le botšepehi ba sesebelisoa sa nako e telele.

Litharollo tse Sebetsang bakeng sa ho Chipping Wafer

1. Ntlafatso ea Liparamente tsa Ts'ebetso

Lebelo la ho seha, sekhahla sa ho fepa, le botebo ba ho seha li lokela ho fetoloa ka mokhoa o feto-fetohang ho latela sebaka sa wafer, mofuta oa thepa, botenya, le tsoelo-pele ea ho seha ho fokotsa khatello ea maikutlo.
Ka ho kopanyapono ea mochini le tlhokomelo e thehiloeng ho AI, boemo ba lehare la nako ya sebele le boitshwaro ba ho tjhetjha di ka lemohuwa mme tsa sebetsana le diparamitha di lokiswa ka boiketsetso bakeng sa taolo e nepahetseng.

2. Tlhokomelo le Tsamaiso ea Lisebelisoa

Tlhokomelo ea kamehla ea mochini o thibang ke ea bohlokoa ho netefatsa:

• Ho nepahala ha lehoakhoa

• Botsitso ba sistimi ea phetisetso

• Bokgoni ba sistimi ea ho pholisa

Sistimi ea ho beha leihlo bophelo bohle ba lehare e lokela ho kenngoa tšebetsong ho netefatsa hore mahare a tsofetseng haholo a nkeloa sebaka pele ho theoha ha ts'ebetso ho baka ho petsoha.

3. Khetho ea Mahare le Ntlafatso

Matlotlo a lehare a kangboholo ba lithollo tsa daemane, ho thatafala ha tlamo, le ho teteana ha litholloe na le tšusumetso e matla boitšoarong ba ho tjhesa:

• Lithollo tse kholo tsa taemane li eketsa ho phunya ha lehlakore le ka pele.

• Lithollo tse nyane li fokotsa ho qhetsola empa li fokotsa bokhoni ba ho seha.

• Botebo bo tlase ba dithollo bo fokotsa ho tjhesa empa bo kgutsufatsa nako ya tshebetso ya sesebediswa.

• Lisebelisoa tse bonolo tsa ho khomarela li fokotsa ho qhekelloa empa li potlakisa ho tsofala.

Bakeng sa disebediswa tse thehilweng ho silicon,Boholo ba thollo ea daemane ke ntlha ea bohlokoa ka ho fetisisaHo kgetha di-blade tsa boleng bo hodimo tse nang le dikarolwana tse nyane tse kgolo le taolo e tiileng ya boholo ba dikarolwana ho thibela ka katleho ho tjhesa ha lehlakore le ka pele ha ka nako e ts'oanang ho boloka ditjeo di le tlasa taolo.

4. Mehato ea Taolo ea ho Cheka ka Morao

Maano a bohlokoa a kenyeletsa:

• Ho ntlafatsa lebelo la spindle

• Ho khetha li-abrasives tsa taemane tse nang le grit e ntle

• Ho sebelisa thepa e bonolo ea tlamo le mahloriso a tlase a khopisang

• Ho netefatsa ho kenngoa ha lehare ka nepo le ho thothomela ha spindle ho tsitsitseng

Lebelo le phahameng haholo kapa le tlase la ho potoloha ka bobeli le eketsa kotsi ea ho robeha ka morao. Ho sekama ha lehare kapa ho thothomela ha spindle ho ka baka ho taboha ha karolo e kholo ea ka morao. Bakeng sa li-wafer tse tšesaane haholo,kalafo ea kamora kalafo joalo ka CMP (Chemical Mechanical Polishing), ho hlaba ka mokhoa o omileng, le ho hlaba ka lik'hemik'hale tse metsithusa ho tlosa masalla a tshenyo, ho lokolla kgatello ya ka hare, ho fokotsa warpage, le ho ntlafatsa matla a chip haholo.

5. Mahlale a Tsoetseng Pele a ho Seha

Mekhoa e mecha ea ho itšeha e sa amaneng le e sa sitiseng haholo e fana ka ntlafatso e eketsehileng:

• Ho thiba ka lasere fokotsa ho kopana ha mechine le ho fokotsa ho tjheseha ha ditshipi ka ho sebetsana le matla a mangata.

• Ho phunya metsi ka jetee sebelisa metsi a nang le khatello e phahameng a kopantsoeng le lintho tse thibelang mocheso le tsa ho qhibilihisa mocheso, e leng se fokotsang khatello ea mocheso le ea mechine haholo.

Ho Matlafatsa Taolo le Tlhahlobo ea Boleng

Sistimi e tiileng ea taolo ea boleng e lokela ho theoa ho pholletsa le ketane eohle ea tlhahiso—ho tloha tlhahlobong ea thepa e tala ho isa netefatsong ea ho qetela ea sehlahisoa. Lisebelisoa tsa tlhahlobo tse nepahetseng haholo tse kangdimaekroskopu tsa optical le dimaekroskopu tsa dielektrone tse skenwang (SEM)e lokela ho sebelisoa ho hlahloba ka botlalo li-wafer tsa ka mor'a ho khaola, e leng se lumellang ho lemoha le ho lokisa liphoso tsa ho phunya kapele.

Qetello

Ho qhaqha ka wafer ke phoso e rarahaneng, e nang le mabaka a mangata e kenyeletsangliparamente tsa ts'ebetso, boemo ba lisebelisoa, thepa ea lehare, khatello ea wafer, le taolo ea bolengKe feela ka ntlafatso e hlophisehileng libakeng tsena tsohle moo ho ka laoloang li-chip ka katleho—ka hona ho ntlafatsachai ea tlhahiso, botšepehi ba chip, le ts'ebetso ea sesebelisoa ka kakaretso.