Li-substrate tse kopantsoeng tsa SiC tse sa thibeleng mocheso ka halofo Dia2inch 4inch 6inch 8inch HPSI
| Lintho | Tlhaloso | Lintho | Tlhaloso |
| Bophara | 150±0.2mm | Ho teneha ha sefahleho (ka pele) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
| Mofuta oa Polytype | 4H | Edge Chip, Scratch, Crack (tlhahlobo ea pono) | Ha ho letho |
| Ho hanyetsa | ≥1E8ohm·cm | TTV | ≤5μm |
| Botenya ba lera la phetisetso | ≥0.4μm | Koahela | ≤35μm |
| E se na thuso | ≤5ea/wafer (2mm>D>0.5mm) | Botenya | 500±25μm |
Melemo ea li-substrate tse kopantsoeng tsa SiC tse thibelang mocheso ka halofo li kenyelletsa:
Ho hanyetsa ho hoholo: thepa ea SiC e thibelang mocheso ka halofo e na le ho hanyetsa ho hoholo, e leng se etsang hore e khone ho thibela phallo ea motlakase 'me e lokele mefuta e itseng ea lisebelisoa tsa elektroniki.
Tshebetso ya mocheso o phahameng: Disebediswa tsa SiC di kgona ho sebetsa dibakeng tse nang le mocheso o phahameng, e leng se etsang hore di lokele ditshebediso tsa elektroniki tse nang le matla a mangata le maqhubu a mangata.
Motlakase o Phahameng oa ho Senyeha: Lisebelisoa tsa SiC li na le motlakase o phahameng oa ho senyeha 'me li khona ho mamella masimo a motlakase a phahameng ntle le ho senyeha ha motlakase.
Khanyetso ea Lik'hemik'hale le Tikoloho: SiC e hanela mafome a lik'hemik'hale 'me e ka mamella maemo a thata a tikoloho bakeng sa lits'ebetso tse boima.
Tahlehelo e fokotsehileng ea motlakase: Li-substrate tsa SiC li lumella phetoho e sebetsang hantle ea motlakase le tahlehelo e tlase ea motlakase lisebelisoa tsa elektroniki ha li bapisoa le lisebelisoa tsa setso tse thehiloeng ho silicon.
Ka kakaretso, di-substrate tse kopaneng tsa SiC tse thibelang mocheso ka semi-insulation di fana ka melemo e meholo ntshetsopeleng ya di-elektroniki tse sebetsang hantle, haholoholo ditshebedisong tse hlokang tshebetso ya mocheso o phahameng, matla a mangata le phetoho e sebetsang hantle ya matla.
Thekiso le Tšebeletso ea Bareki
Theko ea Thepa
Lefapha la ho reka thepa le ikarabella ho bokella thepa eohle e tala e hlokahalang ho hlahisa sehlahisoa sa hau. Ho sala morao ka botlalo ha lihlahisoa le thepa eohle, ho kenyeletsoa le tlhahlobo ea lik'hemik'hale le ea 'mele ho lula ho fumaneha.
Boleng
Nakong le ka mora tlhahiso kapa ts'ebetso ea lihlahisoa tsa hau, lefapha la taolo ea boleng le ameha ho netefatseng hore thepa eohle le mamello li fihlela kapa li feta litlhaloso tsa hau.
Tšebeletso
Re motlotlo ka ho ba le basebetsi ba boenjiniere ba thekiso ba nang le boiphihlelo ba lilemo tse fetang 5 indastering ea semiconductor. Ba koetliselitsoe ho araba lipotso tsa tekheniki hammoho le ho fana ka litheolelo tse nakong bakeng sa litlhoko tsa hau.
Re haufi le uena neng kapa neng ha u na le bothata, 'me re bo rarolla ka mor'a lihora tse 10.
Setšoantšo se qaqileng
