Phapang ke efe pakeng tsa substrate e tsamaisang SiC le substrate e se nang insulation e lekaneng?

Khabide ea silicon ea SiCsesebediswa se bolela sesebediswa se entsweng ka silicon carbide e le thepa e tala.

Ho ea ka litšobotsi tse fapaneng tsa khanyetso, e arotsoe ka lisebelisoa tsa motlakase tsa silicon carbide tse tsamaisang motlakase lecarbide ea silicon e nang le mocheso o tlaseLisebelisoa tsa RF.

Mefuta ea mantlha ea lisebelisoa le ts'ebeliso ea carbide ea silicon

Melemo e meholo ea SiC ho fetaLisebelisoa tsa Sike:

SiC e na le lekhalo la lebanta ka makhetlo a mararo ho feta Si, e leng se ka fokotsang ho dutla le ho eketsa mamello ea mocheso.

SiC e na le matla a tšimo ea ho senyeha ha Si ka makhetlo a 10, e ka ntlafatsa bongata ba hona joale, maqhubu a ts'ebetso, ea mamella bokhoni ba motlakase le ho fokotsa tahlehelo ea ho tima, e loketse haholoanyane lits'ebetsong tsa motlakase o phahameng.

SiC e na le lebelo la ho kheloha ha dielektrone tse ngata habeli ho feta Si, kahoo e ka sebetsa ka maqhubu a phahameng.

SiC e na le phallo ea mocheso e fetang Si ka makhetlo a mararo, e na le ts'ebetso e ntle ea ho qhala mocheso, e ka tšehetsa matla a mangata le ho fokotsa litlhoko tsa ho qhala mocheso, e leng se etsang hore sesebelisoa se be bobebe.

Substrate e tsamaisang motlakase

Substrate e tsamaisang motlakase: Ka ho tlosa litšila tse fapaneng ka har'a kristale, haholo-holo litšila tse sa tebang, ho fihlela resistivity e phahameng ea kristale.

a1

E tsamaisangsubstrate ea silicon carbideSiC wafer

Sesebelisoa sa motlakase sa silicon carbide se tsamaisang motlakase se etsoa ka ho hola ha lera la epitaxial la silicon carbide holim'a substrate e tsamaisang motlakase, leqephe la epitaxial la silicon carbide le ntse le sebetsoa, ​​ho kenyeletsoa tlhahiso ea diode tsa Schottky, MOSFET, IGBT, jj., tse sebelisoang haholo-holo likoloing tsa motlakase, tlhahiso ea motlakase oa photovoltaic, lipalangoang tsa terene, setsi sa data, ho tjhaja le meralo e meng ea motheo. Melemo ea ts'ebetso ke e latelang:

Litšobotsi tse ntlafalitsoeng tsa khatello e phahameng. Matla a tšimo ea motlakase a khaba ea silicon a feta silicon ka makhetlo a fetang 10, e leng se etsang hore khanyetso e phahameng ea lisebelisoa tsa silicon carbide e be holimo haholo ho feta lisebelisoa tse lekanang tsa silicon.

Litšobotsi tse betere tsa mocheso o phahameng. Carbide ea silicon e na le conductivity e phahameng ea mocheso ho feta silicon, e leng se etsang hore ho qhala ha mocheso oa sesebelisoa ho be bonolo le hore mocheso o lekanyelitsoeng oa ts'ebetso o be holimo. Ho hanyetsa mocheso o phahameng ho ka lebisa keketsehong e kholo ea bongata ba matla, ha ka nako e ts'oanang ho fokotsa litlhoko tsamaisong ea ho pholisa, e le hore terminal e ka ba bobebe haholoanyane le ho etsoa hore e be nyane.

Tšebeliso e tlase ea matla. ① Sesebelisoa sa silicon carbide se na le khanyetso e tlase haholo le tahlehelo e tlase ea ho se sebelise; (2) Motlakase oa ho lutla ha lisebelisoa tsa silicon carbide o fokotsehile haholo ho feta oa lisebelisoa tsa silicon, ka hona ho fokotsa tahlehelo ea matla; ③ Ha ho na ketsahalo ea ho tima ha hona joale ts'ebetsong ea ho tima ha lisebelisoa tsa silicon carbide, 'me tahlehelo ea ho fetola e tlase, e leng se ntlafatsang haholo makhetlo a ho fetola ha lits'ebetso tse sebetsang.

Substrate ea SiC e sa keneng mochesong o lekaneng

Substrate ea SiC e sa kenngoeng mochesong ka semi: Ho sebelisa N ho sebelisoa ho laola ka nepo ho hanyetsa ha lihlahisoa tse tsamaisang motlakase ka ho lekanyetsa kamano e tsamaellanang pakeng tsa mahloriso a ho sebelisa naetrojene, sekhahla sa kholo le ho hanyetsa kristale.

a2
a3

Bohloeki bo phahameng ba karolo e sireletsang mochesong

Lisebelisoa tsa RF tse thehiloeng ho carbon ea silicon tse se nang mocheso o lekaneng li etsoa hape ka ho holisa lera la epitaxial la gallium nitride holim'a substrate ea silicon carbide e se nang mocheso o lekaneng ho lokisa leqephe la epitaxial la silicon nitride, ho kenyeletsoa le lisebelisoa tse ling tsa RF tsa gallium nitride, tse sebelisoang haholo-holo puisanong ea 5G, puisanong ea likoloi, lits'ebetsong tsa ts'ireletso, phetisong ea data, le sefofaneng.

Sekhahla sa ho kheloha ha elektrone e tletseng sa thepa ea silicon carbide le gallium nitride ke makhetlo a 2.0 le 2.5 ho feta ea silicon ka ho latellana, kahoo makhetlo a ts'ebetso ea lisebelisoa tsa silicon carbide le gallium nitride a maholo ho feta a lisebelisoa tsa setso tsa silicon. Leha ho le joalo, thepa ea gallium nitride e na le bothata ba ho hanyetsa mocheso hantle, ha silicon carbide e na le ho hanyetsa mocheso hantle le ho khanna mocheso hantle, e leng se ka etsang hore lisebelisoa tsa gallium nitride li se ke tsa hanyetsa mocheso hantle, kahoo indasteri e nka silicon carbide e nang le insulation e tlase e le substrate, 'me lera la gan epitaxial le lengoa holim'a substrate ea silicon carbide ho etsa lisebelisoa tsa RF.

Haeba ho na le tlōlo ea molao, ikopanye le ho hlakola


Nako ea poso: Phupu-16-2024