Tharollo e Kopantsoeng ea SiC Peo ea ho Koahela–Ho Kopanya–Ho Sintering

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Fetola ho kopanya peo ea SiC ho tloha mosebetsing o itšetlehileng ka opereishene ho ea ts'ebetsong e ka phetoang, e tsamaisoang ke liparamente: botenya ba lera la sekhomaretsi bo laoloang, ho hokahanya bohareng ka ho tobetsa mokotla oa moea, ho tlosa lipompong ka vacuum, le ho kopanya mocheso/khatello ka mokhoa oa ho fetola carbonization. E hahiloe bakeng sa maemo a tlhahiso ea lisenthimithara tse 6/8/12.

Romella imeile ho rona

Likaroloana

Setšoantšo se qaqileng

SiC 晶体生长炉 SiC Crystal Growth Furnace SiC Seed Coating–Bonding–Sintering Integrated Solution

Mochini oa ho Koahela SiC oa SiC Sekoahelo sa Peo–Bonding–Sintering Tharollo e Kopantsoeng

Sekoahelo sa Spray se Nepahetseng • Ho Kopanya Bohareng • Ho Tlosa Kankere ka Vacuum • Ho Kopanya Carbonization/Sintering

Kakaretso ea Sehlahisoa

Ke eng

Tharollo ena e kopaneng e etselitsoe mohato o nyolohang oa kholo ea kristale ea SiC moo peo/wafer e hokahanngoang le pampiri ea graphite/poleiti ea graphite (le li-interface tse amanang le eona). E koala selika-likoe sa ts'ebetso ho pholletsa:

Ho koahela (sekhomaretsi sa spray) → Ho kopanya (ho otloloha + ho tobetsa + ho tlosa matheba ka vacuum) → Ho sintering/Carbonization (ho kopanya le ho phekola)

Ka ho laola ho thehwa ha sekhomaretsi, ho tloswa ha dipululana, le ho kopanngwa ha ho qetela e le ketane e le nngwe, tharollo e ntlafatsa botsitso, bokgoni ba ho e etsa, le bokgoni ba ho hola.

Tharollo e Kopantsoeng ea SiC Peo ea ho Koahela–Ho Kopanya–Ho Sintering 1

Dikgetho tsa Phetolo

A. Mohala o iketsang hanyane
Mochini oa ho Koahela SiC Spray → Mochini oa ho Kopanya SiC → Sebōpi sa Sintering sa SiC

B. Mohala o iketsang ka botlalo
Mochini oa ho Koahela le ho Tlama oa Spray ka Boiketsetso → Sebōpi sa Sintering sa SiC
Mekhahlelo e sa hlokeheng: ho sebetsana le roboto, ho lekanya/ho hokahanya, ho bala boitsebiso, ho lemoha lipululana

Tharollo e Kopantsoeng ea SiC Peo ea ho Koahela–Ho Kopanya–Ho Sintering 2

Melemo ea Bohlokoa

• Botenya le sekoahelo sa lera la sekhomaretsi se laoloang bakeng sa ho ntlafala ha ho pheta-phetoa
• Ho hokahanya bohareng le ho tobetsa mokotla oa moea bakeng sa ho kopana le ho aba khatello ka mokhoa o tsitsitseng
• Ho tlosa matheba ka vacuum ho fokotsa dipululana/dikgeo kahare ho lera la sekhomaretsi
• Ho kopanngoa ha carbonization ea mocheso/khatello ho ka fetoloang ho tsitsisa tlamo ea ho qetela
• Dikgetho tsa othomathiki bakeng sa nako e tsitsitseng ya potoloho, ho latelwa ha yona, le taolo ya boleng e hokahaneng

Molao-motheo

Hobaneng mekhoa ea setso e thatafalloa
Tshebetso ya ho kopanya peo hangata e lekanyetswa ke diphetoho tse tharo tse hokahaneng:

Ho tsitsa ha lera le khomarelang (botenya le ho tšoana)
Taolo ea lipululana/lefeela (moea o qabeletsoeng ka har'a lera la sekhomaretsi)
Ho tsitsa ha tlamo kamora ho fola/ho ntsha khabone

Ho koahela ka letsoho hangata ho lebisa ho se tsitse ha botenya, ho thatafalloa ho tlosa di-bubble, kotsi e phahameng ea sekheo sa kahare, ho ka etsahala hore bokaholimo ba graphite bo ngoatheloe, le ho se khone ho hola hantle bakeng sa tlhahiso ea bongata.

Ho koahela ka spin ho ka hlahisa botenya bo sa tsitsang ka lebaka la boitšoaro ba phallo ea sekhomaretsi, khatello ea bokaholimo, le matla a centrifugal. Ho ka boela ha tobana le tšilafalo ea lehlakore le lithibelo tsa ho kopanya pampiring/lipolaeteng tsa graphite, 'me ho ka ba thata hore likhomaretsi tse nang le dikahare tse tiileng li koahele ka ho lekana.

Tharollo e Kopantsoeng ea SiC Peo ea ho Koahela–Ho Kopanya–Ho Sintering 3

Mokhoa o kopaneng o sebetsa joang

Ho koahela: Ho koahela ka spray ho etsa botenya ba lera la sekhomaretsi le sekoahelo se laolehang haholoanyane holim'a libaka tse reriloeng (peo/wafer, pampiri ea graphite/poleiti).

Ho kopanya: Ho hokahanya bohareng + ho tobetsa mokotla oa moea ho tšehetsa ho kopana ho tsitsitseng; ho tlosa lipompong ka vacuum ho fokotsa moea o tšoasitsoeng, lipululana le likheo tse se nang letho lera la sekhomaretsi.

Ho Sintering/Carbonization: Ho kopanngoa ha mocheso o phahameng ka mocheso o ka fetoloang le khatello ho tsitsisa sebopeho sa ho qetela se kopantsoeng, ho shebana le liphetho tsa ho tobetsa tse se nang lipululana le tse ts'oanang.

Setatemente sa tshebetso sa referense
Tekanyo ea ho kopanya ka khabone e ka fihla ho 90%+ (tšupiso ea ts'ebetso). Litšupiso tse tloaelehileng tsa tekanyo ea ho kopanya li thathamisitsoe karolong ea Linyeoe tsa Khale.

Tshebetso

A. Mokgwa wa Mosebetsi o Iketsang ka Semi-othomathiki

Mohato oa 1 — Sekoahelo sa Spray (Sekoahelo)
Kenya sekhomaretsi ka ho se fafatsa holim'a libaka tse reriloeng ho fihlela botenya bo tsitsitseng le sekoahelo se ts'oanang.

Mohato oa 2 — Ho Lokisa le ho Kopanya (Ho Kopanya)
Etsa ho otlolla bohareng, sebelisa ho tobetsa mokotla oa moea, 'me u sebelise vacuum debubbling ho tlosa moea o tšoasitsoeng ka har'a lera la sekhomaretsi.

Mohato oa 3 — Ho Kopanya Khabone (Ho Sintering/Khabone)
Fetisetsa likarolo tse hokahaneng ka sebōping sa mollo o chesang 'me u tsamaise ho kopanngoa ha carbonization mochesong o phahameng ka mocheso o fetoloang le khatello ho tsitsisa tlamo ea ho qetela.

B. Phallo ea Mosebetsi ka Botlalo

Mochini o iketsang oa ho fafatsa le ho kopanya o kopanya liketso tsa ho kopanya le ho kopanya 'me o ka kenyelletsa ho sebetsana le roboto le ho lekanya. Likhetho tse ka har'a mohala li ka kenyelletsa ho bala ID le ho lemoha lipululana bakeng sa ho sala morao le taolo ea boleng. Likarolo ebe li fetela sebōping sa ho chesa bakeng sa ho kopanya carbonization.

Ho tenyetseha ha tsela ea ts'ebetso
Ho latela thepa ea sebopeho le mokhoa o khethiloeng, sistimi e ka tšehetsa tatellano e fapaneng ea ho koahela le litsela tsa ho fafatsa tsa lehlakore le le leng kapa tse peli ha e ntse e boloka sepheo se le seng: lera le tiileng la sekhomaretsi → ho tlosa lintho ka katleho → ho kopanya ka mokhoa o ts'oanang.

Tharollo e Kopantsoeng ea SiC Peo ea ho Koahela–Ho Kopanya–Ho Sintering 4

Likopo

Kopo ea mantlha
Kgolo ya kristale ya SiC kgokelo ya peo e nyolohang: kgokelo ya peo/wafer ho pampiri ya graphite/poleiti ya graphite le di-interface tse amanang le yona, e latelwe ke kopanyo ya carbonization.

Maemo a boholo
E tšehetsa lits'ebetso tsa ho kopanya tsa 6/8/12-inch ka khetho ea tlhophiso le ho tsamaisa ts'ebetso e netefalitsoeng.

Matšoao a tloaelehileng a ho lekana
• Ho penta ka letsoho ho baka ho feto-fetoha ha botenya, lipululana/liphaephe, maqeba, le tlhahiso e sa tsitsang
• Botenya ba ho koahela ka ho potoloha ha bo tsitsa kapa bo thata pampiring/lipoleiting tsa graphite; ho na le lithibelo tsa tšilafalo/ho lokisa lehlakore
• O hloka tlhahiso e ka atolosoang e nang le ho pheta-pheta ho matla le ho itšetleha ho fokolang ka mosebedisi
• O batla othomathiki, ho latela morao, le dikgetho tsa QC tse hokahaneng (ID + ho lemoha diboloko)

Linyeoe tsa Khale (Liphetho tse Tloaelehileng)

Ela Hloko: Tse latelang ke litšupiso tse tloaelehileng tsa data/litšupiso tsa ts'ebetso. Tshebetso ea 'nete e itšetlehile ka sistimi ea sekhomaretsi, maemo a thepa e kenang, fensetere ea ts'ebetso e netefalitsoeng, le maemo a tlhahlobo.

Nyeoe ea 1 — Ho Kopanya Peo ea 6/8-inch (Tšebeliso le Tšupiso ea Keketseho)
Ha ho poleiti ea graphite: 6 likhomphutha/yuniti/ka letsatsi
Ka poleiti ea graphite: 2.5 likhomphutha/yuniti/ka letsatsi
Poelo ea tlamo: ≥95%

Nyeoe ea 2 — Ho Kopanya Peo ea lisenthimithara tse 12 (Tšebeliso le Tšupiso ea Keketseho)
Ha ho poleiti ea graphite: 5 likhomphutha/yuniti/ka letsatsi
Ka poleiti ea graphite: 2 likhomphutha/yuniti/ka letsatsi
Poelo ea tlamo: ≥95%

Nyeoe ea 3 — Tšupiso ea Tlhahiso ea Kopano ea Carbonization
Poelo ea ho kopanya ka khabone: 90%+ (tšupiso ea ts'ebetso)
Sephetho se reriloeng: Liphetho tse se nang matheba le tse tšoanang tsa ho tobetsa (ho latela litekanyetso tsa netefatso le tlhahlobo)

Tharollo e Kopantsoeng ea SiC Peo ea ho Koahela–Ho Kopanya–Ho Sintering 5

LBH

P1: Bothata ba mantlha boo tharollo ena e bo rarollang ke bofe?
K: E tsitsisa ho tlamahana ha peo ka ho laola botenya/ho kwahela ha sekhomaretsi, tshebetso ya ho lokisa dibopeho, le ho kopanngwa ha sekgomaretsi ka mora ho tlamahana—e fetola mohato o itshetlehileng hodima bokgoni hore e be tshebetso ya tlhahiso e ka phetwang.

P2: Ke hobane'ng ha ho penta ka letsoho hangata ho lebisa ho lipululana/likheo?
K: Mekhoa ea matsoho e thatafalloa ho boloka botenya bo tsitsitseng, e leng se etsang hore ho tlosa li-bubble ho be thata le ho eketsa kotsi ea moea o tšoasitsoeng. Li ka boela tsa ngoapa libaka tsa graphite 'me ho thata ho li lekanya ka bophahamo.

P3: Ke hobane'ng ha ho penta ka ho potoloha ho ka ba thata bakeng sa ts'ebeliso ena?
K: Botenya bo ela hloko boitšoaro ba phallo ea sekhomaretsi, khatello ea bokaholimo, le matla a centrifugal. Sekoahelo sa pampiri/poleiti ea grafiti se ka thibeloa ke ho kopanya le kotsi ea tšilafalo ea lehlakore, 'me likhomaretsi tse nang le dikahare tse tiileng li ka ba thata ho li sotha ka ho lekana.

Mabapi le rona

XKH e ikhethile ka nts'etsopele ea theknoloji e phahameng, tlhahiso le thekiso ea khalase e khethehileng ea mahlo le thepa e ncha ea kristale. Lihlahisoa tsa rona li sebeletsa lisebelisoa tsa elektroniki tsa mahlo, lisebelisoa tsa elektroniki tsa bareki le sesole. Re fana ka likarolo tsa mahlo tsa Sapphire, likoahelo tsa lense ea mohala oa thekeng, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, le li-wafer tsa kristale tsa semiconductor. Ka boiphihlelo bo nang le boiphihlelo le lisebelisoa tsa sejoale-joale, re ipabola ts'ebetsong ea lihlahisoa tse seng tsa maemo a holimo, re ikemiselitse ho ba khoebo e etellang pele ea theknoloji e phahameng ea lisebelisoa tsa optoelectronic.