Ho holisa lera le eketsehileng la liathomo tsa silicon holim'a substrate ea silicon wafer ho na le melemo e 'maloa:
Mekhoeng ea silicon ea CMOS, kholo ea epitaxial (EPI) holim'a substrate ea wafer ke mohato oa bohlokoa oa ts'ebetso.
1, Ho ntlafatsa boleng ba kristale
Liphoso le litšila tsa pele tsa substrate: Nakong ea ts'ebetso ea tlhahiso, substrate ea wafer e ka ba le liphoso le litšila tse itseng. Kholo ea lera la epitaxial e ka hlahisa lera la silicon la boleng bo holimo la monocrystalline le nang le likhakanyo tse tlase tsa liphoso le litšila holim'a substrate, e leng sa bohlokoa bakeng sa tlhahiso ea sesebelisoa se latelang.
Sebopeho se tšoanang sa kristale: Kgolo ea Epitaxial e netefatsa sebopeho se tšoanang sa kristale, e fokotsa tšusumetso ea meeli ea lijo-thollo le liphoso thepa ea substrate, ka hona e ntlafatsa boleng ba kristale ka kakaretso ba wafer.
2, ntlafatsa tshebetso ya motlakase.
Ho ntlafatsa litšobotsi tsa sesebelisoa: Ka ho holisa lera la epitaxial holim'a substrate, mahloriso a doping le mofuta oa silicon li ka laoloa ka nepo, ho ntlafatsa ts'ebetso ea motlakase ea sesebelisoa. Mohlala, doping ea lera la epitaxial e ka fetoloa hantle ho laola motlakase oa moeli oa MOSFET le liparamente tse ling tsa motlakase.
Ho fokotsa phallo ea metsi a dutlang: Lera la epitaxial la boleng bo holimo le na le sekoli se tlase, e leng se thusang ho fokotsa phallo ea metsi a dutlang lisebelisoa, ka hona ho ntlafatsa ts'ebetso ea sesebelisoa le ts'epo.
3, ntlafatsa tshebetso ya motlakase.
Ho Fokotsa Boholo ba Tšobotsi: Li-node tse nyane tsa ts'ebetso (tse kang 7nm, 5nm), boholo ba tšobotsi ea lisebelisoa bo ntse bo fokotseha, bo hloka thepa e ntlafalitsoeng haholoanyane le ea boleng bo holimo. Theknoloji ea kholo ea Epitaxial e ka fihlela litlhoko tsena, ea tšehetsa tlhahiso ea lipotoloho tse kopantsoeng tse sebetsang hantle le tse nang le bongata bo phahameng.
Ho Ntlafatsa Motlakase oa ho Aroha: Mealo ea Epitaxial e ka etsoa ka li-voltage tse phahameng tsa ho aroha, e leng ntho ea bohlokoa bakeng sa ho etsa lisebelisoa tse nang le matla a maholo le tse nang le motlakase o phahameng. Mohlala, lisebelisoa tsa motlakase, mealo ea epitaxial e ka ntlafatsa motlakase oa ho aroha ha sesebelisoa, e leng se eketsang sebaka se sireletsehileng sa ts'ebetso.
4, Ho Sebeletsana ha Ts'ebetso le Meaho e Mengata
Dibopeho tsa Mealo e Mengata: Theknoloji ya kgolo ya Epitaxial e dumella kgolo ya dibopeho tsa mealo e mengata hodima di-substrate, ka mealo e fapaneng e nang le maemo a fapaneng a doping le mefuta. Sena se molemo haholo bakeng sa ho etsa disebediswa tse rarahaneng tsa CMOS le ho nolofalletsa kopanyo ya mahlakore a mararo.
Ho tsamaellana: Ts'ebetso ea kholo ea epitaxial e tsamaellana haholo le lits'ebetso tse teng tsa tlhahiso ea CMOS, e leng se etsang hore ho be bonolo ho e kopanya le mesebetsi ea hona joale ea tlhahiso ntle le tlhoko ea liphetoho tse kholo meleng ea ts'ebetso.
Kakaretso: Tšebeliso ea kholo ea epitaxial lits'ebetsong tsa silicon tsa CMOS e ikemiselitse haholo ho ntlafatsa boleng ba kristale ea wafer, ho ntlafatsa ts'ebetso ea motlakase ea sesebelisoa, ho tšehetsa li-node tsa ts'ebetso e tsoetseng pele, le ho fihlela litlhoko tsa tlhahiso ea potoloho e kopaneng ea ts'ebetso e phahameng le e nang le bongata bo phahameng. Theknoloji ea kholo ea Epitaxial e lumella taolo e nepahetseng ea doping ea thepa le sebopeho, ho ntlafatsa ts'ebetso ka kakaretso le ts'epo ea lisebelisoa.
Nako ea poso: Mphalane-16-2024